ዜና - የፕሪሲሽን የመስታወት ክፍሎች፡ የማምረቻ ተግዳሮቶች እና አፕሊኬሽኖች

በፍጥነት በሚለዋወጡ የሌዘር ቴክኖሎጂ፣ ጥልቅ የጠፈር ምርምር እና ከፍተኛ የአልትራቫዮሌት (EUV) ሊቶግራፊ ዘርፎች ውስጥ የኦፕቲካል ትክክለኛነት ፍላጎት በአቶሚክ ደረጃ ላይ እየደረሰ ነው። ለኦፕቲካል እና ለፎቶኒክስ ኩባንያዎች፣ የትክክለኛነት የመስታወት ክፍሎች ጥራት ዝርዝር መግለጫ ብቻ አይደለም - የስርዓት አፈጻጸምን የሚወስን ነገር ነው።

በ ZHHIMG Group፣ እነዚህን ክፍሎች ማምረት ቁሳቁሱን ከመቁረጥ የበለጠ ነገር እንደሚፈልግ እንረዳለን፤ የብርሃን እና የቁስ ፊዚክስን መቆጣጠርን ይጠይቃል። ይህ ጽሑፍ የኦፕቲካል ብርጭቆን ወሳኝ አተገባበር እና እጅግ በጣም ትክክለኛ የኦፕቲክስ መሠረቶችን ለማቅረብ የምናሸንፋቸውን ጥብቅ የማምረቻ ተግዳሮቶች ይዳስሳል።

ወሳኝ አፕሊኬሽኖች፡ ትክክለኛነት አስፈላጊ በሚሆንበት ጊዜ

የኦፕቲካል መስታወት የዘመናዊ ፎተኒክስ ዋና መሠረት ነው። ከግንኙነት እስከ መከላከያ ድረስ፣ የእነዚህ ክፍሎች መስፈርቶች ከጊዜ ወደ ጊዜ ጥብቅ እየሆኑ መጥተዋል።

1. የሌዘር ኑክሌር ፊውዥን እና ጠንካራ የሌዘር ስርዓቶች

ከፍተኛ ኃይል ባላቸው የሌዘር ስርዓቶች ውስጥ የኦፕቲካል ክፍሎች ከፍተኛ የኃይል እፍጋትን መቋቋም አለባቸው። በመስታወቱ ውስጥ ያለ ማንኛውም ጥቃቅን ጉድለት ወይም ርኩሰት በሌዘር ምክንያት የሚመጣ ጉዳት ሊያስከትል ይችላል፣ ይህም መላውን ስርዓት ሊያበላሽ ይችላል። እዚህ ላይ የማኑፋክቸሪንግ ትኩረት የከርሰ ምድር ወለል ጉዳትን ማስወገድ እና የጨረር መዛባትን ለመከላከል ከፍተኛ ተመሳሳይነት ማረጋገጥ ላይ ነው።

2. የጠፈር ኦፕቲክስ እና የጥልቅ ህዋ መለየት

የጠፈር ቴሌስኮፖች እና የርቀት ዳሳሽ መሳሪያዎች በቀዳዳ መጠን (አሁን ከ4 ሜትር በላይ) ሲያድጉ፣ ለቀላል ክብደት እና ለገጽታ ትክክለኛነት የሚፈለገው መስፈርት እየጠነከረ ይሄዳል። ለቦታ የሚሆኑ የኦፕቲካል ክፍሎች ቅርጻቸውን በከፍተኛ የሙቀት አካባቢዎች መጠበቅ አለባቸው፣ እጅግ በጣም ዝቅተኛ የሙቀት ማስፋፊያ ኮፊሸንት ያላቸው ቁሳቁሶችን ይፈልጋሉ።

3. ሴሚኮንዳክተር እና EUV ሊቶግራፊ

በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ፣ የEUV ሊቶግራፊ ስርዓቶች ከ 0.1 nm (RMS) በታች በሆነ የገጽታ ሻካራነት ቁጥጥር ስር ባሉ አንጸባራቂ መስተዋቶች ላይ የተመሰረቱ ናቸው። የአቶሚክ ደረጃ እብጠቶች እንኳን ብርሃንን ሊበትኑ እና የቺፕ ጥራትን ሊያበላሹ ይችላሉ። ይህ የኦፕቲካል መስታወት ማምረቻ ከፍተኛ ደረጃን ይወክላል።

የማኑፋክቸሪንግ ፈተና፡ ውጥረት፣ ጠፍጣፋነት እና ለስላሳነት

ለእነዚህ አፕሊኬሽኖች የሚያስፈልገውን ጥራት ማሳካት በማኑፋክቸሪንግ ሂደት ውስጥ ሶስት ዋና ዋና መሰናክሎችን ማሸነፍን ያካትታል።

1. ውስጣዊ ውጥረትን መቆጣጠር

የተረፈ ውጥረት የኦፕቲካል መረጋጋት ጠላት ነው። የቢሬፍሪንግ (የማጣቀሻ ኢንዴክስን መቀየር) እና በሙቀት ጭነት ስር መሰንጠቅን ሊያስከትል ይችላል።

ተግዳሮቱ፡- ጠንካራና የተሰበረ ብርጭቆን ማሽነሪ ብዙውን ጊዜ ጥቃቅን ውጥረትን ያስከትላል።
የእኛ አቀራረብ፡- የላቁ የማጥለቅለቅ ሂደቶችን እና ዝቅተኛ ጉዳት የሚያስከትሉ ቴክኒኮችን እንጠቀማለን። የማቀዝቀዣ መጠኖችን በጥብቅ በመቆጣጠር እና የጭንቀት እፎይታ የማሽን ስልቶችን በመጠቀም የመስታወቱ ውስጣዊ መዋቅር ገለልተኛ እና የተረጋጋ ሆኖ እንዲቆይ እናረጋግጣለን።

2. እጅግ በጣም ከፍተኛ ጠፍጣፋነትን ማሳካት (ዝቅተኛ የድግግሞሽ ትክክለኛነት)

እጅግ በጣም ትክክለኛ ለሆኑ የኦፕቲክስ መሠረቶች እና የመስታወት ንጣፎች፣ የገጽታው "ቅርጽ" ወሳኝ ነው።

ተግዳሮቱ፡- ባህላዊ መፍጨት ሞገድን ሊተው ወይም የሞገድ ፊት ለፊት ትክክለኛነትን የሚያበላሹ ስህተቶችን ሊፈጥር ይችላል።
የእኛ አቀራረብ፡ ከፍተኛ ትክክለኛነት ያለው የኮምፒውተር ቁጥጥር የሚደረግበት የኦፕቲካል ወለል (CCOS) እንጠቀማለን። ይህም ዝቅተኛ ድግግሞሽ ስህተቶችን (የቅርጽ ልዩነቶችን) ለማስተካከል ከ1 nm በታች የሆነ ከፍተኛ-ወደ-ሸለቆ (PV) እሴቶችን ለማሳካት ያስችለናል፣ ይህም የኦፕቲካል መንገዱ በትክክል እንዲስተካከል ያረጋግጣል።

3. የወለል ሻካራነት (ከፍተኛ ድግግሞሽ ለስላሳነት)

መበታተን የሚከሰተው በከፍተኛ ድግግሞሽ ወለል ሸካራነት ምክንያት ነው።

ተግዳሮቱ፡- በመፍጨት የሚቀሩትን “ጭጋግ” እና ጥቃቅን ጭረቶችን ማስወገድ ከቁሳቁስ ማስወገድ ወደ ላይኛው ለስላሳነት ሽግግር ማድረግን ይጠይቃል።
አቀራረባችን፡- በማግኔቲክ የተደገፈ አጨራረስን ጨምሮ የላቁ የማጥራት ቴክኖሎጂዎችን እንጠቀማለን። ይህ ዘዴ ውስብስብ ቅርጾችን (እንደ ፍሪፎርም ሌንሶች ያሉ) በቡድን ሂደት ውስጥ አዲስ የከርሰ ምድር ጉዳት ሳያስከትሉ ንዑስ-ናኖሜትር የገጽታ ሻካራነት (Ra < 0.6 nm) እንዲያገኙ ያስችላል።

ZHHIMG: እጅግ በጣም ትክክለኛ በሆነ መልኩ የእርስዎ አጋር

ከጥሬ ብርጭቆ ወደ ተግባራዊ የኦፕቲካል አካል የሚደረግ ሽግግር በናኖቴክኖሎጂ በኩል የሚደረግ ጉዞ ነው። በZHHIMG Group፣ በቁሳቁስ ሳይንስ እና በትክክለኛነት ምህንድስና መካከል ያለውን ክፍተት እናገናኛለን።

የእኛ ችሎታዎች የሚከተሉትን ያካትታሉ:

ውስብስብ ጂኦሜትሪዎች፡- የፍሪፎርም፣ የአስፌሪክ እና የፕላነር ኦፕቲካል ክፍሎችን ማሽነሪ።
ሜትሮሎጂ እና ምርመራ፡- የገጽታ ጥራትን ለማረጋገጥ እና በእውነተኛ ጊዜ ትክክለኛነትን ለማረጋገጥ ኢንተርፌሮሜትሮችን እና ፕሮፊሎሜትሮችን መጠቀም።
የቁሳቁስ ባለሙያ፡- ከፍተኛ ስርጭት እና ዝቅተኛ መስፋፋት በሚታወቀው በተዋሃደ ሲሊካ፣ ኳርትዝ እና ልዩ የኦፕቲካል መነጽሮች ጥልቅ ልምድ።

መደምደሚያ
የኦፕቲካል ሲስተሞች የሚቻለውን ወሰን ሲገፉ፣ ትክክለኛ የመስታወት ክፍሎችን ማምረት

የፖስታ ሰዓት፡- ኤፕሪል-09-2026