ዛሬ, ሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ፈጣን እድገት ጋር, IC ፈተና, ቺፕስ አፈጻጸም ለማረጋገጥ እንደ ወሳኝ አገናኝ, ትክክለኛነት እና መረጋጋት በቀጥታ ቺፕስ ምርት መጠን እና የኢንዱስትሪ ተወዳዳሪነት ላይ ተጽዕኖ. የቺፕ ማምረቻ ሂደቱ ወደ 3nm፣ 2nm እና እንዲያውም የላቀ የላቁ አንጓዎች እየገሰገሰ ሲሄድ፣ በአይሲ መሞከሪያ መሳሪያዎች ውስጥ ያሉ የዋና ክፍሎች መስፈርቶች ጥብቅ እየሆኑ መጥተዋል። የግራናይት መሠረቶች፣ ልዩ የቁሳቁስ ባህሪያቸው እና የአፈጻጸም ጥቅማጥቅሞች፣ ለአይሲ መሞከሪያ መሳሪያዎች በጣም አስፈላጊ "ወርቃማ አጋር" ሆነዋል። ከዚህ በስተጀርባ ምን ቴክኒካል ሎጂክ አለ?
I. የባህላዊ መሠረቶች "መቋቋም አለመቻል".
በ IC ሙከራ ሂደት ውስጥ መሳሪያዎቹ በ nanoscale ላይ ያለውን የቺፕ ፒን ፣ የሲግናል ኢንቴግሪቲ ወዘተ የኤሌክትሪክ አፈፃፀም በትክክል ማወቅ አለባቸው። ይሁን እንጂ ባህላዊ የብረት መሠረቶች (እንደ ብረት እና ብረት ያሉ) በተግባራዊ አተገባበር ላይ ብዙ ችግሮችን አጋልጠዋል.
በአንድ በኩል የብረታ ብረት ቁሳቁሶች የሙቀት መስፋፋት ቅንጅት በአንጻራዊነት ከፍተኛ ነው፣ ብዙውን ጊዜ ከ10×10⁻⁶/℃ በላይ ነው። በአይሲ መሞከሪያ መሳሪያዎች በሚሠራበት ጊዜ የሚፈጠረው ሙቀት ወይም በአካባቢው የሙቀት መጠን ላይ መጠነኛ ለውጦች ከፍተኛ የሆነ የሙቀት መስፋፋት እና የብረት መሰረቱን መኮማተር ሊያስከትል ይችላል. ለምሳሌ፣ የሙቀት መጠኑ በ10℃ ሲቀየር 1 ሜትር ርዝመት ያለው የብረት ብረት መሰረት እስከ 100μm ሊሰፋ እና ሊቀንስ ይችላል። እንደነዚህ ያሉት የመለኪያ ለውጦች የሙከራ ፍተሻውን ከቺፕ ፒን ጋር ለማዛባት በቂ ናቸው ፣ ይህም ደካማ ግንኙነትን ያስከትላል እና በኋላም የፈተናውን መረጃ መዛባት ያስከትላል።
በሌላ በኩል የብረት መሰረቱን የማቀዝቀዝ አፈፃፀም ደካማ ነው, ይህም በመሳሪያዎቹ አሠራር የሚፈጠረውን የንዝረት ኃይል በፍጥነት ለመጠቀም አስቸጋሪ ያደርገዋል. በከፍተኛ-ድግግሞሽ ሲግናል ሙከራ ውስጥ፣ ቀጣይነት ያለው ማይክሮ-oscillation ከፍተኛ መጠን ያለው ጫጫታ ያስተዋውቃል፣ ይህም የምልክት ትክክለኛነት ሙከራ ስህተት ከ30% በላይ ይጨምራል። በተጨማሪም የብረታ ብረት ቁሳቁሶች ከፍተኛ መግነጢሳዊ ተጋላጭነት አላቸው እና ከመሞከሪያ መሳሪያዎች ኤሌክትሮማግኔቲክ ምልክቶች ጋር ለመገጣጠም የተጋለጡ ናቸው, በዚህም ምክንያት የ Eddy ወቅታዊ ኪሳራዎች እና የጅብ ተፅእኖዎች, ይህም ትክክለኛ ልኬቶችን ትክክለኛነት የሚያደናቅፍ ነው.
II. የግራናይት ቤዝ "ሃርድኮር ጥንካሬ"
የመጨረሻው የሙቀት መረጋጋት, ለትክክለኛው መለኪያ መሰረት መጣል
ግራናይት የሚፈጠረው እንደ ኳርትዝ እና ፌልድስፓር ባሉ የማዕድን ክሪስታሎች በ ionic እና covalent bonds አማካኝነት ነው። የሙቀት ማስፋፊያ መጠኑ እጅግ በጣም ዝቅተኛ ነው፣ 0.6-5×10⁻⁶/℃ ብቻ ነው፣ ይህም ከብረታ ብረት ቁሶች በግምት 1/2-1/20 ነው። ምንም እንኳን የሙቀት መጠኑ በ10 ℃ ቢቀየርም፣ የ1 ሜትር ርዝመት ያለው የግራናይት መሰረት መስፋፋቱ እና መጨማደዱ ከ 50nm በታች ነው፣ ይህም “ዜሮ መበላሸት” ላይ ደርሷል። ይህ በእንዲህ እንዳለ የ granite የሙቀት መቆጣጠሪያ 2-3 W / (m · K) ብቻ ነው, ይህም ከብረት ውስጥ ከ 1/20 ያነሰ ነው. ውጤታማ በሆነ መንገድ የመሳሪያውን ሙቀት መምራትን ይከላከላል, የመሠረቱን ወለል የሙቀት መጠን እንዲይዝ እና የፍተሻ ፍተሻ እና ቺፕ ሁልጊዜ ቋሚ አንጻራዊ ቦታ እንዲኖራቸው ያደርጋል.
2. እጅግ በጣም ጠንካራ የሆነ የንዝረት መጨናነቅ የተረጋጋ የሙከራ አካባቢን ይፈጥራል
በግራናይት ውስጥ ያሉት ልዩ የክሪስታል ጉድለቶች እና የእህል ወሰን ተንሸራታች መዋቅር ጠንካራ የኃይል ብክነት አቅም ያለው ሲሆን እስከ 0.3-0.5 የሚደርስ የእርጥበት መጠን ያለው ሲሆን ይህም ከብረት መሰረቱ ከስድስት እጥፍ በላይ ነው። የሙከራ መረጃ እንደሚያሳየው በ 100Hz የንዝረት መነሳሳት የግራናይት መሰረት የንዝረት መመናመን ጊዜ 0.1 ሰከንድ ብቻ ሲሆን የተጣለ ብረት መሰረት ደግሞ 0.8 ሰከንድ ነው። ይህ ማለት የ granite base በመሳሪያዎች ጅምር እና መዘጋት ፣ውጫዊ ተፅእኖዎች ፣ወዘተ የሚፈጠረውን ንዝረት ወዲያውኑ በመጨፍለቅ እና የሙከራ መድረኩን የንዝረት ስፋት በ±1μm ውስጥ በመቆጣጠር ለ nanoscale probes አቀማመጥ የተረጋጋ ዋስትና ይሰጣል።
3. ተፈጥሯዊ ፀረ-መግነጢሳዊ ባህሪያት, ኤሌክትሮማግኔቲክ ጣልቃገብነትን ያስወግዳል
ግራናይት በግምት -10⁵ መግነጢሳዊ ተጋላጭነት ያለው ዲያማግኔቲክ ቁስ ነው። ውስጣዊ ኤሌክትሮኖች በኬሚካላዊ ትስስር ውስጥ በጥንድ ሆነው ይገኛሉ እና በውጫዊ መግነጢሳዊ መስኮች ከሞላ ጎደል ከፖላራይዝድ አይደረጉም። በጠንካራ መግነጢሳዊ መስክ 10mT አካባቢ፣ በግራናይት ወለል ላይ የሚፈጠረው መግነጢሳዊ መስክ ጥንካሬ ከ0.001mT ያነሰ ሲሆን በብረት ብረት ላይ ያለው ደግሞ ከ8mT በላይ ነው። ይህ ተፈጥሯዊ ፀረ-መግነጢሳዊ ንብረት ለ IC መሞከሪያ መሳሪያዎች ንጹህ የመለኪያ አከባቢን መፍጠር ይችላል, እንደ አውደ ጥናቶች እና የ RF ምልክቶች ካሉ ውጫዊ ኤሌክትሮማግኔቲክ ጣልቃገብነቶች ይጠብቃል. በተለይ ለኤሌክትሮማግኔቲክ ጫጫታ በጣም ስሜታዊ የሆኑትን እንደ ኳንተም ቺፕስ እና ከፍተኛ ትክክለኛነት ኤዲሲዎች/ዳክ ያሉ ሁኔታዎችን ለመሞከር ተስማሚ ነው።
ሦስተኛ, ተግባራዊ ትግበራ አስደናቂ ውጤቶችን አግኝቷል
የበርካታ ሴሚኮንዳክተር ኢንተርፕራይዞች አሠራሮች የግራናይት መሰረቶችን ዋጋ ሙሉ በሙሉ አሳይተዋል። በአለም አቀፍ ደረጃ ታዋቂ የሆነ ሴሚኮንዳክተር መሞከሪያ መሳሪያ አምራች ከፍተኛ ጥራት ባለው የ5ጂ ቺፕ ሙከራ መድረክ ላይ የግራናይት መሰረትን ከተቀበለ በኋላ አስደናቂ ውጤት አስመዝግቧል፡የመመርመሪያ ካርዱ አቀማመጥ ትክክለኛነት ከ±5μm ወደ ±1μm ጨምሯል፣የፈተና መረጃ መደበኛ መዛባት በ70% ቀንሷል፣እና የአንድ ነጠላ ሙከራ የተሳሳተ ፍርድ መጠን በከፍተኛ ሁኔታ ቀንሷል።0.0% ይህ በእንዲህ እንዳለ፣ የንዝረት መጨናነቅ ውጤቱ አስደናቂ ነው። መሳሪያዎቹ ንዝረቱ እስኪበሰብስ ሳይጠብቅ ሙከራውን ሊጀምር ይችላል፣ ነጠላውን የፍተሻ ዑደት በ20% ያሳጥራል እና አመታዊ የማምረት አቅሙን ከ3 ሚሊዮን በላይ ዋይፍ። በተጨማሪም የ granite መሰረቱ ከ 10 አመት በላይ የሚቆይ እና ብዙ ጊዜ ጥገና አያስፈልገውም. ከብረት መሰረቶች ጋር ሲነፃፀር አጠቃላይ ዋጋው ከ 50% በላይ ይቀንሳል.
አራተኛ ፣ ከኢንዱስትሪ አዝማሚያዎች ጋር መላመድ እና የሙከራ ቴክኖሎጂን ማሻሻልን ይምሩ
የላቁ የማሸጊያ ቴክኖሎጂዎች ልማት (እንደ ቺፕሌት ያሉ) እና እንደ ኳንተም ኮምፒውቲንግ ቺፖች ያሉ ብቅ ያሉ መስኮች እየጨመሩ በ IC ሙከራ ውስጥ የመሣሪያ አፈጻጸም መስፈርቶች መጨመር ይቀጥላሉ። የግራናይት መሰረቶችም በየጊዜው እየፈለሱ እና እያሻሻሉ ናቸው። በገጽታ ሽፋን ህክምና የመልበስ መከላከያን ለማጎልበት ወይም ከፓይዞኤሌክትሪክ ሴራሚክስ ጋር በማጣመር ንቁ የንዝረት ማካካሻ እና ሌሎች የቴክኖሎጂ ግኝቶችን ለማሳካት ወደ ትክክለኛ እና ብልህ አቅጣጫ እየሄዱ ነው። ለወደፊቱ, የ granite base ሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ የቴክኖሎጂ ፈጠራን እና የ "ቻይንኛ ቺፕስ" ከፍተኛ ጥራት ያለው እድገትን በአስደናቂ አፈፃፀሙ ለመጠበቅ ይቀጥላል.
የግራናይት መሰረትን መምረጥ ማለት የበለጠ ትክክለኛ፣ የተረጋጋ እና ቀልጣፋ የ IC ሙከራ መፍትሄ መምረጥ ማለት ነው። የአሁኑ የላቀ የሂደት ቺፕ ሙከራም ይሁን የወደፊት ቴክኖሎጂዎች ፍለጋ፣ የግራናይት መሰረቱ የማይተካ እና ጉልህ ሚና ይጫወታል።
የፖስታ ሰአት፡- ግንቦት-15-2025