የግራናይት ጉዳቶች በሲኤንሲ የቁጥር መቆጣጠሪያ መሳሪያዎች የሂደት ትክክለኛነት ላይ ያላቸው ልዩ ተፅእኖ ምንድን ነው?

በሲኤንሲ የቁጥር መቆጣጠሪያ መሳሪያዎች ውስጥ፣ የግራናይት አካላዊ ባህሪያት ለከፍተኛ ትክክለኛነት ሂደት መሰረት ቢሆኑም፣ በውስጡ ያሉት ጉዳቶች በማቀነባበሪያ ትክክለኛነት ላይ ባለብዙ ገጽታ ተፅእኖ ሊኖራቸው ይችላል፣ እነዚህም በተለይ እንደሚከተለው ይገለፃሉ፡
1. በቁሳቁስ መሰባበር ምክንያት የሚከሰቱ የገጽታ ጉድለቶች በማቀነባበር ላይ
የግራናይት ብልጭልጭ ባህሪ (ከፍተኛ የመጭመቂያ ጥንካሬ ግን ዝቅተኛ የመተጣጠፍ ጥንካሬ፣ ብዙውን ጊዜ የመተጣጠፍ ጥንካሬው ከ1/10 እስከ 1/20 የሚደርስ የመጭመቂያ ጥንካሬ ብቻ ነው) እንደ የጠርዝ መሰንጠቅ እና በማቀነባበሪያ ወቅት የገጽታ ማይክሮክራክሶች ላሉ ​​ችግሮች ተጋላጭ ያደርገዋል።

ጥቃቅን ጉድለቶች ትክክለኛ ዝውውርን ይጎዳሉ፡ ከፍተኛ ትክክለኛነትን መፍጨት ወይም መፍጨት ሲያደርጉ፣ በመሳሪያው የመገናኛ ቦታዎች ላይ ትናንሽ ስንጥቆች መደበኛ ያልሆኑ ገጽታዎችን ሊፈጥሩ ይችላሉ፣ ይህም እንደ መመሪያ ሀዲዶች እና የስራ ጠረጴዛዎች ያሉ ቁልፍ ክፍሎች ቀጥተኛነት ስህተቶች እንዲስፋፉ ያደርጋል (ለምሳሌ፣ ጠፍጣፋነት ከ ±1μm/m እስከ ±3~5μm/m)። እነዚህ ጥቃቅን ጉድለቶች በቀጥታ ወደተቀነባበሩ ክፍሎች ይተላለፋሉ፣ በተለይም እንደ ትክክለኛ የኦፕቲካል ክፍሎች እና ሴሚኮንዳክተር ዋፈር ተሸካሚዎች ባሉ የማቀነባበሪያ ሁኔታዎች ውስጥ፣ ይህም የስራውን ወለል ሸካራነት እንዲጨምር ሊያደርግ ይችላል (የራ እሴት ከ 0.1μm እስከ 0.5μm በላይ ይጨምራል)፣ ይህም የኦፕቲካል አፈጻጸምን ወይም የመሳሪያውን ተግባር ይነካል።
በተለዋዋጭ ሂደት ውስጥ ድንገተኛ የስብራት አደጋ፡- በከፍተኛ ፍጥነት የመቁረጥ ሁኔታዎች (እንደ ስፒንድል ፍጥነት > 15,000 r/ደቂቃ) ወይም የመመገብ ፍጥነት > 20ሜ/ደቂቃ፣ የግራናይት ክፍሎች በቅጽበት በሚደርስ የውጥረት ኃይል ምክንያት የአካባቢ መበታተን ሊያጋጥማቸው ይችላል። ለምሳሌ፣ የመሪ ሀዲድ ጥንድ አቅጣጫውን በፍጥነት ሲቀይር፣ የጠርዝ መሰንጠቅ የእንቅስቃሴ አቅጣጫው ከቲዎሬቲካል መንገድ እንዲወጣ ሊያደርግ ይችላል፣ ይህም የአቀማመጥ ትክክለኛነት በድንገት እንዲቀንስ ያደርጋል (የአቀማመጥ ስህተቱ ከ ±2μm ወደ ±10μm በላይ ይስፋፋል)፣ እና እንዲያውም ወደ መሳሪያ ግጭት እና መቧጨር ሊያመራ ይችላል።
ሁለተኛ፣ በክብደት እና በጥንካሬ መካከል ባለው ግጭት ምክንያት የሚመጣ ተለዋዋጭ ትክክለኛነት ማጣት
የግራናይት ከፍተኛ ጥግግት ባህሪ (ከ2.6 እስከ 3.0 ግ/ሴሜ³ ጥግግት ያለው) ንዝረትን ሊያደናቅፍ ይችላል፣ ነገር ግን የሚከተሉትን ችግሮችም ያስከትላል፡

የኢነርጂያል ኃይል የሰርቮ ምላሽ መዘግየትን ያስከትላል፡- በማፋጠን እና በማዘግየት ወቅት በከባድ ግራናይት አልጋዎች (እንደ አስር ቶን የሚመዝኑ ትላልቅ የጋንትሪ ማሽን አልጋዎች ያሉ) የሚፈጠረው ኢነርጂያል ኃይል የሰርቮ ሞተር ከፍተኛ ጉልበት እንዲያመነጭ ያስገድደዋል፣ ይህም የአቀማመጥ ዑደት መከታተያ ስህተት እንዲጨምር ያደርጋል። ለምሳሌ፣ በመስመራዊ ሞተሮች በሚነዱ ከፍተኛ ፍጥነት ባላቸው ስርዓቶች ውስጥ፣ ለእያንዳንዱ 10% የክብደት መጨመር፣ የአቀማመጥ ትክክለኛነት ከ5% እስከ 8% ሊቀንስ ይችላል። በተለይም በናኖስኬል ማቀነባበሪያ ሁኔታዎች ውስጥ፣ ይህ መዘግየት ወደ ኮንቱር ማቀነባበሪያ ስህተቶች ሊያመራ ይችላል (ለምሳሌ በክብ ኢንተርፖሌሽን ወቅት ከ50nm እስከ 200nm የሚጨምር የክብ ብልጭታ ስህተት)።
በቂ ያልሆነ ግትርነት ዝቅተኛ ድግግሞሽ ንዝረትን ያስከትላል፡ ግራናይት በአንጻራዊ ሁኔታ ከፍተኛ የሆነ እርጥበት ቢኖረውም፣ የመለጠጥ ሞዱሉሱ (ከ60 እስከ 120GPa አካባቢ) ከቀለጠ ብረት ያነሰ ነው። ለተለዋዋጭ ጭነቶች (እንደ ባለብዙ-ዘንግ ትስስር ሂደት ወቅት የመቁረጥ ኃይል መለዋወጥ ያሉ) ሲጋለጥ፣ ማይክሮ-ዲፎርሜሽን ክምችት ሊከሰት ይችላል። ለምሳሌ፣ በአምስት-ዘንግ የማሽን ማዕከል የማወዛወዝ ራስ ክፍል ውስጥ፣ የግራናይት መሠረት ትንሽ የመለጠጥ መበላሸት የማዞሪያ ዘንግ አንግል አቀማመጥ ትክክለኛነት እንዲንሸራተት ሊያደርግ ይችላል (ለምሳሌ ከ ±5" እስከ ±15")፣ ይህም ውስብስብ የተጠማዘዙ ገጽታዎች የማሽን ትክክለኛነት ላይ ተጽዕኖ ያሳድራል።
Iii. የሙቀት መረጋጋት እና የአካባቢ ስሜታዊነት ገደቦች
የግራናይት የሙቀት መስፋፋት (በግምት ከ5 እስከ 9×10⁻⁶/℃) ከቀለጠ ብረት ያነሰ ቢሆንም፣ አሁንም በትክክለኛ ሂደት ላይ ስህተቶችን ሊያስከትል ይችላል፡

የሙቀት ቅልጥፍናዎች መዋቅራዊ መበስበስን ያስከትላሉ፡ መሳሪያው ለረጅም ጊዜ ያለማቋረጥ ሲሰራ፣ እንደ ዋናው የሾልት ሞተር እና የመመሪያ ባቡር ቅባት ስርዓት ያሉ የሙቀት ምንጮች በግራናይት ክፍሎች ውስጥ የሙቀት ቅልጥፍናዎችን ሊያስከትሉ ይችላሉ። ለምሳሌ፣ በስራ ጠረጴዛው የላይኛው እና የታችኛው ገጽታዎች መካከል ያለው የሙቀት ልዩነት 2℃ ሲሆን፣ መካከለኛ-ኮንቬክስ ወይም መካከለኛ-ኮንኬቭ ዲስኦርደር ሊያስከትል ይችላል (ዲፍሌክሽን ከ10 እስከ 20 μm ሊደርስ ይችላል)፣ ይህም የስራው ጠፍጣፋ መቆንጠጫ ውድቀትን ያስከትላል እና የመፍጨት ወይም የመፍጨት ትይዩ ትክክለኛነትን ይነካል። (ለምሳሌ ከ ±5 μm እስከ ±20 μm የሚበልጥ ጠፍጣፋ ሳህን ክፍሎች ውፍረት መቻቻል)።
የአካባቢ እርጥበት ትንሽ መስፋፋትን ያስከትላል፡- የግራናይት የውሃ መምጠጥ መጠን (ከ0.1% እስከ 0.5%) ዝቅተኛ ቢሆንም፣ ለረጅም ጊዜ ከፍተኛ እርጥበት ባለበት አካባቢ ጥቅም ላይ ሲውል፣ የውሃ መምጠጥ መጠን ወደ ላቲስ መስፋፋት ሊያመራ ይችላል፣ ይህም በተራው የመሪ ሀዲድ ጥንድ ተስማሚ ክፍተት ላይ ለውጦችን ያስከትላል። ለምሳሌ፣ እርጥበት ከ40% RH ወደ 70% RH ሲጨምር፣ የግራናይት መሪ ሀዲድ መስመራዊ ልኬት ከ0.005 እስከ 0.01ሚሜ/ሜ ሊጨምር ይችላል፣ ይህም የተንሸራታች መሪ ሀዲድ እንቅስቃሴ ለስላሳነት እንዲቀንስ እና የማይክሮን ደረጃ የምግብ ትክክለኛነትን የሚጎዳ "የሚሳቡ" ክስተት እንዲከሰት ያደርጋል።
IV. የማቀነባበሪያ እና የመገጣጠም ስህተቶች ድምር ውጤቶች
የግራናይት የማቀነባበሪያ አስቸጋሪነት ከፍተኛ ነው (ልዩ የአልማዝ መሳሪያዎችን ይፈልጋል፣ እና የማቀነባበሪያ ቅልጥፍናው ከብረት ቁሶች 1/3 እስከ 1/2 ብቻ ነው)፣ ይህም በማገጣጠም ሂደቱ ውስጥ ትክክለኛነትን ሊያጣ ይችላል፡

የማጣመጃ ቦታዎች የስርጭት ስህተት፡- እንደ መሪ ባቡር መጫኛ ወለል እና የእርሳስ ዊንጣ ድጋፍ ቀዳዳዎች ባሉ ቁልፍ ክፍሎች ውስጥ የማቀነባበሪያ ልዩነቶች (እንደ ጠፍጣፋነት > 5 μm፣ የቀዳዳ ክፍተት ስህተት > 10 μm) ካሉ፣ ከተጫነ በኋላ የመስመራዊ መሪ ባቡር መዛባት፣ የኳስ ዊንጣው ያልተስተካከለ ቅድመ ጭነት ያስከትላል፣ እና በመጨረሻም የእንቅስቃሴ ትክክለኛነት መበላሸት ያስከትላል። ለምሳሌ፣ በሶስት-ዘንግ ትስስር ሂደት ወቅት፣ በመሪ ባቡር መዛባት ምክንያት የሚፈጠረው የቁም ስበት ስህተት የኩቡን ሰያፍ ርዝመት ስህተት ከ ±10 μm ወደ ±50 μm ሊያሰፋ ይችላል።
የተሰነጠቀው መዋቅር የመጋጠሚያ ክፍተት፡- የትላልቅ መሳሪያዎች የግራናይት ክፍሎች ብዙውን ጊዜ የመገጣጠሚያ ዘዴዎችን (እንደ ባለብዙ ክፍል አልጋ መሰንጠቅ) ይጠቀማሉ። ጥቃቅን የማዕዘን ስህተቶች (> 10") ወይም በመገጣጠሚያው ወለል ላይ ከ Ra0.8 μm በላይ የሆነ የወለል ሸካራነት ካለ፣ ከተሰበሰበ በኋላ የጭንቀት ክምችት ወይም ክፍተቶች ሊከሰቱ ይችላሉ። በረጅም ጊዜ ጭነት ስር፣ ወደ መዋቅራዊ ዘና ማለት እና ትክክለኛነትን ሊያዛባ ይችላል (ለምሳሌ በየዓመቱ ከ 2 እስከ 5 μm የአቀማመጥ ትክክለኛነት መቀነስ)።
ማጠቃለያ እና የመቋቋሚያ መነሳሻዎች
የግራናይት ጉዳቶች በሲኤንሲ መሳሪያዎች ትክክለኛነት ላይ ሚስጥራዊ፣ ድምር እና ለአካባቢ ተስማሚ የሆነ ተጽእኖ አላቸው፣ እና እንደ የቁሳቁስ ማሻሻያ (እንደ ጠንካራነትን ለማሻሻል የሬዚን ኢምፕሬግኔሽን ያሉ)፣ የመዋቅር ማመቻቸት (እንደ ብረት-ግራናይት ኮምፖዚት ክፈፎች ያሉ)፣ የሙቀት መቆጣጠሪያ ቴክኖሎጂ (እንደ ማይክሮቻናል የውሃ ማቀዝቀዣ ያሉ) እና ተለዋዋጭ ካሳ (እንደ በሌዘር ኢንተርፌሮሜትር በእውነተኛ ጊዜ መለካት) ባሉ ዘዴዎች በስርዓት መፍታት አለባቸው። በናኖስኬል ትክክለኛነት ሂደት መስክ፣ የግራናይትን የአፈጻጸም ጥቅሞች ሙሉ በሙሉ ለመጠቀም ከቁሳቁስ ምርጫ፣ ከማቀነባበሪያ ቴክኖሎጂ እስከ መላው የማሽን ስርዓት ድረስ ሙሉ ሰንሰለት ቁጥጥር ማድረግ የበለጠ አስፈላጊ ነው።