የዋፈር የፍተሻ መሳሪያዎች ምርጫ መመሪያ፡ በግራናይት እና በብረት ብረት መካከል ያለው የ10 ዓመት ልኬት መረጋጋት ንፅፅር።

.
በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ መስክ የዋፈር ፍተሻ መሳሪያዎች ትክክለኛነት በቀጥታ የቺፖችን ጥራት እና ምርትን ይወስናል ። የዋና ማወቂያ ክፍሎችን የሚደግፍ መሠረት እንደመሆኑ መጠን የመሳሪያው መሠረት ቁሳቁስ የመጠን መረጋጋት በመሣሪያው የረጅም ጊዜ የአሠራር አፈፃፀም ውስጥ ወሳኝ ሚና ይጫወታል። ግራናይት እና ሲስትል ብረት ለዋፈር መፈተሻ መሳሪያዎች ሁለቱ በብዛት ጥቅም ላይ የሚውሉ ቤዝ ቁሶች ናቸው። የ 10-አመት የንጽጽር ጥናት በመካከላቸው ያለውን ከፍተኛ ልዩነት በመጠን መረጋጋት አሳይቷል, ለመሳሪያዎች ምርጫ አስፈላጊ ማጣቀሻዎችን ያቀርባል. .
የሙከራ ዳራ እና ዲዛይን
የሴሚኮንዳክተር ዋፍሎች የማምረት ሂደት ትክክለኛነት ለመለየት እጅግ በጣም ከፍተኛ መስፈርቶች አሉት. የማይክሮሜትር-ደረጃ ልኬት መዛባት እንኳን የቺፕ አፈጻጸም መቀነስ አልፎ ተርፎም መቧጨር ሊያስከትል ይችላል። በረጅም ጊዜ ጥቅም ላይ በሚውልበት ጊዜ የግራናይት እና የብረት ብረትን የመጠን መረጋጋትን ለመመርመር የምርምር ቡድኑ እውነተኛ የስራ አካባቢዎችን የሚመስሉ ሙከራዎችን ነድፏል። ተመሳሳይ መግለጫ ያላቸው የግራናይት እና የብረት ብረት ናሙናዎች ተመርጠው የሙቀት መጠኑ ከ15 ℃ እስከ 35 ℃ እና የእርጥበት መጠኑ ከ 30% ወደ 70% RH በሚለዋወጥበት የአካባቢ ክፍል ውስጥ ተቀምጠዋል። በመሳሪያው አሠራር ወቅት የሜካኒካል ንዝረት በንዝረት ሠንጠረዥ ተመስሏል. የናሙናዎቹ ቁልፍ ልኬቶች በየሩብ ዓመቱ የሚለካው ከፍተኛ ትክክለኛነት ያለው ሌዘር ኢንተርፌሮሜትር በመጠቀም ነው፣ እና መረጃው ያለማቋረጥ ለ10 ዓመታት ተመዝግቧል። .

የሙከራ ውጤት፡ የግራናይት ፍፁም ጥቅም
የአስር አመታት የሙከራ መረጃ እንደሚያሳየው የ granite substrate አስገራሚ መረጋጋት ያሳያል። የሙቀት ማስፋፊያ መጠኑ እጅግ በጣም ዝቅተኛ ነው፣ አማካይ 4.6×10⁻⁶/℃ ብቻ ነው። በከባድ የሙቀት ለውጦች፣ የልኬት መዛባት ሁልጊዜ በ± 0.001 ሚሜ ውስጥ ቁጥጥር ይደረግበታል። እርጥበት በሚቀየርበት ጊዜ የግራናይት ጥቅጥቅ ያለ መዋቅር ምንም ጉዳት እንዳይደርስ ያደርገዋል ፣ እና ምንም ሊለካ የሚችል የመለኪያ ለውጦች አይከሰቱም። በሜካኒካል ንዝረት አካባቢ ፣ የግራናይት በጣም ጥሩ የእርጥበት ባህሪዎች የንዝረት ኃይልን በትክክል ይቀበላሉ ፣ እና የመጠን መለዋወጥ በጣም ትንሽ ነው። .
በአንጻሩ፣ ለብረት ብረት መሥሪያ ቤት፣ አማካኝ የሙቀት ማስፋፊያ መጠኑ 11×10⁻⁶/℃ - 13×10⁻⁶/℃ ይደርሳል፣ እና በ10 ዓመታት ውስጥ በሙቀት ለውጥ ምክንያት የሚፈጠረው ከፍተኛው የመጠን ልዩነት ± 0.05 ሚሜ ነው። እርጥበት ባለበት አካባቢ የሲሚንዲን ብረት ለዝገት እና ለዝገት የተጋለጠ ነው. አንዳንድ ናሙናዎች የአካባቢ መበላሸትን ያሳያሉ, እና የመጠን ልዩነት የበለጠ ይጨምራል. በሜካኒካል ንዝረት ተግባር፣ ስቴንስ ብረት ደካማ የንዝረት እርጥበት አፈጻጸም አለው እና መጠኑ በተደጋጋሚ ስለሚለዋወጥ የዋፈር ፍተሻ ከፍተኛ ትክክለኛነትን ለማሟላት አስቸጋሪ ያደርገዋል። .
ለመረጋጋት ልዩነት አስፈላጊው ምክንያት
ግራናይት የተፈጠረው በመቶ ሚሊዮኖች ለሚቆጠሩ ዓመታት በጂኦሎጂካል ሂደቶች ነው። ውስጣዊ መዋቅሩ ጥቅጥቅ ያለ እና ተመሳሳይ ነው, እና የማዕድን ክሪስታሎች በተረጋጋ ሁኔታ የተደረደሩ ናቸው, ይህም በተፈጥሮ ውስጣዊ ጭንቀትን ያስወግዳል. ይህ እንደ ሙቀት፣ እርጥበት እና ንዝረት ባሉ ውጫዊ ሁኔታዎች ላይ ለሚደረጉ ለውጦች በጣም ቸልተኛ ያደርገዋል። Cast ብረት የሚሠራው በመወርወር ሂደት ሲሆን በውስጡም እንደ ቀዳዳዎች እና የአሸዋ ቀዳዳዎች ያሉ ጥቃቅን ጉድለቶች አሉት። ይህ በእንዲህ እንዳለ፣ በመውሰዱ ሂደት ውስጥ የሚፈጠረው የተረፈ ውጥረት በውጫዊው አካባቢ መነቃቃት መጠነኛ ለውጦችን ለማድረግ የተጋለጠ ነው። የብረታ ብረት ባህሪያት በእርጥበት ምክንያት ለዝገት የተጋለጠ ያደርገዋል, መዋቅራዊ ጉዳቶችን ያፋጥናል እና የመጠን መረጋጋትን ይቀንሳል. .
በ wafer ፍተሻ መሳሪያዎች ላይ ያለው ተጽእኖ
የዋፈር ፍተሻ መሳሪያዎች በግራናይት ንኡስ ንጣፍ ላይ የተመሰረቱ፣ የተረጋጋ ልኬት አፈፃፀሙ ያለው፣ የፍተሻ ስርዓቱ ለረዥም ጊዜ ከፍተኛ ትክክለኝነት መያዙን፣ በመሳሪያዎች ትክክለኛነት መንሳፈፍ ምክንያት የሚፈጠሩትን የተሳሳቱ አመለካከቶችን እና ያመለጡ መለየትን እንዲቀንስ እና የምርት ምርትን በእጅጉ ማሻሻል ይችላል። ይህ በእንዲህ እንዳለ ዝቅተኛ የጥገና መስፈርቶች የመሳሪያውን ሙሉ የህይወት ዑደት ዋጋ ይቀንሳሉ. የሲሚንዲን ብረት ንጣፎችን የሚጠቀሙ መሳሪያዎች፣ በመጠነኛ መጠነኛ መረጋጋት ምክንያት ተደጋጋሚ ማስተካከያ እና ጥገና ያስፈልጋቸዋል። ይህ የሥራ ማስኬጃ ወጪዎችን ብቻ ሳይሆን በቂ ያልሆነ ትክክለኛነት ምክንያት የሴሚኮንዳክተር ምርት ጥራት ላይ ተጽእኖ ሊያሳድር ይችላል, ይህም ኢኮኖሚያዊ ኪሳራ ያስከትላል. .
በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪው ከፍተኛ ትክክለኛነትን እና ጥራትን የማሳደድ አዝማሚያ መሰረት ግራናይትን ለዋፈር ፍተሻ መሳሪያዎች መሰረት አድርጎ መምረጥ የመሳሪያውን አፈፃፀም ለማረጋገጥ እና የኢንተርፕራይዞችን ተወዳዳሪነት ለማሳደግ የጥበብ እርምጃ እንደሆነ ጥርጥር የለውም። .