በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ላይ የሙቀት መስፋፋት ቅንጅት ልዩ ተጽዕኖ።

.
የመጨረሻውን ትክክለኛነት በሚከታተለው ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ መስክ፣ የሙቀት መስፋፋት ቅንጅት የምርት ጥራት እና የምርት መረጋጋት ላይ ተጽዕኖ ከሚያሳድሩ ዋና መለኪያዎች ውስጥ አንዱ ነው። በጠቅላላው ሂደት ከፎቶሊተግራፊ፣ ከማሳመር እስከ ማሸግ፣ የቁሳቁሶች የሙቀት ማስፋፊያ ቅንጅቶች ልዩነቶች በተለያዩ መንገዶች የማምረት ትክክለኛነት ላይ ጣልቃ ሊገቡ ይችላሉ። ነገር ግን፣ ግራናይት መሰረት፣ እጅግ በጣም ዝቅተኛ የሙቀት ማስፋፊያ ቅንጅት ያለው፣ ይህንን ችግር ለመፍታት ቁልፍ ሆኗል። .
የሊቶግራፊ ሂደት፡ የሙቀት ለውጥ የስርዓተ-ጥለት መዛባትን ያስከትላል
ፎቶሊቶግራፊ በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ ዋና ደረጃ ነው። በፎቶሊቶግራፊ ማሽን አማካኝነት ጭምብሉ ላይ ያሉት የወረዳ ንድፎች በፎቶሪስቲስት በተሸፈነው የቫፈር ወለል ላይ ይተላለፋሉ። በዚህ ሂደት ውስጥ በፎቶሊቶግራፊ ማሽኑ ውስጥ ያለው የሙቀት አስተዳደር እና የስራ ጠረጴዛው መረጋጋት በጣም አስፈላጊ ነው. ባህላዊ የብረት ቁሳቁሶችን እንደ ምሳሌ እንውሰድ. የሙቀት መስፋፋት ጥምርታቸው በግምት 12×10⁻⁶/℃ ነው። የፎቶሊቶግራፊ ማሽኑ በሚሠራበት ጊዜ በሌዘር ብርሃን ምንጭ፣ በኦፕቲካል ሌንሶች እና በሜካኒካል ክፍሎች የሚፈጠረው ሙቀት የመሳሪያውን ሙቀት በ5-10 ℃ ይጨምራል። የሊቶግራፊ ማሽኑ የሥራ ጠረጴዛ የብረት መሠረትን ከተጠቀመ 1 ሜትር ርዝመት ያለው መሠረት ከ60-120 μm የማስፋፊያ ለውጥ ሊያመጣ ይችላል ፣ ይህም በጭምብሉ እና በቫፈር መካከል ባለው አንፃራዊ ቦታ ላይ ለውጥ ያስከትላል ። .
በላቁ የማኑፋክቸሪንግ ሂደቶች (እንደ 3nm እና 2nm) የትራንዚስተር ክፍተት ጥቂት ናኖሜትሮች ብቻ ነው። እንዲህ ዓይነቱ ትንሽ የሙቀት ለውጥ የፎቶሊቶግራፊ ንድፍ የተሳሳተ እንዲሆን ለማድረግ በቂ ነው, ይህም ወደ ያልተለመዱ ትራንዚስተር ግንኙነቶች, አጭር ዑደት ወይም ክፍት ዑደት እና ሌሎች ጉዳዮችን ያስከትላል, ይህም በቀጥታ የቺፕ ተግባራትን አለመሳካት ያስከትላል. የ granite base thermal expansion coefficient of 0.01μm/°C (ማለትም፣ (1-2) ×10⁻⁶/℃) ዝቅተኛ ነው፣ እና በተመሳሳይ የሙቀት ለውጥ ስር ያለው መበላሸት ከብረት 1/10-1/5 ብቻ ነው። ለፎቶሊቶግራፊ ማሽን የተረጋጋ የመሸከምያ መድረክን ሊያቀርብ ይችላል, የፎቶሊተግራፊ ንድፍ በትክክል ማስተላለፍን ያረጋግጣል እና የቺፕ ማምረቻ ምርትን በእጅጉ ያሻሽላል. .

ማሳከክ እና ማስቀመጥ፡ የመዋቅሩ ልኬት ትክክለኛነት ላይ ተጽእኖ ያሳድራል።
ማሳከክ እና ማስቀመጥ በዋፈር ወለል ላይ ባለ ሶስት አቅጣጫዊ የወረዳ መዋቅሮችን ለመገንባት ቁልፍ ሂደቶች ናቸው። በማሳከክ ሂደት ውስጥ, ምላሽ ሰጪው ጋዝ ከዋፋው ወለል ጋር በኬሚካላዊ ምላሽ ይሰጣል. ይህ በእንዲህ እንዳለ በመሳሪያው ውስጥ እንደ RF ሃይል አቅርቦት እና የጋዝ ፍሰት መቆጣጠሪያ ያሉ ክፍሎች ሙቀትን ያመነጫሉ, ይህም የቫፈር እና የመሳሪያው ክፍሎች የሙቀት መጠን ይጨምራሉ. የዋፈር ተሸካሚው ወይም የመሳሪያው መሠረት የሙቀት መስፋፋት ጥምርታ ከዋፋው ጋር የማይዛመድ ከሆነ (የሲሊኮን ቁሳቁስ የሙቀት መስፋፋት መጠን በግምት 2.6 × 10⁻⁶/℃) የሙቀት መጠን ሲቀየር የሙቀት ጭንቀት ይፈጠራል ፣ ይህም በ Wafer ወለል ላይ ጥቃቅን ስንጥቆች ወይም ግጭቶችን ያስከትላል። .
የዚህ ዓይነቱ መበላሸት በቆርቆሮው ጥልቀት እና በጎን ግድግዳው ላይ ያለውን ቋሚነት ይነካል, ይህም የተቀረጹትን ጉድጓዶች መለኪያዎችን, በቀዳዳዎች እና ሌሎች መዋቅሮች ከዲዛይን መስፈርቶች እንዲወጡ ያደርጋል. በተመሳሳይም በቀጭኑ የፊልም አቀማመጥ ሂደት ውስጥ የሙቀት መስፋፋት ልዩነት በተቀማጭ ስስ ፊልም ውስጥ ውስጣዊ ጭንቀትን ሊያስከትል ይችላል, ይህም እንደ ፊልሙ መሰንጠቅ እና መፋቅ የመሳሰሉ ችግሮች ያስከትላል, ይህም የኤሌክትሪክ አፈፃፀምን እና የቺፑን የረጅም ጊዜ አስተማማኝነት ይነካል. ከሲሊኮን ቁሳቁሶች ጋር ተመሳሳይ በሆነ የሙቀት ማስፋፊያ ቅንጅት የ granite bases አጠቃቀም የሙቀት ጭንቀትን ውጤታማ በሆነ መንገድ ሊቀንስ እና የመለጠጥ እና የማስቀመጫ ሂደቶችን መረጋጋት እና ትክክለኛነት ያረጋግጣል። .
የማሸጊያ ደረጃ፡ የሙቀት አለመመጣጠን የአስተማማኝነት ችግሮችን ያስከትላል
በሴሚኮንዳክተር ማሸጊያ ደረጃ በቺፑ እና በማሸጊያው (እንደ ኢፖክሲ ሬንጅ፣ ሴራሚክስ፣ ወዘተ) መካከል ያለው የሙቀት ማስፋፊያ ቅንጅቶች ተኳሃኝነት በጣም አስፈላጊ ነው። የቺፕስ ዋና አካል የሆነው የሲሊኮን የሙቀት ማስፋፊያ ቅንጅት በአንፃራዊነት ዝቅተኛ ሲሆን የአብዛኞቹ ማሸጊያ እቃዎች በአንጻራዊነት ከፍተኛ ናቸው። በጥቅም ላይ በሚውልበት ጊዜ የቺፑ ሙቀት በሚቀየርበት ጊዜ በሙቀት ማስፋፊያ ቅንጅቶች አለመመጣጠን ምክንያት በቺፑ እና በማሸጊያው መካከል ያለው የሙቀት ጭንቀት ይከሰታል። .
ይህ የሙቀት ውጥረቱ በተደጋጋሚ የሙቀት ዑደቶች (እንደ ቺፑ በሚሠራበት ጊዜ ማሞቅ እና ማቀዝቀዝ) በቺፑ እና በማሸጊያው ወለል መካከል ያለውን የሽያጭ ማያያዣዎች ድካም ወደ መቆራረጥ ሊያመራ ይችላል ወይም በቺፑ ላይ ያለው ትስስር ሽቦዎች እንዲወድቁ ሊያደርግ ይችላል, በመጨረሻም የቺፑን የኤሌክትሪክ ግንኙነት ውድቀት ያስከትላል. በማሸጊያው ሂደት ውስጥ ለትክክለኛነት ትክክለኛነት የግራናይት የሙከራ መድረኮችን በመጠቀም ከሲሊኮን ቁሳቁሶች አቅራቢያ ካለው የሙቀት ማስፋፊያ ቅንጅት ጋር ማሸጊያ substrate ቁሳቁሶችን በመምረጥ የሙቀት አለመመጣጠን ችግርን ውጤታማ በሆነ መንገድ መቀነስ ፣ የማሸጊያውን አስተማማኝነት ማሻሻል እና የቺፑን የአገልግሎት ዘመን ሊራዘም ይችላል። .
የምርት አካባቢ ቁጥጥር: የመሳሪያዎች እና የፋብሪካ ሕንፃዎች የተቀናጀ መረጋጋት
የምርት ሂደቱን በቀጥታ ከመነካቱ በተጨማሪ የሙቀት መስፋፋት ቅንጅት ከሴሚኮንዳክተር ፋብሪካዎች አጠቃላይ የአካባቢ ቁጥጥር ጋር የተያያዘ ነው. በትልልቅ ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ አውደ ጥናቶች እንደ የአየር ማቀዝቀዣ ስርዓቶች ጅምር እና ማቆም እና የመሳሪያ ስብስቦች ሙቀት መበታተን ያሉ ሁኔታዎች የአካባቢ ሙቀት መለዋወጥ ሊያስከትሉ ይችላሉ። የፋብሪካው ወለል፣የመሳሪያዎች መሰረቶች እና ሌሎች መሠረተ ልማቶች የሙቀት መስፋፋት ጥምርታ በጣም ከፍተኛ ከሆነ የረዥም ጊዜ የሙቀት ለውጥ መሬቱ እንዲሰነጠቅ እና የመሳሪያው መሠረት እንዲለወጥ ስለሚያደርግ እንደ የፎቶሊቶግራፊ ማሽኖች እና ኢቲች ማሽነሪዎች ያሉ ትክክለኛ መሣሪያዎችን ትክክለኛነት ይነካል። .
ግራናይት መሰረቶችን እንደ መሳሪያ ድጋፍ በማድረግ እና ከፋብሪካ የግንባታ እቃዎች ጋር በማዋሃድ ዝቅተኛ የሙቀት ማስፋፊያ ቅንጅቶች ጋር በማጣመር የተረጋጋ የምርት አካባቢ መፍጠር ይቻላል, የአካባቢ ሙቀት ለውጥ ምክንያት የመሣሪያዎች መለኪያ እና የጥገና ወጪዎችን ድግግሞሽ በመቀነስ እና የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ መስመርን የረጅም ጊዜ የተረጋጋ አሠራር ማረጋገጥ ይቻላል. .
የሙቀት ማስፋፊያ ቅንጅት በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ አጠቃላይ የሕይወት ዑደት ውስጥ ከቁስ ምርጫ ፣ ከሂደት ቁጥጥር እስከ ማሸግ እና ሙከራ ድረስ ይሠራል። የሙቀት መስፋፋት ተጽእኖ በእያንዳንዱ ማገናኛ ውስጥ በጥብቅ መታየት አለበት. የግራናይት መሠረቶች እጅግ በጣም ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት እና ሌሎች ጥሩ ባህሪያት ያላቸው ለሴሚኮንዳክተር ማምረቻ የተረጋጋ አካላዊ መሠረት ይሰጣሉ እና የቺፕ ማምረቻ ሂደቶችን ወደ ከፍተኛ ትክክለኛነት ለማሳደግ አስፈላጊ ዋስትና ይሆናሉ።