ሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ወደ nanoscale የማኑፋክቸሪንግ ሂደቶች በሚሸጋገርበት ሂደት ውስጥ የዋፈር መቆራረጥ በቺፕ ማምረቻ ውስጥ ቁልፍ አገናኝ እንደመሆኑ መጠን ለመሣሪያዎች መረጋጋት እጅግ በጣም ጥብቅ መስፈርቶች አሉት። የ granite መሰረቱ፣ በሚያስደንቅ የንዝረት መቋቋም እና የሙቀት መረጋጋት ከፍተኛ ትክክለኛነት እና ከፍተኛ ቅልጥፍናን የዋፈር ማቀነባበሪያን ለማግኘት አስተማማኝ ዋስትና በመስጠት የዋፈር መቁረጫ መሳሪያዎች ዋና አካል ሆኗል። .
ከፍተኛ እርጥበት እና ፀረ-ንዝረት ባህሪያት፡ የናኖ-ደረጃ መቁረጥ ትክክለኛነትን መጠበቅ
የቫፈር መቁረጫ መሳሪያዎች በሚሰሩበት ጊዜ የሾላውን ከፍተኛ ፍጥነት ማዞር, የመቁረጫ መሳሪያው ከፍተኛ ድግግሞሽ እና በአካባቢው መሳሪያዎች የሚፈጠረውን የአካባቢ ንዝረት በመቁረጥ ትክክለኛነት ላይ ከፍተኛ ተጽዕኖ ያሳድራል. የባህላዊ የብረት መሠረቶች የእርጥበት አፈጻጸም ውስን ነው፣ ይህም ንዝረትን በፍጥነት ለማዳከም አስቸጋሪ ያደርገዋል፣ ይህም ወደ ማይክሮን ደረጃ የመቁረጫ መሳሪያዎች ይመራል እና እንደ የተቆራረጡ ጠርዞች እና ስንጥቆች ያሉ ጉድለቶችን በቀጥታ ያስከትላል። የ granite መሰረቱ ከፍተኛ እርጥበት ባህሪያት ይህንን ችግር በመሠረታዊነት ፈትተዋል. .
የ granite ውስጣዊ ማዕድን ክሪስታሎች በቅርበት የተጠለፉ ናቸው, ተፈጥሯዊ የኃይል ማባከን መዋቅር ይመሰርታሉ. ንዝረቱ ወደ መሰረቱ በሚተላለፍበት ጊዜ፣ በውስጡ ያለው ማይክሮስትራክቸር የንዝረት ሃይልን በፍጥነት ወደ የሙቀት ሃይል በመቀየር ውጤታማ የንዝረት መቀነስን ያስችላል። የሙከራ መረጃ እንደሚያሳየው በተመሳሳይ የንዝረት አካባቢ የግራናይት መሰረት የንዝረት መጠኑን ከ90% በላይ በ0.5 ሰከንድ ውስጥ ሊያዳክም የሚችል ሲሆን የብረት መሰረቱ ከ3 እስከ 5 ሰከንድ ያስፈልገዋል። ይህ አስደናቂ የእርጥበት አፈጻጸም የመቁረጫ መሳሪያው በ nanoscale መቁረጥ ሂደት ውስጥ የተረጋጋ መሆኑን ያረጋግጣል፣ ይህም የዋፈር መቁረጡን ለስላሳ ጠርዝ ያረጋግጣል እና የቺፕንግ ፍጥነትን በብቃት ይቀንሳል። ለምሳሌ፣ በ5nm የዋፈር መቆራረጥ ሂደት፣ የግራናይት መሰረት ያላቸው መሳሪያዎች በ10μm ውስጥ የቺፒንግ መጠንን መቆጣጠር ይችላሉ፣ ይህም የብረት መሰረት ካላቸው መሳሪያዎች ከ40% በላይ ከፍ ያለ ነው። .
የሙቀት መስፋፋት እጅግ በጣም ዝቅተኛ ቅንጅት፡ የሙቀት መለዋወጦችን ተጽዕኖ የሚቋቋም
በቫፈር መቁረጫ ሂደት ውስጥ በመቁረጫ መሳሪያዎች ግጭት ምክንያት የሚፈጠረው ሙቀት፣ ከመሣሪያው የረዥም ጊዜ አሠራር የሙቀት መጠን መሟጠጥ እና የአውደ ጥናቱ የአካባቢ ሙቀት ለውጦች የመሳሪያውን ክፍሎች የሙቀት መዛባት ሊያስከትሉ ይችላሉ። የብረታ ብረት ቁሳቁሶች የሙቀት መስፋፋት ጥምርታ በአንጻራዊነት ከፍተኛ ነው (በግምት 12×10⁻⁶/℃)። የሙቀት መጠኑ በ 5 ℃ ሲለዋወጥ የ 1 ሜትር ርዝመት ያለው የብረት መሠረት የ 60μm ቅርጽ ሊለወጥ ይችላል, ይህም የመቁረጫ ቦታው እንዲለወጥ እና የመቁረጥ ትክክለኛነት ላይ ከፍተኛ ተጽዕኖ ያሳድራል. .
የግራናይት መሠረት የሙቀት መስፋፋት ጥምርታ (4-8) ×10⁻⁶/℃ ብቻ ነው፣ ይህም ከብረት ቁሶች አንድ ሶስተኛ ያነሰ ነው። በተመሳሳዩ የሙቀት ለውጥ ፣ የመጠን ለውጥ ችላ ሊባል ይችላል። የአንድ የተወሰነ ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ድርጅት የሚለካው መረጃ እንደሚያሳየው ለ 8 ሰአታት ቀጣይነት ያለው ከፍተኛ ኃይለኛ የዋፈር መቁረጥ ሥራ በሚሠራበት ጊዜ ፣ የአካባቢው የሙቀት መጠን በ 10 ℃ ሲለዋወጥ ፣ የግራናይት መሠረት ያለው የመሳሪያው የመቁረጫ ቦታ ማካካሻ ከ 20 ማይክሮን ያነሰ ነው ፣ የብረት መሠረት ያላቸው መሳሪያዎች ከ 60μm በላይ። ይህ የተረጋጋ የሙቀት አፈፃፀም በመቁረጫ መሳሪያው እና በቫፈር መካከል ያለው አንጻራዊ ቦታ ሁል ጊዜ በትክክል እንደሚቆይ ያረጋግጣል። በረጅም ጊዜ ቀጣይነት ያለው ቀዶ ጥገና ወይም የአካባቢ ሙቀት ከፍተኛ ለውጦች እንኳን, የመቁረጥ ትክክለኛነት ወጥነት ሊቆይ ይችላል. .
ግትርነት እና የመልበስ መቋቋም፡ የመሳሪያውን የረጅም ጊዜ የተረጋጋ አሠራር ያረጋግጡ
ከንዝረት መቋቋም እና የሙቀት መረጋጋት ጥቅሞች በተጨማሪ ፣ የ granite መሠረቱ ከፍተኛ ጥንካሬ እና የመልበስ መከላከያ የበለጠ የቫፈር መቁረጫ መሳሪያዎችን አስተማማኝነት ይጨምራል። ግራናይት በMohs ሚዛን ከ6 እስከ 7 ያለው ጥንካሬ እና ከ120MPa በላይ የሆነ የማመቅ ጥንካሬ አለው። በመቁረጥ ሂደት ውስጥ ከፍተኛውን ጫና እና ተፅእኖን መቋቋም የሚችል እና ለመበስበስ የተጋለጠ አይደለም. ይህ በእንዲህ እንዳለ ጥቅጥቅ ያለ አወቃቀሩ እጅግ በጣም ጥሩ የመልበስ የመቋቋም ችሎታ ይሰጠዋል. በተደጋጋሚ የመቁረጥ ስራዎች በሚሰሩበት ጊዜ እንኳን, የመሠረቱ ገጽታ ለመልበስ የተጋለጠ አይደለም, ይህም መሳሪያው ለረጅም ጊዜ ከፍተኛ ትክክለኛነት ያለው አሠራር እንዲቆይ ያደርጋል. .
በተግባራዊ አተገባበር፣ ብዙ የዋፈር ማምረቻ ኢንተርፕራይዞች የመቁረጫ መሳሪያዎችን ከግራናይት መሰረቶች ጋር በመተግበር የምርት ምርትን እና የምርት ቅልጥፍናን በእጅጉ አሻሽለዋል። በዓለም አቀፍ ደረጃ ከሚመራው ፋውንዴሪ የተገኘው መረጃ እንደሚያሳየው የግራናይት ቤዝ መሳሪያዎችን ካስተዋወቁ በኋላ የዋፈር መቁረጫ ምርት ከ88% ወደ 95% በላይ ጨምሯል ፣የመሳሪያዎች ጥገና ዑደት በሦስት እጥፍ ተራዝሟል ፣ይህም የምርት ወጪን በውጤታማነት በመቀነስ የገበያ ተወዳዳሪነትን ያሳድጋል። .
በማጠቃለያው ፣ የ granite መሰረቱ እጅግ በጣም ጥሩ የንዝረት መቋቋም ፣ የሙቀት መረጋጋት ፣ ከፍተኛ ጥንካሬ እና የመልበስ መቋቋም ፣ ለ wafer መቁረጫ መሳሪያዎች አጠቃላይ የአፈፃፀም ዋስትናዎችን ይሰጣል ። ሴሚኮንዳክተር ቴክኖሎጂ ወደ ከፍተኛ ትክክለኝነት እየገፋ ሲሄድ፣ የግራናይት መሠረቶች የሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ቀጣይነት ያለው አዲስ ፈጠራ እድገትን በማስተዋወቅ በዋፈር ማምረቻ መስክ የበለጠ ጉልህ ሚና ይጫወታሉ።
የልጥፍ ሰዓት፡- ግንቦት-20-2025