ለሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች ለግራናይት መሰረቶች ቴክኒካዊ መስፈርቶች ።

1. የመጠን ትክክለኛነት
ጠፍጣፋነት: የመሠረቱ ወለል ጠፍጣፋ በጣም ከፍተኛ ደረጃ ላይ መድረስ አለበት, እና የጠፍጣፋው ስህተት በማንኛውም 100mm × 100mm አካባቢ ከ ± 0.5μm መብለጥ የለበትም; ለጠቅላላው የመሠረት አውሮፕላን, የጠፍጣፋው ስህተት በ ± 1μm ውስጥ ቁጥጥር ይደረግበታል. ይህ ሴሚኮንዳክተር መሣሪያዎች ቁልፍ ክፍሎች, እንደ ሊቶግራፊ መሣሪያዎች መጋለጥ ራስ እና ቺፕ ማወቂያ መሣሪያዎች መጠይቅን ጠረጴዛ, stably የተጫኑ እና ከፍተኛ ትክክለኛነትን አውሮፕላን ላይ እንዲሠራ, የጨረር መንገድ እና መሣሪያዎች የወረዳ ግንኙነት ትክክለኛነት ለማረጋገጥ, እና መሠረቱ ቺፕ ማወቂያ ትክክለኛነት ላይ ተጽዕኖ ይህም መሠረት ወጣገባ አውሮፕላን ምክንያት ክፍሎች መፈናቀል መዛባት ለማስወገድ ያረጋግጣል.
ቀጥተኛነት: የእያንዳንዱ የመሠረቱ ጠርዝ ቀጥተኛነት ወሳኝ ነው. በርዝመቱ አቅጣጫ, ቀጥተኛነት ስህተቱ በ 1 ሜትር ከ ± 1μm መብለጥ የለበትም; ሰያፍ ቀጥተኛነት ስህተቱ በ±1.5μm ውስጥ ቁጥጥር ይደረግበታል። ከፍተኛ ትክክለኛነት ያለው የሊቶግራፊ ማሽንን እንደ ምሳሌ በመውሰድ ጠረጴዛው በመሠረት መሪው ሐዲድ ላይ ሲንቀሳቀስ የመሠረቱ ጠርዝ ቀጥተኛነት የሠንጠረዡን ትክክለኛ ትክክለኛነት ይነካል. ቀጥተኛነት ደረጃውን የጠበቀ ካልሆነ የሊቶግራፊ ንድፍ የተዛባ እና የተበላሸ ይሆናል, በዚህም ምክንያት የቺፕ ማምረቻ ምርትን ይቀንሳል.
ትይዩነት፡ የመሠረቱ የላይኛው እና የታችኛው ክፍል ትይዩነት ስህተት በ± 1μm ውስጥ ቁጥጥር ሊደረግበት ይገባል። ጥሩ ትይዩነት መሳሪያውን ከተጫነ በኋላ የአጠቃላይ የስበት ማእከል መረጋጋትን ማረጋገጥ ይችላል, እና የእያንዳንዱ አካል ኃይል አንድ አይነት ነው. በሴሚኮንዳክተር ዋፈር ማምረቻ መሳሪያዎች ውስጥ የመሠረቱ የላይኛው እና የታችኛው ክፍል ትይዩ ካልሆኑ ቫውሩ በሚቀነባበርበት ጊዜ ዘንበል ይላል ፣ ይህም የሂደቱን ተመሳሳይነት እንደ ማሳከክ እና ሽፋን ላይ ተጽዕኖ ያሳድራል ፣ እናም የቺፕ አፈፃፀም ወጥነት ላይ ተጽዕኖ ያሳድራል።
ሁለተኛ, ቁሳዊ ባህሪያት
ጠንካራነት፡ የግራናይት መሰረት ቁስ ጥንካሬ ወደ ሾር ጠንካራነት HS70 ወይም ከዚያ በላይ መድረስ አለበት። ከፍተኛ ጥንካሬው መሳሪያው በሚሠራበት ጊዜ በተደጋጋሚ እንቅስቃሴ እና በንጥረ ነገሮች ምክንያት የሚፈጠረውን ድካም በተሳካ ሁኔታ መቋቋም ይችላል, ይህም መሰረቱን ከረጅም ጊዜ ጥቅም ላይ ከዋለ በኋላ ከፍተኛ ትክክለኛነትን መጠበቅ ይችላል. በቺፕ ማሸጊያ መሳሪያዎች ውስጥ, የሮቦት ክንድ በተደጋጋሚ ቺፑን በመያዝ ቺፑን በመሠረቱ ላይ ያስቀምጣል, እና የመሠረቱ ከፍተኛ ጥንካሬ ፊቱ ላይ ጭረቶችን ለማምረት እና የሮቦት ክንድ እንቅስቃሴን ትክክለኛነት ለመጠበቅ ቀላል እንዳልሆነ ያረጋግጣል.
ትፍገት፡ የቁሳቁስ ጥግግት ከ2.6-3.1 ግ/ሴሜ³ መካከል መሆን አለበት። ተገቢው ጥግግት መሰረቱን ጥሩ ጥራት ያለው መረጋጋት እንዲኖረው ያደርገዋል, ይህም መሳሪያውን ለመደገፍ በቂ ጥንካሬን ሊያረጋግጥ ይችላል, እና ከመጠን በላይ ክብደት የተነሳ መሳሪያውን ለመጫን እና ለማጓጓዝ ችግርን አያመጣም. በትልቅ ሴሚኮንዳክተር የፍተሻ መሳሪያዎች ውስጥ የተረጋጋ የመሠረት ጥግግት በመሳሪያዎች ሥራ ወቅት የንዝረት ስርጭትን ለመቀነስ እና የማወቅ ትክክለኛነትን ለማሻሻል ይረዳል.
የሙቀት መረጋጋት፡ የመስመራዊ ማስፋፊያ ቅንጅት ከ5×10⁻⁶/℃ ያነሰ ነው። ሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች ለሙቀት ለውጦች በጣም ስሜታዊ ናቸው, እና የመሠረቱ የሙቀት መረጋጋት ከመሳሪያው ትክክለኛነት ጋር በቀጥታ የተያያዘ ነው. በሊቶግራፊ ሂደት ውስጥ, የሙቀት መጠን መለዋወጥ የመሠረቱን መስፋፋት ወይም መጨናነቅን ሊያስከትል ይችላል, በዚህም ምክንያት የተጋላጭነት ንድፍ መጠን መዛባት. ዝቅተኛ የመስመራዊ ማስፋፊያ ቅንጅት ያለው ግራናይት መሠረት የመሳሪያዎቹ የአሠራር ሙቀት ሲቀየር (በአጠቃላይ 20-30 ° ሴ) የሊቶግራፊ ትክክለኛነትን ለማረጋገጥ መጠኑን በትንሹ መጠን መቆጣጠር ይችላል።
ሦስተኛ, የገጽታ ጥራት
ሸካራነት፡- የገጽታ ሸካራነት Ra ዋጋ በመሠረቱ ላይ ከ0.05μm አይበልጥም። እጅግ በጣም ለስላሳው ገጽታ የአቧራ እና የቆሻሻ መጣያዎችን ማመቻቸትን ሊቀንስ እና የሴሚኮንዳክተር ቺፕ ማምረቻ አካባቢን ንፅህና ላይ ያለውን ተጽእኖ ሊቀንስ ይችላል. ከአቧራ-ነጻ በሆነው የቺፕ ማምረቻ አውደ ጥናት ውስጥ ትናንሽ ቅንጣቶች እንደ ቺፕ አጭር ዑደት ወደ ጉድለቶች ሊያመሩ ይችላሉ ፣ እና የመሠረቱ ለስላሳ ወለል የአውደ ጥናቱን ንፁህ አከባቢን ለመጠበቅ እና የቺፕ ምርትን ለማሻሻል ይረዳል ።
ጥቃቅን ጉድለቶች: የመሠረቱ ወለል ምንም የሚታዩ ስንጥቆች, የአሸዋ ቀዳዳዎች, ቀዳዳዎች እና ሌሎች ጉድለቶች እንዲኖሩት አይፈቀድም. በአጉሊ መነጽር ደረጃ ከ 1 μm በላይ ዲያሜትር ያላቸው ጉድለቶች በኤሌክትሮን ማይክሮስኮፕ ከ 3 አይበልጥም. እነዚህ ጉድለቶች የመሠረቱን መዋቅራዊ ጥንካሬ እና የወለል ንጣፍ ላይ ተጽእኖ ያሳድራሉ, ከዚያም የመሳሪያውን መረጋጋት እና ትክክለኛነት ይነካል.
አራተኛ, መረጋጋት እና አስደንጋጭ መቋቋም
ተለዋዋጭ መረጋጋት፡- በሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች አሠራር በሚፈጠረው አስመሳይ የንዝረት አካባቢ (የንዝረት ድግግሞሽ ክልል 10-1000 ኸርዝ፣ ስፋት 0.01-0.1 ሚሜ) በመሠረት ላይ ያሉ የቁልፍ መጫኛ ነጥቦች ንዝረት መፈናቀል በ± 0.05μm ውስጥ ቁጥጥር ሊደረግበት ይገባል። ሴሚኮንዳክተር መሞከሪያ መሳሪያዎችን እንደ ምሳሌ በመውሰድ የመሣሪያው የራሱ ንዝረት እና በዙሪያው ያለው የአካባቢ ንዝረት በሚሠራበት ጊዜ ወደ መሠረቱ የሚተላለፉ ከሆነ የሙከራ ምልክቱ ትክክለኛነት ጣልቃ ሊገባ ይችላል። ጥሩ ተለዋዋጭ መረጋጋት አስተማማኝ የፈተና ውጤቶችን ማረጋገጥ ይችላል.
የመሬት መንቀጥቀጥ መቋቋም፡ መሰረቱ እጅግ በጣም ጥሩ የሴይስሚክ አፈጻጸም ሊኖረው ይገባል፣ እና ድንገተኛ የውጭ ንዝረት ሲገጥመው የንዝረት ሃይሉን በፍጥነት ሊያዳክም ይችላል (እንደ ሴይስሚክ ሞገድ ማስመሰል ንዝረት) እና የመሳሪያዎቹ ቁልፍ ክፍሎች አንጻራዊ አቀማመጥ በ± 0.1μm ውስጥ መቀየሩን ያረጋግጡ። በመሬት መንቀጥቀጥ በተጋለጡ አካባቢዎች ሴሚኮንዳክተር ፋብሪካዎች ውስጥ የመሬት መንቀጥቀጥ ተከላካይ መሠረቶች ውድ ሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎችን ውጤታማ በሆነ መንገድ ሊከላከሉ ይችላሉ, ይህም በንዝረት ምክንያት የመሣሪያዎች ጉዳት እና የምርት መቋረጥ አደጋን ይቀንሳል.
5. የኬሚካል መረጋጋት
ዝገት የመቋቋም: የ granite መሠረት semiconductor የማኑፋክቸሪንግ ሂደት ውስጥ የጋራ ኬሚካላዊ ወኪሎች መካከል ዝገት መቋቋም አለበት, እንደ hydrofluoric አሲድ, aqua regia, ወዘተ እንደ hydrofluoric አሲድ, 24 ሰዓታት ውስጥ 40% የጅምላ ክፍልፋይ ጋር hydrofluoric አሲድ መፍትሄ ውስጥ ከዘፈዘፈ በኋላ, ላይ ላዩን ጥራት ኪሳራ መጠን 0.01% መብለጥ የለበትም; በ aqua regia (የሃይድሮክሎሪክ አሲድ መጠን ሬሾ እና ናይትሪክ አሲድ 3፡1) ውስጥ ለ12 ሰአታት ያርፉ፣ እና ላይ ላይ ምንም ግልጽ የሆነ የዝገት ምልክቶች የሉም። ሴሚኮንዳክተር የማምረት ሂደት የተለያዩ ኬሚካላዊ ንፅህና እና የጽዳት ሂደቶችን ያካትታል, እና የመሠረቱ ጥሩ የዝገት መቋቋም በኬሚካላዊ አካባቢ ውስጥ ለረጅም ጊዜ ጥቅም ላይ የሚውለው እንዳይበላሽ እና ትክክለኝነት እና መዋቅራዊነት እንዲጠበቅ ያደርጋል.
ፀረ-ብክለት፡ ቤዝ ቁስ በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ አካባቢ ውስጥ የሚገኙትን እንደ ኦርጋኒክ ጋዞች፣ የብረት አየኖች፣ ወዘተ የመሳሰሉ የጋራ ብክለትን እጅግ በጣም ዝቅተኛ የመምጠጥ አቅም አለው። 10 ፒፒኤም ኦርጋኒክ ጋዞችን (ለምሳሌ ቤንዚን፣ ቶሉይን) እና 1 ፒፒኤም የብረት ions (ለምሳሌ የመዳብ ions፣ የብረት ions) ለ 72 ሰአታት በመሬቱ ብክለት ምክንያት የተፈጠረ አፈፃፀም ነው። ቸልተኛ. ይህ ብክለትን ከመሠረቱ ወለል ወደ ቺፕ ማምረቻ ቦታ እንዳይሸጋገሩ እና የቺፑን ጥራት እንዳይጎዳ ይከላከላል.