ለሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች የግራናይት መሠረቶች ቴክኒካዊ መስፈርቶች።

1. የመለኪያ ትክክለኛነት
ጠፍጣፋነት፡ የመሠረቱ ወለል ጠፍጣፋነት በጣም ከፍተኛ ደረጃ ላይ መድረስ አለበት፣ እና የጠፍጣፋነት ስህተቱ በማንኛውም 100ሚሜ × 100ሚሜ አካባቢ ከ ±0.5μm መብለጥ የለበትም፤ ለጠቅላላው የመሠረት ወለል፣ የጠፍጣፋነት ስህተቱ በ ±1μm ውስጥ ቁጥጥር ይደረግበታል። ይህም እንደ የሊቶግራፊ መሳሪያዎች የመጋለጥ ራስ እና የቺፕ ማወቂያ መሳሪያዎች የምርመራ ሰንጠረዥ ያሉ የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች ቁልፍ ክፍሎች በከፍተኛ ትክክለኛነት ላይ በተረጋጋ ሁኔታ መጫን እና መስራት መቻላቸውን ያረጋግጣል፣ የመሳሪያውን የኦፕቲካል መንገድ እና የወረዳ ግንኙነት ትክክለኛነት ማረጋገጥ እና የሴሚኮንዳክተር ቺፕ ማምረቻ እና የመለየት ትክክለኛነት ላይ ተጽዕኖ የሚያሳድር የመሠረቱ ያልተስተካከለ አውሮፕላን ምክንያት የሚመጡትን ክፍሎች መፈናቀልን ያስወግዳል።
ቀጥተኛነት፡ የመሠረቱ እያንዳንዱ ጠርዝ ቀጥተኛነት ወሳኝ ነው። ከርዝመት አንፃር፣ ቀጥተኛነት ስህተቱ በ1ሜ ±1μm መብለጥ የለበትም፤ የሰያፍ ቀጥተኛነት ስህተቱ በ±1.5μm ውስጥ ቁጥጥር ይደረግበታል። ከፍተኛ ትክክለኛነት ያለው የሊቶግራፊ ማሽንን እንደ ምሳሌ በመውሰድ፣ ሠንጠረዡ በመሠረያው መሪ ሐዲድ ላይ ሲንቀሳቀስ፣ የመሠረቱ ጠርዝ ቀጥተኛነት የሠንጠረዡን የመንገድ ትክክለኝነት በቀጥታ ይነካል። ቀጥተኛነቱ ደረጃውን የጠበቀ ካልሆነ፣ የሊቶግራፊ ንድፍ የተዛባ እና የተዛባ ይሆናል፣ ይህም የቺፕ ማምረቻ ምርትን ይቀንሳል።
ትይዩሊዝም፡ የመሠረቱ የላይኛው እና የታችኛው ገጽታዎች ትይዩሊዝም ስህተት በ±1μm ውስጥ ቁጥጥር ሊደረግበት ይገባል። ጥሩ ትይዩሊዝም መሳሪያው ከተጫነ በኋላ አጠቃላይ የስበት ማዕከል መረጋጋትን ማረጋገጥ ይችላል፣ እና የእያንዳንዱ አካል ኃይል ወጥ ነው። በሴሚኮንዳክተር ዋፈር ማምረቻ መሳሪያዎች ውስጥ፣ የመሠረቱ የላይኛው እና የታችኛው ገጽታዎች ትይዩ ካልሆኑ፣ ዋፈሩ በማቀነባበሪያ ጊዜ ዘንበል ይላል፣ ይህም እንደ መቅረጽ እና ሽፋን ያሉ የሂደቱን ወጥነት ይነካዋል፣ በዚህም የቺፕ አፈጻጸም ወጥነትን ይነካል።
ሁለተኛ፣ የቁሳቁስ ባህሪያት
ጥንካሬ፡ የግራናይት ቤዝ ቁሳቁስ ጥንካሬ የሾር ጥንካሬ HS70 ወይም ከዚያ በላይ መሆን አለበት። ከፍተኛ ጥንካሬው በመሳሪያዎቹ አሠራር ወቅት በተደጋጋሚ እንቅስቃሴ እና የክፍሎች ግጭት ምክንያት የሚፈጠረውን ብልሽት ውጤታማ በሆነ መንገድ መቋቋም ይችላል፣ ይህም መሠረቱ ለረጅም ጊዜ ጥቅም ላይ ከዋለ በኋላ ከፍተኛ ትክክለኛነት እንዲኖረው ያረጋግጣል። በቺፕ ማሸጊያ መሳሪያዎች ውስጥ፣ የሮቦት ክንድ ቺፑን በተደጋጋሚ ይይዘው እና በመሠረቱ ላይ ያስቀምጣል፣ እና የመሠረቱ ከፍተኛ ጥንካሬ ወለሉ ጭረቶችን ለማምረት ቀላል እንዳልሆነ እና የሮቦት ክንድ እንቅስቃሴ ትክክለኛነትን ለመጠበቅ ያስችላል።
ጥግግት፡ የቁሳቁስ ጥግግት ከ2.6-3.1 ግ/ሴሜ³ መካከል መሆን አለበት። ተገቢው ጥግግት መሰረቱ ጥሩ ጥራት ያለው መረጋጋት እንዲኖረው ያደርገዋል፣ ይህም መሳሪያውን ለመደገፍ የሚያስችል በቂ ጥንካሬን ያረጋግጣል፣ እና ከመጠን በላይ ክብደት በመኖሩ ምክንያት የመሳሪያውን መትከል እና መጓጓዣ ላይ ችግር አያመጣም። በትላልቅ ሴሚኮንዳክተር የፍተሻ መሳሪያዎች ውስጥ፣ የተረጋጋ የመሠረት ጥግግት በመሳሪያዎች አሠራር ወቅት የንዝረት ስርጭትን ለመቀነስ እና የመለየት ትክክለኛነትን ለማሻሻል ይረዳል።
የሙቀት መረጋጋት፡ መስመራዊ የማስፋፊያ ኮፊሸንት ከ5×10⁻⁶/℃ ያነሰ ነው። የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች ለሙቀት ለውጦች በጣም ስሜታዊ ናቸው፣ እና የመሠረቱ የሙቀት መረጋጋት በቀጥታ ከመሳሪያዎቹ ትክክለኛነት ጋር የተያያዘ ነው። በሊቶግራፊ ሂደት ወቅት የሙቀት መለዋወጥ የመሠረቱን መስፋፋት ወይም መጨማደድ ሊያስከትል ይችላል፣ ይህም የተጋላጭነት ንድፍ መጠን መዛባትን ያስከትላል። ዝቅተኛ መስመራዊ የማስፋፊያ ኮፊሸንት ያለው የግራናይት መሠረት የመሳሪያዎቹ የአሠራር ሙቀት (በአጠቃላይ 20-30 ° ሴ) ሲቀየር የመጠን ለውጥን በጣም በትንሽ ክልል ውስጥ መቆጣጠር ይችላል፣ ይህም የሊቶግራፊ ትክክለኛነትን ያረጋግጣል።
ሦስተኛ፣ የወለል ጥራት
ሸካራነት፡ የገጽታ ሸካራነት በመሠረቱ ላይ ያለው የራ እሴት ከ0.05 μm አይበልጥም። እጅግ በጣም ለስላሳ የሆነው ወለል የአቧራ እና የቆሻሻ መምጠጥን ሊቀንስ እና የሴሚኮንዳክተር ቺፕ ማምረቻ አካባቢ ንፅህና ላይ ያለውን ተጽእኖ ሊቀንስ ይችላል። አቧራ በሌለው የቺፕ ማምረቻ አውደ ጥናት ውስጥ ትናንሽ ቅንጣቶች እንደ ቺፕ አጭር ዑደት ያሉ ጉድለቶችን ሊያስከትሉ ይችላሉ፣ እና የመሠረቱ ለስላሳ ገጽታ የአውደ ጥናቱን ንፁህ አካባቢ ለመጠበቅ እና የቺፕ ምርትን ለማሻሻል ይረዳል።
በአጉሊ መነጽር የሚደረጉ ጉድለቶች፡ የመሠረቱ ወለል ምንም የሚታዩ ስንጥቆች፣ የአሸዋ ቀዳዳዎች፣ ቀዳዳዎች እና ሌሎች ጉድለቶች እንዲኖሩት አይፈቀድለትም። በአጉሊ መነጽር ደረጃ፣ በአንድ ካሬ ሴንቲሜትር ከ1 μm በላይ ዲያሜትር ያላቸው ጉድለቶች ብዛት በኤሌክትሮን ማይክሮስኮፒ ከ3 መብለጥ የለበትም። እነዚህ ጉድለቶች የመሠረቱን መዋቅራዊ ጥንካሬ እና የገጽታ ጠፍጣፋነት ላይ ተጽዕኖ ያሳድራሉ፣ ከዚያም የመሳሪያውን መረጋጋት እና ትክክለኛነት ይነካሉ።
አራተኛ፣ የመረጋጋት እና የድንጋጤ መቋቋም
ተለዋዋጭ መረጋጋት፡- በሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች አሠራር በሚመነጨው የተመሰለው የንዝረት አካባቢ (የንዝረት ድግግሞሽ ክልል 10-1000Hz፣ ስፋት 0.01-0.1ሚሜ)፣ በመሠረት ላይ ያሉ ቁልፍ የመጫኛ ነጥቦች የንዝረት መፈናቀል በ ±0.05μm ውስጥ ቁጥጥር ሊደረግበት ይገባል። የሴሚኮንዳክተር የሙከራ መሳሪያዎችን እንደ ምሳሌ በመውሰድ፣ የመሳሪያው የራሱ ንዝረት እና በዙሪያው ያለው የአካባቢ ንዝረት በስራ ወቅት ወደ መሠረቱ ከተላለፈ፣ የሙከራ ምልክቱ ትክክለኛነት ሊስተጓጎል ይችላል። ጥሩ ተለዋዋጭ መረጋጋት አስተማማኝ የሙከራ ውጤቶችን ማረጋገጥ ይችላል።
የመሬት መንቀጥቀጥ መቋቋም፡- መሰረቱ እጅግ በጣም ጥሩ የመሬት መንቀጥቀጥ አፈጻጸም ሊኖረው ይገባል፣ እና ድንገተኛ ውጫዊ ንዝረት (እንደ የመሬት መንቀጥቀጥ ሞገድ ማስመሰል ንዝረት) ሲጋለጥ የንዝረት ኃይልን በፍጥነት ሊያዳክም ይችላል፣ እና የመሳሪያዎቹ ቁልፍ ክፍሎች አንጻራዊ አቀማመጥ በ ±0.1μm ውስጥ እንዲለወጥ ማረጋገጥ ይችላል። በመሬት መንቀጥቀጥ ተጋላጭ በሆኑ አካባቢዎች በሚገኙ ሴሚኮንዳክተር ፋብሪካዎች ውስጥ፣ የመሬት መንቀጥቀጥ መቋቋም የሚችሉ መሠረቶች ውድ የሆኑ ሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎችን በብቃት ሊከላከሉ ይችላሉ፣ ይህም የመሳሪያዎች ጉዳት እና በንዝረት ምክንያት የምርት መቋረጥ አደጋን ይቀንሳል።
5. የኬሚካል መረጋጋት
የዝገት መቋቋም፡ የግራናይት መሠረት በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ሂደት ውስጥ እንደ ሃይድሮፍሎሪክ አሲድ፣ አኳ ሬጂያ፣ ወዘተ ያሉ የተለመዱ የኬሚካል ወኪሎችን ዝገት መቋቋም አለበት። ለ24 ሰዓታት በሃይድሮፍሎሪክ አሲድ መፍትሄ ውስጥ ከገባ በኋላ የገጽታ ጥራት መጥፋት መጠን ከ0.01% መብለጥ የለበትም፤ ለ12 ሰዓታት በአኳ ሬጂያ (የሃይድሮክሎሪክ አሲድ ከናይትሪክ አሲድ 3፡1 ጋር ያለው የመጠኑ ጥምርታ) ውስጥ ይንከሩ፣ እና በላዩ ላይ ምንም ግልጽ የሆነ የዝገት ምልክቶች የሉም። የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ሂደት የተለያዩ የኬሚካል መቅረጽ እና የጽዳት ሂደቶችን ያካትታል፣ እና የመሠረቱ ጥሩ የዝገት መቋቋም በኬሚካል አካባቢ ውስጥ ለረጅም ጊዜ ጥቅም ላይ መዋል አለመበላሸቱን እና ትክክለኛነት እና መዋቅራዊ ታማኝነት መጠበቁን ያረጋግጣል።
ፀረ-ብክለት፡- የመሠረት ቁሱ በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ አካባቢ ውስጥ እንደ ኦርጋኒክ ጋዞች፣ የብረት አየኖች፣ ወዘተ ያሉ የተለመዱ ብክለቶችን እጅግ በጣም ዝቅተኛ የመምጠጥ ችሎታ አለው። ለ72 ሰዓታት 10 PPM ኦርጋኒክ ጋዞችን (ለምሳሌ ቤንዚን፣ ቶሉይን) እና 1 ppm የብረት አየኖችን (ለምሳሌ የመዳብ አየኖች፣ የብረት አየኖች) በያዘ አካባቢ ውስጥ ሲቀመጥ፣ በመሠረት ወለል ላይ ያሉ ብክለቶችን በመምጠጥ የሚያስከትለው የአፈጻጸም ለውጥ እዚህ ግባ የሚባል አይደለም። ይህ ብክለቶች ከመሠረቱ ወለል ወደ ቺፕ ማምረቻ ቦታ እንዳይዛወሩ እና የቺፕ ጥራቱን እንዳይነኩ ይከላከላል።