መስመራዊ ሞተር + ግራናይት መሰረት፡ የአዲሱ ትውልድ የዋፈር ማስተላለፊያ ስርዓት ዋና ሚስጥር።

በትክክለኛው የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ሰንሰለት ውስጥ የዋፈር ማስተላለፊያ ስርዓቱ እንደ “የቺፕ ማምረቻ መስመር የሕይወት መስመር” ነው ፣ እና የእሱ መረጋጋት እና ትክክለኛነት በቀጥታ የቺፖችን ምርት መጠን ይወስናል። አዲሱ ትውልድ የዋፈር ማስተላለፊያ ስርዓቶች በአብዮታዊ መልኩ መስመራዊ ሞተሮችን ከግራናይት መሠረቶች ጋር ያዋህዳል፣ እና የግራናይት ቁሳቁሶች ልዩ ጥቅሞች ከፍተኛ አፈጻጸም ያለው ስርጭትን ለመክፈት ዋናው ኮድ በትክክል ናቸው።

.
ግራናይት መሰረት፡ ለመረጋጋት ስርጭት "ሮክ-ጠንካራ መሠረት" መገንባት
ግራናይት፣ በመቶ ሚሊዮኖች ለሚቆጠሩ ዓመታት የጂኦሎጂካል ማሻሻያ የተደረገበት፣ ጥቅጥቅ ያለ እና ወጥ የሆነ የውስጥ ማዕድን ክሪስታላይዜሽን ያሳያል። ይህ ተፈጥሯዊ ባህሪ ለዋፈር ማስተላለፊያ ስርዓቶች ተስማሚ የሆነ መሰረታዊ ቁሳቁስ ያደርገዋል. በሴሚኮንዳክተር ንጹህ ክፍሎች ውስብስብ አካባቢ ፣ ግራናይት ፣ የሙቀት መስፋፋት (ከ 5-7 × 10⁻ / ℃ ብቻ) ፣ በመሣሪያዎች አሠራር ወቅት የሚፈጠረውን ሙቀት እና የአካባቢን የሙቀት ለውጥ ተፅእኖ መቋቋም ይችላል ፣ የመሠረቱን መጠን መረጋጋት እና በሙቀት መበላሸት ምክንያት የሚመጣውን የማስተላለፍ መንገድ መዛባትን ያስወግዳል። የእሱ የላቀ የንዝረት damping አፈጻጸም በፍጥነት ጅምር ወቅት የሚፈጠረውን ሜካኒካዊ ንዝረት ለመቅሰም ይችላል, መዘጋት እና መስመራዊ ሞተርስ ማፋጠን, እንዲሁም እንደ ወርክሾፕ ውስጥ ሌሎች መሣሪያዎች አሠራር ያመጣውን ውጫዊ ጣልቃ, ለ wafer ማስተላለፍ "ዜሮ አራግፉ" ጋር የተረጋጋ መድረክ ያቀርባል. .
ይህ በእንዲህ እንዳለ የግራናይት ኬሚካላዊ መረጋጋት አሲድ እና አልካሊ ሬጀንቶች ተለዋዋጭ በሆኑበት እና ከፍተኛ ንፅህና በሚፈልጉባቸው ሴሚኮንዳክተር ወርክሾፖች ውስጥ እንዳይበላሽ ወይም እንዳይዛባ ስለሚያደርግ በቁሳዊ እርጅና ወይም በተበከለ ማስታወቂያ ምክንያት የማስተላለፍ ትክክለኛነት ላይ ያለውን ተፅእኖ ያስወግዳል። ለስላሳ እና ጥቅጥቅ ያሉ የገጽታ ባህሪያት የአቧራ ማጣበቅን በተቀላጠፈ ሁኔታ ይቀንሳሉ, ጥብቅ የአቧራ-ነጻ የንጹህ ክፍሎች መስፈርቶችን በማሟላት እና ከሥሩ ውስጥ የቫፈር ብክለት አደጋን ያስወግዳል. .
የመስመራዊ ሞተሮች እና ግራናይት "ወርቃማ ሽርክና" ውጤት
መስመራዊ ሞተሮች ምንም ዓይነት የሜካኒካል ማስተላለፊያ ክፍተት የሌላቸው፣ ከፍተኛ ፍጥነት ያለው እና ከፍተኛ የምላሽ ፍጥነት የሌሉበት፣ “ፈጣን ፣ ትክክለኛ እና የተረጋጋ” ጥቅሞችን ያስገኛል የ granite መሰረቱ ለእሱ ጠንካራ እና አስተማማኝ የድጋፍ መድረክ ያቀርባል. ሁለቱ አብረው በመስራት አፈጻጸም ላይ አንድ ዝላይ ለማግኘት። መስመራዊው ሞተር የዋፈር ተሸካሚውን በግራናይት ቤዝ ትራክ ላይ እንዲሮጥ ሲነዳ የመሠረቱ ጠንካራ ጥንካሬ እና መረጋጋት የሞተርን የመንዳት ሃይል በብቃት መተላለፉን ያረጋግጣል፣ ይህም በመሠረታዊ መበላሸት ምክንያት የሚፈጠረውን የኃይል መጥፋት ወይም የማስተላለፍ መዘግየትን ያስወግዳል። .
በ nanoscale ትክክለኛነት ፍላጎት በመመራት መስመራዊ ሞተሮች በንዑስ ማይክሮን ደረጃ የመፈናቀል ቁጥጥርን ማሳካት ይችላሉ። የግራናይት መሰረቶች ከፍተኛ-ትክክለኛነት የማቀነባበሪያ ባህሪያት (በ ± 1μm ውስጥ የሚቆጣጠሩት የጠፍጣፋነት ስህተቶች) ከመስመር ሞተሮች ትክክለኛ ቁጥጥር ጋር በትክክል ይዛመዳሉ, ይህም በ wafer ማስተላለፊያ ጊዜ የአቀማመጥ ስህተት ከ ± 5μm ያነሰ መሆኑን በጋራ ያረጋግጣል. በተለያዩ የሂደት መሳሪያዎች መካከል ከፍተኛ ፍጥነት ያለው መዘጋት ወይም ለዋፈር ርክክብ ትክክለኛ የመኪና ማቆሚያ፣ የመስመሮች ሞተሮች እና የግራናይት መሠረቶች ጥምረት በዋፈር ስርጭት ውስጥ “ዜሮ መዛባት እና ዜሮ ጂተር” ማረጋገጥ ይችላል። .
የኢንደስትሪ ልምምድ ማረጋገጫ፡ የውጤታማነት እና የምርት መጠን ድርብ መሻሻል
የዋፈር ማስተላለፊያ ስርዓቱን ካሻሻለ በኋላ መሪ የሆነ አለም አቀፍ ሴሚኮንዳክተር ኢንተርፕራይዝ መስመራዊ ሞተር + ግራናይት ቤዝ መፍትሄን ተቀበለ ፣ ይህም የዋፈር ማስተላለፍን ውጤታማነት በ 40% ጨምሯል ፣ በዝውውር ሂደት ውስጥ እንደ ግጭት እና ማካካሻ ያሉ ጥፋቶችን በ 85% ቀንሷል እና አጠቃላይ የቺፖችን ምርት መጠን በ 6% አሻሽሏል። ከመረጃው በስተጀርባ በግራናይት መሰረት የሚሰጠውን የመተላለፊያ መረጋጋት ዋስትና እና የመስመራዊ ሞተር ከፍተኛ ፍጥነት እና ትክክለኛ ውህደት ውጤት በዋፈር ማስተላለፊያ ሂደት ውስጥ ያለውን ኪሳራ እና ስህተት በእጅጉ ይቀንሳል። .
ከቁሳቁስ ባህሪያት እስከ ትክክለኛነት ማምረት፣ ከአፈጻጸም ጥቅማጥቅሞች እስከ ተግባራዊ ማረጋገጫ፣ የመስመሮች ሞተሮች እና ግራናይት መሰረቶች ጥምረት የዋፈር ማስተላለፊያ ስርዓቶችን ደረጃዎች እንደገና ገልፀዋል። ወደፊት ሴሚኮንዳክተር ቴክኖሎጂ ወደ 3nm እና 2nm ሂደቶች ሲያድግ፣የግራናይት ቁሶች በእርግጠኝነት የማይተኩ ጥቅሞቻቸው ወደ ኢንዱስትሪው እድገት ጠንካራ መነሳሳታቸውን ይቀጥላሉ።