መስመራዊ ሞተር + ግራናይት ቤዝ፡ የአዲሱ ትውልድ የዋፈር ማስተላለፊያ ስርዓት ዋና ሚስጥር።

በትክክለኛው የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ሰንሰለት ውስጥ፣ የዋፈር ማስተላለፊያ ስርዓቱ ልክ እንደ "የቺፕ ማምረቻ መስመር የህይወት መስመር" ነው፣ እና መረጋጋት እና ትክክለኛነት የቺፖችን የምርት መጠን በቀጥታ ይወስናሉ። አዲሱ የዋፈር ማስተላለፊያ ስርዓቶች ትውልድ መስመራዊ ሞተሮችን ከግራናይት መሠረቶች ጋር በአብዮታዊ መንገድ ያጣምራል፣ እና የግራናይት ቁሳቁሶች ልዩ ጥቅሞች በትክክል ከፍተኛ አፈጻጸም ያለው ስርጭትን ለመክፈት ዋና ኮድ ናቸው።

.
የግራናይት መሠረት፡- ለተረጋጋ ስርጭት "ድንጋይ-ጠንካራ መሠረት" መገንባት
ግራናይት በመቶ ሚሊዮኖች ለሚቆጠሩ ዓመታት የጂኦሎጂካል ማሻሻያ የተካሄደ ሲሆን ጥቅጥቅ ያለ እና ወጥ የሆነ የውስጥ የማዕድን ክሪስታላይዜሽን አለው። ይህ ተፈጥሯዊ ባህሪ ለዋፈር ማስተላለፊያ ስርዓቶች ተስማሚ የመሠረት ቁሳቁስ ያደርገዋል። በሴሚኮንዳክተር የጽዳት ክፍሎች ውስብስብ አካባቢ፣ ግራናይት፣ እጅግ በጣም ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት (5-7 × 10⁻⁶/℃ ብቻ)፣ በመሳሪያዎች አሠራር ወቅት የሚፈጠረውን ሙቀት እና የአካባቢ ሙቀት ለውጦች ተጽዕኖ መቋቋም ይችላል፣ የመሠረት መጠኑን መረጋጋት ያረጋግጣል እና በሙቀት መበላሸት ምክንያት የሚመጣውን የመተላለፊያ መንገድ መዛባት ያስወግዳል። አስደናቂው የንዝረት ማዳከም አፈፃፀሙ በመስመራዊ ሞተሮች ጅምር፣ መዘጋት እና ፍጥነት መጨመር ወቅት የሚፈጠሩትን ሜካኒካል ንዝረቶች እንዲሁም በአውደ ጥናቱ ውስጥ ባሉ ሌሎች መሳሪያዎች አሠራር የሚመጡትን ውጫዊ ጣልቃ ገብነቶች በፍጥነት ሊቀበል ይችላል፣ ይህም ለዋፈር ማስተላለፊያ "ዜሮ መንቀጥቀጥ" ያለው የተረጋጋ መድረክ ይሰጣል።
ይህ በእንዲህ እንዳለ፣ የግራናይት ኬሚካላዊ መረጋጋት የአሲድ እና የአልካላይን ንጥረ ነገሮች ተለዋዋጭ እና ከፍተኛ ንፅህና በሚያስፈልጋቸው ሴሚኮንዳክተር አውደ ጥናቶች ውስጥ እንዳይበላሽ ወይም እንዳይዝገት ያረጋግጣል፣ በዚህም በቁሳቁስ እርጅና ወይም በብክለት መምጠጥ ምክንያት በሚመጣው የስርጭት ትክክለኛነት ላይ ያለውን ተጽእኖ ያስወግዳል። ለስላሳ እና ጥቅጥቅ ያሉ የወለል ባህሪያት የአቧራ ማጣበቂያን በብቃት ሊቀንሱ፣ የንፁህ ክፍሎችን ጥብቅ የአቧራ-ነጻ መስፈርቶችን ማሟላት እና ከሥሩ የዋፈር ብክለት አደጋን ማስወገድ ይችላሉ።
የሊኒየር ሞተሮች እና ግራናይት "ወርቃማ ሽርክና" ውጤት
መስመራዊ ሞተሮች፣ ምንም አይነት የሜካኒካል ማስተላለፊያ ክፍተት፣ ከፍተኛ ፍጥነት እና ከፍተኛ የምላሽ ፍጥነት የሌላቸው፣ የ"ፈጣን፣ ትክክለኛ እና የተረጋጋ" ጥቅሞች ያሉት መስመራዊ ሞተሮች ናቸው። የግራናይት መሰረት ለእሱ ጠንካራ እና አስተማማኝ የድጋፍ መድረክ ይሰጣል። ሁለቱም በአንድ ላይ ሆነው የአፈጻጸም ዝላይን ለማሳካት ይሰራሉ። መስመራዊ ሞተር የዋፈር ተሸካሚውን በግራናይት ቤዝ ትራክ ላይ እንዲሰራ ሲያንቀሳቅሰው፣ የመሠረቱ ጠንካራ ጥንካሬ እና መረጋጋት የሞተር መንዳት ኃይልን ቀልጣፋ ስርጭትን ያረጋግጣል፣ ይህም በመሠረት መበላሸት ምክንያት የሚመጣ የኃይል መጥፋት ወይም የመተላለፊያ መዘግየትን ያስወግዳል።
በናኖስኬል ትክክለኛነት ፍላጎት ምክንያት፣ መስመራዊ ሞተሮች ንዑስ ማይክሮን-ደረጃ መፈናቀል ቁጥጥርን ማግኘት ይችላሉ። የግራናይት መሠረቶች ከፍተኛ ትክክለኛነት የማቀነባበሪያ ባህሪያት (በ ±1μm ውስጥ ጠፍጣፋ ስህተቶች ቁጥጥር የሚደረግባቸው) የመስመራዊ ሞተሮችን ትክክለኛ ቁጥጥር በትክክል ይዛመዳሉ፣ በዋፈር ማስተላለፊያ ወቅት የአቀማመጥ ስህተት ከ ±5μm በታች መሆኑን በጋራ ያረጋግጣሉ። በተለያዩ የሂደት መሳሪያዎች መካከል ከፍተኛ ፍጥነት ያለው ሹትሊንግ ይሁን ወይም ለዋፈር ማስተላለፍ ትክክለኛ የመኪና ማቆሚያ፣ የመስመራዊ ሞተሮች እና የግራናይት መሠረቶች ጥምረት በዋፈር ማስተላለፊያ ውስጥ "ዜሮ መዛባት እና ዜሮ ጅረት" ማረጋገጥ ይችላል።
የኢንዱስትሪ ልምምድ ማረጋገጫ፡- በብቃት እና በምርት መጠን ሁለት ጊዜ መሻሻል
የዋፈር ማስተላለፊያ ስርዓቱን ካሻሻለ በኋላ፣ አንድ ታዋቂ ዓለም አቀፍ ሴሚኮንዳክተር ድርጅት ሊኒየር ሞተር + ግራናይት ቤዝ መፍትሄን ተቀብሏል፣ ይህም የዋፈር ማስተላለፊያ ቅልጥፍናን በ40% ጨምሯል፣ እንደ ግጭት እና ማካካሻ ያሉ ስህተቶች የመከሰት መጠን በ85% ቀንሷል፣ እና የቺፖችን አጠቃላይ የምርት መጠን በ6% አሻሽሏል። ከውሂቡ በስተጀርባ የግራናይት ቤዝ የሚሰጠውን የማስተላለፊያ መረጋጋት ዋስትና እና የሊኒየር ሞተር ከፍተኛ ፍጥነት እና ትክክለኛ የትብብር ውጤት ዋስትና አለ፣ ይህም በዋፈር ማስተላለፊያ ሂደት ውስጥ ያለውን ኪሳራ እና ስህተት በእጅጉ ይቀንሳል።
ከቁሳዊ ባህሪያት እስከ ትክክለኛ ማምረቻ፣ ከአፈጻጸም ጥቅሞች እስከ ተግባራዊ ማረጋገጫ፣ የሊኒየር ሞተሮች እና የግራናይት መሠረቶች ጥምረት የዋፈር ማስተላለፊያ ስርዓቶችን ደረጃዎች እንደገና ገልጧል። ወደፊት የሴሚኮንዳክተር ቴክኖሎጂ ወደ 3nm እና 2nm ሂደቶች ሲሸጋገር፣ የግራናይት ቁሳቁሶች በኢንዱስትሪው ልማት ውስጥ የማይተኩ ጥቅሞቻቸውን ይዘው ጠንካራ ግፊት መስጠታቸውን ይቀጥላሉ።