የግራናይት ትክክለኛነት መድረክን ትክክለኛነት እንዴት ማረጋገጥ ይቻላል? ትክክለኛነት ደረጃውን የጠበቀ መሆኑን ያረጋግጡ?

እንደ ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ እና ትክክለኛ የመለኪያ መሣሪያዎች ባሉ መስኮች ውስጥ የግራናይት ትክክለኛነት የመሳሪያ ስርዓቶች ትክክለኛነት የመሳሪያውን የአሠራር ጥራት በቀጥታ ይወስናል። የመድረኩ ትክክለኛነት መስፈርቶቹን የሚያሟላ መሆኑን ለማረጋገጥ ጥረቶች ከሁለት አቅጣጫዎች መከናወን አለባቸው-የቁልፍ አመልካቾችን መለየት እና ከመደበኛ ደንቦች ጋር መጣጣምን. .

የኮር አመልካች ማወቂያ፡ ባለብዙ-ልኬት ትክክለኛነት ቁጥጥር
ጠፍጣፋ ማወቅ፡ የማጣቀሻውን አውሮፕላን "ጠፍጣፋነት" መወሰን
ጠፍጣፋ የግራናይት ትክክለኛነት መድረኮች ዋና አመልካች ነው ፣ እና ብዙውን ጊዜ የሚለካው በሌዘር ኢንተርፌሮሜትሮች ወይም በኤሌክትሮኒክ ደረጃዎች ነው። የሌዘር ኢንተርፌሮሜትር የሌዘር ጨረሮችን በመልቀቅ እና የብርሃን ጣልቃገብነት መርህን በመጠቀም በመድረክ ወለል ላይ ያለውን ደቂቃ ውጣ ውረድ በትክክል መለካት ይችላል። የኤሌክትሮኒካዊው ደረጃ ብዙ ጊዜ በማንቀሳቀስ ይለካል እና የአካባቢያዊ ውጣ ውረድ ወይም የመንፈስ ጭንቀት መኖሩን ለማወቅ የመድረኩን ገጽ ባለ ሶስት አቅጣጫዊ ኮንቱር ካርታ ይስላል። ለምሳሌ በሴሚኮንዳክተር ፎቶሊቶግራፊ ማሽኖች ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውሉት የግራናይት መድረኮች ± 0.5μm/m ጠፍጣፋ እንዲኖራቸው ያስፈልጋል፣ ይህም ማለት በ1 ሜትር ርዝመት ውስጥ ያለው የከፍታ ልዩነት ከግማሽ ማይክሮሜትር መብለጥ የለበትም። ይህንን ጥብቅ ደረጃ ማረጋገጥ የሚቻለው በከፍተኛ ትክክለኛነት በሚታወቁ መሳሪያዎች ብቻ ነው። .
2. ቀጥተኛነት ማወቅ፡ የመስመራዊ እንቅስቃሴን "ቀጥታ" ያረጋግጡ
ትክክለኛ ተንቀሳቃሽ ክፍሎችን ለሚሸከሙ መድረኮች፣ ቀጥተኛነት በጣም አስፈላጊ ነው። ለመለየት የተለመዱ ዘዴዎች የሽቦ ዘዴ ወይም የሌዘር ኮላተር ናቸው. የሽቦው ዘዴ ከፍተኛ ትክክለኛነት ያላቸው የብረት ሽቦዎችን በማንጠልጠል እና በመድረክ ወለል እና በብረት ሽቦዎች መካከል ያለውን ክፍተት በማነፃፀር ቀጥተኛውን ትክክለኛነት ለመወሰን ያካትታል. የሌዘር ኮላተር የመድረክ መመሪያ ሀዲድ መጫኛ ወለል መስመራዊ ስህተትን ለመለየት የሌዘር መስመራዊ ስርጭት ባህሪያትን ይጠቀማል። ቀጥተኛነት መስፈርቱን የማያሟላ ከሆነ መሳሪያው በሚንቀሳቀስበት ጊዜ እንዲለዋወጥ ያደርገዋል, ይህም የማቀነባበሪያውን ወይም የመለኪያውን ትክክለኛነት ይነካል. .
3. የገጽታ ሸካራነት መለየት፡- የግንኙነቱን “ጥሩነት” ያረጋግጡ
የመድረክው ወለል ሸካራነት የአካላት ተከላውን ተስማሚነት ይነካል. በአጠቃላይ፣ ስቲለስ ሻካራነት መለኪያ ወይም ኦፕቲካል ማይክሮስኮፕ ለመለየት ጥቅም ላይ ይውላል። የስታይለስ አይነት መሳሪያው የመድረክን ወለል በጥሩ ፍተሻ በማነጋገር የአጉሊ መነጽር መገለጫውን ከፍታ ለውጦች ይመዘግባል። የኦፕቲካል ማይክሮስኮፖች የላይኛውን ገጽታ በቀጥታ መመልከት ይችላሉ. በከፍተኛ ትክክለኝነት አፕሊኬሽኖች ውስጥ የግራናይት መድረኮችን የገጽታ ሸካራነት በ Ra≤0.05μm ላይ ቁጥጥር ማድረግ ያስፈልጋል፣ይህም ከመስተዋት መሰል ውጤት ጋር እኩል ነው፣በሚጫኑበት ወቅት ትክክለኛ አካላት በትክክል እንዲገጣጠሙ እና በክፍተቶች ምክንያት የሚመጡ ንዝረትን ወይም መፈናቀልን ያስወግዳል። .
ትክክለኛዎቹ ደረጃዎች ይከተላሉ-ዓለም አቀፍ ደንቦች እና የድርጅቱ ውስጣዊ ቁጥጥር
በአሁኑ ጊዜ በአለም አቀፍ ደረጃ የ ISO 25178 እና GB/T 24632 ደረጃዎች የግራናይት መድረኮችን ትክክለኛነት ለመወሰን እንደ መሰረት ሆነው ያገለግላሉ። በተጨማሪም ከፍተኛ ደረጃ ያላቸው የማኑፋክቸሪንግ ኢንተርፕራይዞች ብዙውን ጊዜ የበለጠ ጥብቅ የውስጥ ቁጥጥር ደረጃዎችን ያዘጋጃሉ. ለምሳሌ የፎቶሊቶግራፊ ማሽን ግራናይት መድረክ ጠፍጣፋ መስፈርት ከአለም አቀፍ ደረጃ በ30% ከፍ ያለ ነው። ሙከራዎችን ሲያካሂዱ, የሚለካው መረጃ ከተዛማጅ ደረጃዎች ጋር መወዳደር አለበት. ደረጃዎቹን ሙሉ በሙሉ የሚያሟሉ መድረኮች ብቻ በትክክለኛ መሳሪያዎች ውስጥ የተረጋጋ አፈፃፀምን ማረጋገጥ ይችላሉ. .
የግራናይት ትክክለኛነት መድረኮችን ትክክለኛነት መፈተሽ ስልታዊ ፕሮጀክት ነው። እንደ ጠፍጣፋ ፣ ቀጥ ያለ እና የገጽታ ሸካራነት ያሉ ዋና ዋና አመልካቾችን በጥብቅ በመሞከር እና ዓለም አቀፍ እና የድርጅት ደረጃዎችን በማክበር ብቻ የመድረክ ከፍተኛ ትክክለኛነት እና አስተማማኝነት ሊረጋገጥ የሚችለው ለከፍተኛ ደረጃ የማምረቻ መስኮች እንደ ሴሚኮንዳክተሮች እና ትክክለኛ መሣሪያዎች ጠንካራ መሠረት በመጣል ብቻ ነው።