ለንፁህ ክፍሎች የተወሰነ የግራናይት መድረክ፡ ዜሮ የብረት አዮን መለቀቅ፣ ለዋፈር ፍተሻ መሳሪያዎች ተስማሚ ምርጫ።

በሴሚኮንዳክተር ዋፈር ፍተሻ መስክ፣ የጽዳት ክፍል አካባቢ ንፅህና ከምርት ምርት ጋር በቀጥታ የተያያዘ ነው። የቺፕ ማምረቻ ሂደቶች ትክክለኛነት እየተሻሻለ ሲሄድ፣ የመፈለጊያ መሳሪያዎች የመሸከም መድረኮች መስፈርቶች ከጊዜ ወደ ጊዜ ጥብቅ እየሆኑ መጥተዋል። የጥቁር ድንጋይ መድረኮች፣ ዜሮ የብረት አዮን መለቀቅ እና ዝቅተኛ የቅንጣት ብክለት ባህሪያቸው ያላቸው፣ ከባህላዊ አይዝጌ ብረት ቁሶች በልጠው ለዋፈር ፍተሻ መሳሪያዎች ተመራጭ መፍትሄ ሆነዋል።

ግራናይት በዋናነት እንደ ኳርትዝ፣ ፌልድስፓር እና ሚካ ካሉ ብረት ያልሆኑ ማዕድናት የተዋቀረ ተፈጥሯዊ ኢግኒነስ አለት ነው። ይህ ባህሪ የዜሮ ብረት አዮን መለቀቅ ጥቅም ይሰጠዋል። በተቃራኒው፣ አይዝጌ ብረት፣ እንደ ብረት፣ ክሮሚየም እና ኒኬል ያሉ ብረቶች ቅይጥ እንደመሆኑ መጠን፣ በውሃ ትነት እና በንፁህ ክፍል አካባቢ ውስጥ አሲዳማ ወይም አልካላይን ጋዞች በመሸርሸር ምክንያት በገጽታው ላይ ለኤሌክትሮኬሚካል ዝገት የተጋለጠ ሲሆን ይህም እንደ Fe²⁺ እና Cr³⁺ ያሉ የብረት አየኖች ዝናብ እንዲዘንብ ያደርጋል። እነዚህ ትናንሽ አየኖች ከዋፈር ወለል ጋር ከተጣበቁ በኋላ፣ እንደ ፎቶሊቶግራፊ እና ቅርጻቅርጽ ባሉ ቀጣይ ሂደቶች የሴሚኮንዳክተር ቁሱ የኤሌክትሪክ ባህሪያትን ይለውጣሉ፣ የትራንዚስተሩን የወሰን ቮልቴጅ መንሸራተት ያስከትላሉ፣ እና በወረዳው ውስጥ አጭር ወረዳዎችን እንኳን ያስከትላሉ። የባለሙያ ተቋም የፈተና መረጃ እንደሚያሳየው የግራናይት መድረክ ለ1000 ሰዓታት በተከታታይ ለተመሰለው የንፁህ ክፍል የሙቀት መጠን እና የእርጥበት አካባቢ (23±0.5℃፣ 45%±5% RH) ከተጋለጠ በኋላ የብረት አየኖች መለቀቅ ከማወቂያ ገደቡ (< 0.1ppb) ያነሰ ነበር። አይዝጌ ብረት መድረኮችን ሲጠቀሙ በብረት አዮን ብክለት ምክንያት የሚፈጠረው የዋፈር ጉድለት መጠን ከ15% እስከ 20% ሊደርስ ይችላል።

የጥራጥሬ ብክለትን በመቆጣጠር ረገድ የግራናይት መድረኮችም እጅግ በጣም ጥሩ አፈፃፀም አላቸው። የጽዳት ክፍሎች በአየር ውስጥ የተንጠለጠሉ ቅንጣቶችን ክምችት ለማግኘት እጅግ በጣም ከፍተኛ መስፈርቶች አሏቸው። ለምሳሌ፣ በ ISO ክፍል 1 የጽዳት ክፍሎች ውስጥ፣ በኩቢክ ሜትር የሚፈቀደው የ0.1 μm ቅንጣቶች ብዛት ከ10 አይበልጥም። የማይዝግ ብረት መድረክ የማጥራት ሕክምና ቢደረግለትም፣ እንደ የመሳሪያ ንዝረት እና የሰራተኞች አሠራር ባሉ ውጫዊ ኃይሎች ምክንያት የብረት ፍርስራሾችን ወይም የኦክሳይድ ሚዛንን ሊላጥ ይችላል፣ ይህም በመለየት የኦፕቲካል መንገድ ላይ ጣልቃ ሊገባ ወይም የዋፈርን ወለል ሊቧጭር ይችላል። ጥቅጥቅ ያለ የማዕድን አወቃቀራቸው (ጥግግት ≥2.7 ግ/ሴሜ³) እና ከፍተኛ ጥንካሬ (በሞህስ ሚዛን ላይ 6-7) ያላቸው የግራናይት መድረኮች ለረጅም ጊዜ ጥቅም ላይ ሲውሉ ለመልበስ ወይም ለመስበር የተጋለጡ አይደሉም። የተለኩ መለኪያዎች እንደሚያሳዩት በማወቂያ መሳሪያው አካባቢ አየር ውስጥ የተንጠለጠሉ ቅንጣቶችን ክምችት ከማይዝግ ብረት መድረኮች ጋር ሲነጻጸር ከ40% በላይ ሊቀንሱ ይችላሉ፣ ይህም የጽዳት ክፍል ደረጃ ደረጃዎችን ውጤታማ በሆነ መንገድ ይጠብቃል።

ከንፁህ ባህሪያቱ በተጨማሪ የግራናይት መድረኮች አጠቃላይ አፈፃፀም ከማይዝግ ብረት እጅግ የላቀ ነው። በሙቀት መረጋጋት ረገድ፣ የሙቀት መስፋፋት ቅንጅቱ (4-8) ×10⁻⁶/℃ ብቻ ነው፣ ከማይዝግ ብረት ግማሽ ያነሰ (ወደ 17×10⁻⁶/℃ አካባቢ)፣ ይህም በንጹህ ክፍል ውስጥ ያለው የሙቀት መጠን ሲለዋወጥ የመለየት መሳሪያዎችን የአቀማመጥ ትክክለኛነት በተሻለ ሁኔታ መጠበቅ ይችላል። ከፍተኛ የእርጥበት ባህሪ (የእርጥበት ጥምርታ > 0.05) የመሳሪያውን ንዝረት በፍጥነት ሊያዳክም እና የመለየት ምርመራው እንዳይንቀጠቀጥ ሊያደርግ ይችላል። ተፈጥሯዊ የዝገት መቋቋም ችሎታው ተጨማሪ የሽፋን መከላከያ ሳያስፈልግ ለፎቶ ተከላካይ መሟሟቶች፣ ለመቅረጽ ጋዞች እና ለሌሎች ኬሚካሎች ሲጋለጥ እንኳን የተረጋጋ ሆኖ እንዲቆይ ያስችለዋል።

በአሁኑ ጊዜ የግራናይት መድረኮች በተራቀቁ የዋፈር ማምረቻ ፋብሪካዎች ውስጥ በስፋት ጥቅም ላይ ይውላሉ። መረጃዎች እንደሚያሳዩት የግራናይት መድረክን ከተቀበሉ በኋላ የዋፈር ወለል ቅንጣት መለየት የተሳሳተ ግንዛቤ መጠን በ60% ቀንሷል፣ የመሳሪያዎች መለኪያ ዑደት በሦስት እጥፍ ተዘርግቷል፣ እና አጠቃላይ የምርት ወጪ በ25% ቀንሷል። የሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ወደ ከፍተኛ ትክክለኛነት ሲሸጋገር፣ የግራናይት መድረኮች፣ እንደ ዜሮ የብረት አዮን ልቀት እና ዝቅተኛ የቅንጣት ብክለት ያሉ ዋና ዋና ጥቅሞቻቸው ያላቸው፣ ለዋፈር ፍተሻ የተረጋጋ እና አስተማማኝ ድጋፍ መስጠታቸውን ይቀጥላሉ፣ ይህም የኢንዱስትሪውን እድገት የሚያንቀሳቅስ አስፈላጊ ኃይል ይሆናል።