ለንጹህ ክፍሎች የተሰጠ የግራናይት መድረክ፡ ዜሮ የብረት ion ልቀት፣ ለዋፈር መፈተሻ መሳሪያዎች ተስማሚ ምርጫ።

በሴሚኮንዳክተር ቫፈር ፍተሻ መስክ የንፅህና አከባቢ ንፅህና ከምርቱ ምርት ጋር በቀጥታ የተያያዘ ነው. የቺፕ ማምረቻ ሂደቶች ትክክለኛነት እየተሻሻለ ሲሄድ ፣ የመመርመሪያ መሳሪያዎች ተሸካሚ መድረኮች መስፈርቶች በጣም ጥብቅ እየሆኑ መጥተዋል። የግራናይት መድረኮች፣ የዜሮ ብረት ion ልቀት እና ዝቅተኛ የብክለት ብክለት ባህሪያቸው፣ ከባህላዊ አይዝጌ ብረት ቁሶች አልፈው ለዋፈር ፍተሻ መሳሪያዎች ተመራጭ መፍትሄ ሆነዋል።

ግራናይት እንደ ኳርትዝ፣ ፌልድስፓር እና ሚካ ካሉ ከብረት ካልሆኑ ማዕድናት የተዋቀረ ተፈጥሯዊ የሚያቃጥል ድንጋይ ነው። ይህ ባህሪ ዜሮ የብረት ion መለቀቅ ጥቅም ይሰጠዋል. በአንፃሩ አይዝጌ ብረት እንደ ብረት፣ ክሮምሚየም እና ኒኬል ያሉ ብረቶች ቅይጥ በውሃ ተን እና በአሲዳማ ወይም በአልካላይን ጋዞች መሸርሸር ምክንያት በላዩ ላይ ለኤሌክትሮኬሚካላዊ ዝገት የተጋለጠ ሲሆን ይህም እንደ ፌ²⁺ እና ክሩር ያሉ የብረት ionዎች ዝናብ ያስከትላል። እነዚህ ጥቃቅን ionዎች ከዋፋው ወለል ጋር ከተጣበቁ በኋላ የሴሚኮንዳክተር ቁሳቁሶችን እንደ ፎቶሊቶግራፊ እና ኢቲንግ ባሉ ሂደቶች ውስጥ የኤሌክትሪክ ባህሪያትን ይለውጣሉ, የትራንዚስተሩን የቮልቴጅ ገደብ ያስከትላሉ, አልፎ ተርፎም በወረዳው ውስጥ ወደ አጭር ወረዳዎች ይመራሉ. የባለሙያ ተቋም የፈተና መረጃ እንደሚያሳየው የግራናይት መድረክ በቀጣይነት ለ 1000 ሰአታት አስመሳይ የንፁህ ክፍል የሙቀት መጠን እና እርጥበት አካባቢ (23 ± 0.5 ℃ ፣ 45% ± 5% RH) ከተጋለጠ በኋላ የብረታ ብረት ionዎች መለቀቅ ከማግኘቱ ገደብ ያነሰ ነበር (<0.1ppb)። ከማይዝግ ብረት የተሰሩ መድረኮችን በሚጠቀሙበት ጊዜ በብረት ion ብክለት ምክንያት የሚፈጠረው የዋፈር ጉድለት መጠን ከ15 እስከ 20 በመቶ ሊደርስ ይችላል።

ከቅንጣት ብክለት ቁጥጥር አንፃር፣ ግራናይት መድረኮች እንዲሁ በተለየ ሁኔታ በጥሩ ሁኔታ ይሰራሉ። የጽዳት ክፍሎች በአየር ውስጥ የተንጠለጠሉ ቅንጣቶችን ለማሰባሰብ እጅግ በጣም ከፍተኛ መስፈርቶች አሏቸው። ለምሳሌ በ ISO ክፍል 1 ንጹህ ክፍሎች ውስጥ በአንድ ኪዩቢክ ሜትር የሚፈቀደው 0.1μm ቅንጣቶች ከ 10 አይበልጥም. ምንም እንኳን አይዝጌ ብረት መድረክ የማጥራት ህክምና ቢደረግም, እንደ መሳሪያዎች ንዝረት እና የሰራተኞች አሠራር ባሉ ውጫዊ ኃይሎች ምክንያት የኦፕቲካል መንገዱን መለየት ወይም መቧጨር ይችላል. የግራናይት መድረኮች ጥቅጥቅ ባለ ማዕድን አወቃቀራቸው (density ≥2.7g/cm³) እና ከፍተኛ ጥንካሬ (በMohs ሚዛን 6-7) ለረጅም ጊዜ ጥቅም ላይ በሚውሉበት ጊዜ ለመልበስ ወይም ለመሰባበር የተጋለጡ አይደሉም። የሚለካው መለኪያዎች እንደሚያሳዩት የንፁህ ክፍል ደረጃዎችን በሚገባ በመጠበቅ በማወቂያ መሳሪያዎች አካባቢ አየር ላይ የተንጠለጠሉ ቅንጣቶችን ከማይዝግ ብረት መድረኮች ጋር ሲነፃፀር ከ 40% በላይ ይቀንሳል.

ከንጹህ ባህሪያቱ በተጨማሪ የግራናይት መድረኮች አጠቃላይ አፈፃፀም ከማይዝግ ብረት በጣም የላቀ ነው። ከሙቀት መረጋጋት አንፃር፣ የሙቀት መስፋፋቱ ጥምርታ (4-8) ×10⁻⁶/℃፣ ከማይዝግ ብረት ከግማሽ ያነሰ (17×10⁻⁶/℃) ያነሰ ሲሆን ይህም በንፁህ ክፍል ውስጥ ያለው የሙቀት መጠን ሲለዋወጥ የመፈለጊያ መሳሪያውን ትክክለኛነት በተሻለ ሁኔታ ሊጠብቅ ይችላል። ከፍተኛ የእርጥበት ባህሪ (የእርጥበት ሬሾ> 0.05) የመሳሪያውን ንዝረት በፍጥነት ያዳክማል እና የፍተሻ ምርመራው እንዳይንቀጠቀጥ ይከላከላል። ተፈጥሯዊ የዝገት መከላከያው ተጨማሪ የሽፋን መከላከያ ሳያስፈልገው ለፎቶሪሲስት መሟሟት, ለኤክች ጋዞች እና ለሌሎች ኬሚካሎች ሲጋለጥ እንኳን ተረጋግቶ እንዲቆይ ያስችለዋል.

በአሁኑ ጊዜ የግራናይት መድረኮች በተራቀቁ የዋፍ ማምረቻ ፋብሪካዎች ውስጥ በስፋት ጥቅም ላይ ይውላሉ. መረጃው እንደሚያሳየው የግራናይት መድረክን ከተቀበለ በኋላ የዋፈር ንጣፍ ቅንጣትን የመለየት የተሳሳተ ግምት በ 60% ቀንሷል ፣ የመሣሪያዎች መለኪያ ዑደት በሦስት እጥፍ የተራዘመ ሲሆን አጠቃላይ የምርት ዋጋ በ 25% ቀንሷል። ሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪው ወደ ከፍተኛ ትክክለኛነት ሲሸጋገር የግራናይት መድረኮች እንደ ዜሮ ብረት ion ልቀት እና ዝቅተኛ ቅንጣት ብክለት ባሉ ዋና ጥቅሞቻቸው ለዋፈር ፍተሻ የተረጋጋ እና አስተማማኝ ድጋፍ መስጠታቸውን ይቀጥላሉ፣ ይህም የኢንዱስትሪውን እድገት የሚያንቀሳቅስ አስፈላጊ ኃይል ይሆናል።