የግራናይት ክፍሎች ሴሚኮንዳክተር የማምረት ትክክለኛነትን ለማረጋገጥ የ XYZT ትክክለኛ የጋንትሪ እንቅስቃሴ መድረክን ይረዳሉ።

በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ አውደ ጥናት ውስጥ የቺፑን የማምረት ሂደት ለአካባቢያዊ ሁኔታዎች እና ለመሳሪያዎች ትክክለኛነት የሚያስፈልጉት ነገሮች እጅግ በጣም ብዙ ናቸው፣ እና ማንኛውም ትንሽ መዛባት የቺፑን ምርት ላይ ከፍተኛ ውድቀትን ሊያስከትል ይችላል። የXYZT ትክክለኛነት የጋንትሪ እንቅስቃሴ መድረክ ከሌሎች የመድረክ ክፍሎች ጋር በመተባበር የናኖ ሚዛን ትክክለኛነትን ለማረጋገጥ ጠንካራ መሠረት ለመገንባት በ granite ክፍሎች ላይ የተመሠረተ ነው።
እጅግ በጣም ጥሩ የንዝረት ማገድ ባህሪያት
በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ዎርክሾፕ ውስጥ፣ በዙሪያው የሚራመዱ የመሣሪያዎች አሠራር እና ሠራተኞች ንዝረትን ሊያስከትሉ ይችላሉ። የ granite ክፍሎች ውስጣዊ አወቃቀሩ ጥቅጥቅ ያለ እና አንድ ወጥ ነው, ተፈጥሯዊ ከፍተኛ የእርጥበት ባህሪያት, እንደ ቀልጣፋ ንዝረት "ማገጃ" ነው. የውጪው ንዝረት ወደ XYZT መድረክ በሚተላለፍበት ጊዜ, የ granite ክፍል ከ 80% በላይ የንዝረት ኃይልን በተሳካ ሁኔታ በማዳከም እና በመድረክ እንቅስቃሴ ትክክለኛነት ላይ የንዝረት ጣልቃገብነትን ይቀንሳል. በተመሳሳይ ጊዜ የመሳሪያ ስርዓቱ ከግራናይት ክፍሎች ጋር አብሮ የሚሠራ ከፍተኛ ትክክለኛ የአየር ተንሳፋፊ መመሪያ ስርዓት የተገጠመለት ነው. የአየር ተንሳፋፊ መመሪያው በከፍተኛ ግፊት ጋዝ የተፈጠረውን የተረጋጋ የጋዝ ፊልም በመጠቀም የመድረክን ተንቀሳቃሽ አካላት ንክኪ የለሽ እገዳ እንቅስቃሴን ለመገንዘብ እና በሜካኒካዊ ግጭት ምክንያት የሚፈጠረውን ትንሽ ንዝረትን ይቀንሳል። ሁለቱም አንድ ላይ ሆነው እንደ ቺፕ ሊቶግራፊ እና ኢቲንግ ባሉ ቁልፍ ሂደቶች ውስጥ የመድረክ አቀማመጥ ትክክለኛነት ሁል ጊዜ በናኖሜትር ደረጃ እንዲቆዩ እና በንዝረት ምክንያት የሚመጡትን የቺፕ ወረዳ ቅጦች መዛባትን ያስወግዳሉ።
በጣም ጥሩ የሙቀት መረጋጋት
በአውደ ጥናቱ ውስጥ ያለው የሙቀት መጠን እና እርጥበት መለዋወጥ በቺፕ ማምረቻ መሳሪያዎች ትክክለኛነት ላይ ትልቅ ተጽእኖ አለው. የግራናይት የሙቀት ማስፋፊያ ቅንጅት በጣም ዝቅተኛ ነው፣ በአጠቃላይ በ5-7 ×10⁻⁶/℃፣ የሙቀት መጠኑ ሲቀየር መጠኑ አይቀየርም። በአውደ ጥናቱ ውስጥ በቀን እና በሌሊት መካከል ያለው የሙቀት ልዩነት ወይም የመሣሪያው ሙቀት መጠን የሙቀት መጠኑ እንዲለዋወጥ ቢያደርግም የግራናይት ክፍሎች በሙቀት መስፋፋት እና በመቀነስ ምክንያት የመድረኩን መበላሸት ለመከላከል በተረጋጋ ሁኔታ ሊቆዩ ይችላሉ። በተመሳሳይ ጊዜ ከመድረክ ጋር የተገጠመ የማሰብ ችሎታ ያለው የሙቀት መቆጣጠሪያ ስርዓት የአከባቢውን የሙቀት መጠን በእውነተኛ ጊዜ ይከታተላል ፣ የአየር ማቀዝቀዣውን እና የሙቀት ማከፋፈያ መሳሪያዎችን በራስ-ሰር ያስተካክላል ፣ እና በ 20 ° ሴ ± 1 ° ሴ ላይ የአውደ ጥናቱን የሙቀት መጠን ይጠብቃል ከግራናይት ሙቀት መረጋጋት ጥቅሞች ጋር ተዳምሮ ፣ መድረክ በረጅም ጊዜ አሠራር ውስጥ ፣ የእያንዳንዱ ዘንግ እንቅስቃሴ ትክክለኛነት የቺፕ ሊሚሜትር መጠን ሁልጊዜ እንደሚያሟላ ያረጋግጡ ። ትክክለኛ ነው, የመሳፍ ጥልቀት ተመሳሳይ ነው.
የንጹህ አካባቢ ፍላጎቶችን ማሟላት
የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ሱቅ የአቧራ ቅንጣቶች ቺፑን እንዳይበክሉ ለመከላከል ከፍተኛ ንጽሕናን መጠበቅ አለባቸው. ግራናይት ቁሳቁስ ራሱ አቧራ አያመጣም, እና መሬቱ ለስላሳ ነው, አቧራ ለመምጠጥ ቀላል አይደለም. የመሳሪያ ስርዓቱ በአጠቃላይ የውጭ ብናኝ መግቢያን ለመቀነስ ሙሉ በሙሉ የተዘጋ ወይም በከፊል የተዘጋ መዋቅር ንድፍ ይቀበላል. የውስጥ አየር ንፅህና በቺፕ ማምረቻ በሚፈለገው ደረጃ ላይ መድረሱን ለማረጋገጥ የውስጥ የአየር ዝውውሩ ስርዓት ከአውደ ጥናቱ ንጹህ የአየር ማቀዝቀዣ ዘዴ ጋር የተያያዘ ነው. በዚህ ንፁህ አካባቢ የግራናይት ክፍሎች በአቧራ መሸርሸር ምክንያት አፈፃፀሙን አይጎዱም ፣ እና እንደ ከፍተኛ-ትክክለኛነት ዳሳሾች እና የመድረክ ሞተሮች ያሉ ቁልፍ አካላት እንዲሁ በተረጋጋ ሁኔታ ሊሰሩ ይችላሉ ፣ ለቺፕ ማምረቻ ቀጣይ እና አስተማማኝ የናኖ ሚዛን ትክክለኛነት ዋስትና ይሰጣሉ ፣ እና ሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ወደ ከፍተኛ ሂደት ደረጃ እንዲሸጋገር ይረዳል ።