ከኤሌክትሮማግኔቲክ ጣልቃገብነት እስከ የቫኩም ተኳኋኝነት፡- የግራናይት መሰረቶች በሊቶግራፊ ማሽኖች ውስጥ የማይተኩ ናቸው።

.
በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ መስክ, የቺፕ ማምረቻውን ሂደት ትክክለኛነት የሚወስኑት ዋና መሳሪያዎች, የፎቶሊቶግራፊ ማሽን ውስጣዊ አከባቢ መረጋጋት በጣም አስፈላጊ ነው. ከአልትራቫዮሌት ብርሃን ምንጭ መነሳሳት ጀምሮ እስከ ናኖስኬል ትክክለኛነት እንቅስቃሴ መድረክ ድረስ በእያንዳንዱ ማገናኛ ውስጥ ትንሽ ልዩነት ሊኖር አይችልም። የግራናይት መሰረቶች፣ ተከታታይ ልዩ ባህሪያት ያላቸው፣ የፎቶሊተግራፊ ማሽኖችን የተረጋጋ አሠራር በማረጋገጥ እና የፎቶሊተግራፊ ትክክለኛነትን በማጎልበት ወደር የለሽ ጥቅሞችን ያሳያሉ። .
የላቀ የኤሌክትሮማግኔቲክ መከላከያ አፈፃፀም
የፎቶሊቶግራፊ ማሽን ውስጠኛ ክፍል ውስብስብ በሆነ ኤሌክትሮማግኔቲክ አካባቢ የተሞላ ነው. የኤሌክትሮማግኔቲክ ጣልቃገብነት (EMI) እንደ እጅግ በጣም ከፍተኛ የአልትራቫዮሌት ብርሃን ምንጮች፣ አሽከርካሪዎች እና ከፍተኛ ተደጋጋሚ የኃይል አቅርቦቶች በመሳሰሉት ክፍሎች የሚፈጠሩት ውጤታማ ቁጥጥር ካልተደረገላቸው በመሳሪያው ውስጥ ያሉ ትክክለኛ የኤሌክትሮኒክስ ክፍሎች እና የኦፕቲካል ሲስተሞች አፈፃፀም ላይ በእጅጉ ይጎዳል። ለምሳሌ፣ ጣልቃ ገብነት በፎቶሊተግራፊ ቅጦች ላይ ትንሽ ልዩነቶችን ሊያስከትል ይችላል። በተራቀቁ የማኑፋክቸሪንግ ሂደቶች ውስጥ, ይህ በቺፑ ላይ ወደ የተሳሳቱ ትራንዚስተር ግንኙነቶች ለመምራት በቂ ነው, ይህም የቺፕ ምርትን በእጅጉ ይቀንሳል. .
ግራናይት ብረት ያልሆነ ቁሳቁስ ነው እና ኤሌክትሪክ በራሱ አይሰራም። በብረታ ብረት ቁሳቁሶች ውስጥ በነፃ ኤሌክትሮኖች እንቅስቃሴ ምክንያት የሚፈጠር ኤሌክትሮማግኔቲክ ኢንዳክሽን ክስተት የለም። ይህ ባህሪ ተፈጥሯዊ ኤሌክትሮማግኔቲክ መከላከያ አካል ያደርገዋል, ይህም የውስጣዊ ኤሌክትሮማግኔቲክ ጣልቃገብነት ማስተላለፊያ መንገድን በተሳካ ሁኔታ ሊያግድ ይችላል. በውጫዊ የኤሌክትሮማግኔቲክ ጣልቃገብነት ምንጭ የተፈጠረው ተለዋጭ መግነጢሳዊ መስክ ወደ ግራናይት መሠረት ሲሰራጭ ፣ ግራናይት መግነጢሳዊ ስላልሆነ እና መግነጢሳዊ ሊሆን ስለማይችል ተለዋጭ መግነጢሳዊ መስክ ለመግባት አስቸጋሪ ነው ፣ በዚህም በመሠረቱ ላይ የተጫነውን የፎቶሊቶግራፊ ማሽን ዋና ዋና ክፍሎችን ይከላከላል ፣ ለምሳሌ ትክክለኛ ዳሳሾች እና የጨረር ሌንሶች የኤሌክትሮማግኔቲክ መሳሪያዎችን በሚያስተላልፉበት ጊዜ ትክክለኛነትን ይከላከላል ። የፎቶግራፊ ሂደት. .

እጅግ በጣም ጥሩ የቫኩም ተኳኋኝነት
እጅግ በጣም ከፍተኛ የሆነ አልትራቫዮሌት ብርሃን (EUV) አየርን ጨምሮ በሁሉም ንጥረ ነገሮች በቀላሉ ስለሚዋጥ የኢዩቪ ሊቶግራፊ ማሽኖች በቫኩም አከባቢ ውስጥ መስራት አለባቸው። በዚህ ጊዜ የመሳሪያዎቹ ክፍሎች ከቫኩም አከባቢ ጋር ተኳሃኝነት በተለይ ወሳኝ ይሆናል. በቫኩም ውስጥ, ቁሳቁሶች ሊሟሟ, ሊሟሟ እና ጋዝ ሊለቁ ይችላሉ. የተለቀቀው ጋዝ የኢዩቪ መብራትን በመምጠጥ የብርሃኑን ጥንካሬ እና የማስተላለፍ ብቃትን በመቀነስ የኦፕቲካል ሌንሶችን ሊበክል ይችላል። ለምሳሌ የውሃ ትነት ሌንሶችን ኦክሳይድ ሊያደርግ ይችላል፣ እና ሃይድሮካርቦኖች የካርቦን ሽፋኖችን በሌንስ ላይ ያስቀምጣሉ፣ ይህም የሊቶግራፊን ጥራት በእጅጉ ይጎዳል። .
ግራናይት የተረጋጋ ኬሚካላዊ ባህሪያት ያለው ሲሆን በቫኩም አካባቢ ውስጥ ጋዝ አይለቅም. በሙያዊ ሙከራ መሠረት፣ በተመሰለው የፎቶሊቶግራፊ ማሽን ቫክዩም አካባቢ (እንደ እጅግ በጣም ንጹህ የሆነ የቫኩም አካባቢ በዋናው ክፍል ውስጥ ያሉት የመብራት ኦፕቲካል ሲስተም እና ኢሜጂንግ ኦፕቲካል ሲስተም የሚገኙበት፣ ኤች ኦ <10⁻ Pa, CₓHᵧ, ከመሠረቱ ዝቅተኛው ከ 10 ⁻ ዝቅተኛ ዋጋ ያነሰ ነው) እንደ ብረቶች ያሉ ሌሎች ቁሳቁሶች. ይህም የፎቶሊቶግራፊ ማሽኑ ውስጣዊ ክፍል ከፍተኛ የቫኩም ዲግሪ እና ንፅህናን ለመጠበቅ ለረጅም ጊዜ እንዲቆይ ያስችለዋል፣በሚተላለፍበት ጊዜ የኢዩቪ ብርሃን ከፍተኛ ስርጭትን እና እጅግ ንፁህ የአጠቃቀም አካባቢን ለጨረር ሌንሶች ፣የጨረር ሲስተም የአገልግሎት እድሜን በማራዘም እና የፎቶሊተግራፊ ማሽኑን አጠቃላይ አፈፃፀም ያረጋግጣል። .
ጠንካራ የንዝረት መቋቋም እና የሙቀት መረጋጋት
በፎቶሊቶግራፊ ሂደት ውስጥ, በናኖሜትር ደረጃ ላይ ያለው ትክክለኛነት የፎቶሊቶግራፊ ማሽኑ ትንሽ የንዝረት ወይም የሙቀት መዛባት ሊኖረው አይገባም. በአውደ ጥናቱ ውስጥ በሌሎች መሳሪያዎች እና የሰራተኞች እንቅስቃሴ የሚፈጠረው የአካባቢ ንዝረት እንዲሁም በፎቶሊተግራፊ ማሽን በራሱ በሚሰራበት ጊዜ የሚፈጠረው ሙቀት ሁሉም የፎቶሊተግራፊ ትክክለኛነት ላይ ጣልቃ ሊገቡ ይችላሉ። ግራናይት ከፍተኛ ጥግግት እና ጠንካራ ሸካራነት አለው፣ እና በጣም ጥሩ የንዝረት መቋቋም አለው። የውስጡ የማዕድን ክሪስታል መዋቅር የታመቀ ነው ፣ ይህም የንዝረት ኃይልን ውጤታማ በሆነ መንገድ ለማዳከም እና የንዝረት ስርጭትን በፍጥነት ያስወግዳል። የሙከራ መረጃ እንደሚያሳየው በተመሳሳዩ የንዝረት ምንጭ ስር የግራናይት መሰረቱ የንዝረት መጠኑን ከ90% በላይ በ0.5 ሰከንድ ውስጥ ሊቀንስ ይችላል። ከብረት መሰረቱ ጋር ሲነፃፀር መሳሪያውን በፍጥነት ወደ መረጋጋት ይመልሳል፣ በፎቶሊተግራፊ ሌንስ እና በዋፈር መካከል ያለውን ትክክለኛ አንጻራዊ ቦታ ያረጋግጣል፣ እና በንዝረት ምክንያት የሚከሰተውን የስርዓተ-ጥለት ብዥታ ወይም አለመግባባት ያስወግዳል። .
ይህ በእንዲህ እንዳለ የግራናይት የሙቀት መስፋፋት ጥምርታ እጅግ በጣም ዝቅተኛ ነው፣ በግምት (4-8) ×10⁻⁶/℃፣ ይህም ከብረታ ብረት ቁሶች በጣም ያነሰ ነው። የፎቶሊቶግራፊ ማሽኑ በሚሠራበት ጊዜ ምንም እንኳን የውስጣዊው የሙቀት መጠን ከብርሃን ምንጭ በሚመነጨው ሙቀት እና በሜካኒካል አካላት ግጭት ምክንያት የውስጣዊው የሙቀት መጠን ቢለዋወጥም ፣ ግራናይት መሰረቱ የመጠን መረጋጋትን ሊጠብቅ ይችላል እና በሙቀት መስፋፋት እና መኮማተር ምክንያት ከፍተኛ የአካል ጉድለት አይታይም። ለኦፕቲካል ሲስተም እና ለትክክለኛው የእንቅስቃሴ መድረክ የተረጋጋ እና አስተማማኝ ድጋፍ ይሰጣል, የፎቶሊተግራፊ ትክክለኛነትን ትክክለኛነት ይጠብቃል.