የግራናይት ትክክለኛነት መድረኮችን ጠፍጣፋ የመለየት ዘዴዎች።

በትክክለኛ ማምረቻ እና ሳይንሳዊ ምርምር መስኮች ፣ የግራናይት ትክክለኛነት መድረኮች ጠፍጣፋ የመሳሪያዎችን ትክክለኛነት ለማረጋገጥ ቁልፍ አመላካች ነው። የሚከተለው የበርካታ ዋና ዋና የመፈለጊያ ዘዴዎች እና ለእርስዎ የአሠራር ሂደቶች ዝርዝር መግቢያ ነው። .
I. ሌዘር ኢንተርፌሮሜትር የማወቂያ ዘዴ
የሌዘር ኢንተርፌሮሜትር ከፍተኛ ትክክለኛነትን ለመለየት ተመራጭ መሣሪያ ነው። የ ZYGO GPI XP ሌዘር ኢንተርፌሮሜትርን እንደ ምሳሌ እንውሰድ፣ ጥራቱ 0.1nm ሊደርስ ይችላል። ማወቂያውን በሚያካሂዱበት ጊዜ በመጀመሪያ የኢንተርፌሮሜትር የብርሃን ምንጭን ከመድረክ ጋር ያስተካክሉት እና የመድረክውን ወለል ወደ 50mm × 50mm ፍርግርግ ቦታዎች ይከፋፍሉት. በመቀጠል፣ የጣልቃ ገብነት ጠርዝ መረጃ በነጥብ በነጥብ ተሰብስቧል፣ እና ውሂቡ የተገጠመላቸው እና የጠፍጣፋነት ስህተቱን ለማግኘት በዘርኒኬ ፖሊኖሚል በመጠቀም ተንትነዋል። ይህ ዘዴ ከፍተኛ ትክክለኛነት ላላቸው መድረኮች ተፈጻሚ ሲሆን የ≤0.5μm/m² ጠፍጣፋ ስህተቶችን መለየት ይችላል። በተለምዶ የፎቶሊቶግራፊ ማሽኖችን እና ከፍተኛ-ደረጃ ባለ ሶስት-መጋጠሚያ የመለኪያ ማሽን መድረኮችን ለመለየት ጥቅም ላይ ይውላል። .
II. የኤሌክትሮኒክ ደረጃ አደራደር ዘዴ
የኤሌክትሮኒካዊ ደረጃ ድርድር ማወቂያ ለመስራት ቀላል እና በጣም ቀልጣፋ ነው። የ TESA A2 ኤሌክትሮኒካዊ ደረጃ (ከ 0.01μm / m ጥራት ጋር) ተመርጧል እና በ 9 × 9 ድርድር በመድረኩ X/Y ዘንግ አቅጣጫ ተዘጋጅቷል. የእያንዳንዱን ደረጃ የማዘንበል መረጃን በተመሳሳይ ጊዜ በመሰብሰብ እና ከዚያም በትንሹ የካሬ ዘዴን ለማስላት በመጠቀም የጠፍጣፋነት ዋጋ በትክክል ሊገኝ ይችላል። ይህ ዘዴ የመድረክን የአካባቢያዊ ውዝግቦች እና የእንቆቅልሽ ሁኔታዎችን በትክክል መለየት ይችላል. ለምሳሌ፣ በ50 ሚሜ ክልል ውስጥ የ0.2μm መለዋወጥም ሊታወቅ ይችላል፣ ይህም በጅምላ ምርት ውስጥ በፍጥነት ለመለየት ተስማሚ ነው። .
Iii. የኦፕቲካል ጠፍጣፋ ክሪስታል ዘዴ
የኦፕቲካል ጠፍጣፋ ክሪስታል ዘዴ አነስተኛ አካባቢ መድረኮችን ለመለየት ተስማሚ ነው. የኦፕቲካል ጠፍጣፋ ክሪስታልን በመድረኩ ላይ ከሚፈተነው ወለል ጋር አጥብቀው ያያይዙት እና በሞኖክሮማቲክ ብርሃን ምንጭ (ለምሳሌ የሶዲየም መብራት) በመካከላቸው የተፈጠረውን ጣልቃገብነት ይመልከቱ። ግርዶቹ ትይዩ የሆኑ ቀጥ ያሉ መስመሮች ከሆኑ, ጥሩ ጠፍጣፋነትን ያመለክታል. የተጠማዘዙ ገመዶች ከታዩ፣ የጠፍጣፋነት ስህተቱን በጠፍጣፋ ጥምዝነት መጠን ያሰሉ። እያንዳንዱ የተጠማዘዘ መስመር የ 0.316μm ቁመት ልዩነትን ይወክላል እና የጠፍጣፋነት መረጃ በቀላል ልወጣ ሊገኝ ይችላል። .
አራት. ባለ ሶስት-መጋጠሚያ የመለኪያ ማሽን የመመርመሪያ ዘዴ
ባለ ሶስት-መጋጠሚያ የመለኪያ ማሽን ባለ ሶስት አቅጣጫዊ ቦታ ላይ ከፍተኛ ትክክለኛ መለኪያ ማግኘት ይችላል. የግራናይት መድረክን በመለኪያ ማሽኑ የሥራ ጠረጴዛ ላይ ያስቀምጡ እና በመድረክ ወለል ላይ ከበርካታ የመለኪያ ነጥቦች ወጥ በሆነ መልኩ መረጃ ለመሰብሰብ መፈተሻውን ይጠቀሙ። የመለኪያ ማሽኑ ስርዓት የመድረክን ጠፍጣፋነት ሪፖርት ለማመንጨት እነዚህን መረጃዎች ያስኬዳል እና ይመረምራል። ይህ ዘዴ ጠፍጣፋነትን መለየት ብቻ ሳይሆን የመድረኩን ሌሎች የጂኦሜትሪ መለኪያዎችን በአንድ ጊዜ ማግኘት ይችላል እና ለትላልቅ ግራናይት መድረኮች አጠቃላይ ማወቂያ ተስማሚ ነው። .
እነዚህን የመለየት ዘዴዎች ጠንቅቀው ማወቅ የግራናይት ትክክለኛነት መድረክን ጠፍጣፋነት በትክክል ለመገምገም እና ለትክክለኛ መሣሪያዎች አስተማማኝ አሠራር አስተማማኝ ዋስትና ለመስጠት ይረዳዎታል።