ከሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ጀርባ ያለውን “የሮክ ሃይል” ዲክሪፕት ማድረግ - የግራናይት ትክክለኛነት አካላት የቺፕ ማምረቻውን ትክክለኛ ወሰን እንዴት ማደስ ይችላሉ

በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ ያለው ትክክለኛነት አብዮት፡ ግራናይት የማይክሮን ቴክኖሎጂን ሲያሟላ
1.1 በቁሳቁስ ሳይንስ ውስጥ ያልተጠበቁ ግኝቶች
በ2023 ሴሚ ኢንተርናሽናል ሴሚኮንዳክተር ማህበር ሪፖርት መሰረት፣ 63% የአለም የተራቀቁ ፋብሶች ከባህላዊ የብረት መድረኮች ይልቅ የግራናይት መሰረቶችን መጠቀም ጀምረዋል። በመሬት ውስጥ ካለው ከማግማ ጤዛ የሚመነጨው ይህ የተፈጥሮ ድንጋይ በልዩ አካላዊ ባህሪያቱ ምክንያት የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ታሪክን እንደገና እየፃፈ ነው።

Thermal inertia ጥቅም፡ የግራናይት 4.5 × 10⁻⁶/℃ የሙቀት መስፋፋት ከማይዝግ ብረት ውስጥ 1/5 ብቻ ነው ፣ እና የ ± 0.001 ሚሜ ልኬት መረጋጋት በሊቶግራፊ ማሽን ቀጣይነት ያለው ስራ ይጠበቃል።

የንዝረት እርጥበታማ ባህሪያት፡- የውስጥ የግጭት ቅንጅት ከብረት ብረት በ15 እጥፍ ይበልጣል

ዜሮ መግነጢሳዊ ተፈጥሮ: በሌዘር መለኪያ ውስጥ ያለውን መግነጢሳዊ ስህተት ሙሉ በሙሉ ያስወግዳል

1.2 የሜታሞርፎሲስ ጉዞ ከእኔ ወደ ፋብ
በሻንዶንግ የሚገኘውን የ ZHHIMG የማሰብ ችሎታ ያለው የምርት መሰረትን እንደ ምሳሌ በመውሰድ አንድ ቁራጭ ጥሬ ግራናይት መከናወን አለበት፡-

እጅግ በጣም ትክክለኝነት ማሽነሪ፡ ባለ አምስት ዘንግ ማያያዣ ማሽነሪ ማዕከል ለ200 ሰአታት ተከታታይ ወፍጮ፣ የገጽታ ሸካራነት እስከ Ra0.008μm

ሰው ሰራሽ የእርጅና ሕክምና: በቋሚ የሙቀት መጠን እና እርጥበት አውደ ጥናት ውስጥ 48 ሰአታት ተፈጥሯዊ ጭንቀት ይለቀቃል, ይህም የምርቱን መረጋጋት በ 40% ያሻሽላል.
ሁለተኛ፣ የሴሚኮንዳክተር ማምረቻውን "የሮክ መፍትሄ" ስድስቱን ትክክለኛ ችግሮች ሰንጠቅ።
2.1 የዋፈር መበታተን ፍጥነት መቀነስ እቅድ

የጉዳይ ማሳያ፡- በጀርመን ከቺፕ ፋውንዴሪ በኋላ የእኛን ጋዝ ተንሳፋፊ ግራናይት መድረክ ተቀበለ።

ዋፈር ዲያሜትር	ቺፕ ፍጥነት መቀነስ	ጠፍጣፋነት ማሻሻል
12 ኢንች	67%	≤0.001 ሚሜ
18 ኢንች	82%	≤0.0005 ሚሜ

2.2 የሊቶግራፊያዊ አሰላለፍ ትክክለኛነት ግኝት እቅድ

የሙቀት ማካካሻ ስርዓት፡ የተከተተ የሴራሚክ ዳሳሽ የቅርጽ ተለዋዋጭውን በቅጽበት ይከታተላል እና የመድረክን ዝንባሌ በራስ-ሰር ያስተካክላል።
የሚለካው መረጃ፡ በ28℃±5℃ መዋዠቅ ስር፣ የመክተት ትክክለኛነት ከ 0.12μm ያነሰ ይለዋወጣል።