ከሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ጀርባ ያለውን "የድንጋይ ኃይል" ዲክሪፕት ያድርጉ - የግራናይት ትክክለኛነት ክፍሎች የቺፕ ማምረቻ ትክክለኛነትን ድንበር እንዴት እንደገና ሊቀርጹ ይችላሉ?

በሴሚኮንዳክተር ማኑፋክቸሪንግ ውስጥ ያለው ትክክለኛ አብዮት፡ ግራናይት ማይክሮን ቴክኖሎጂን ሲያገኝ
1.1 በቁሳቁስ ሳይንስ ያልተጠበቁ ግኝቶች
በ2023 የSEMI ዓለም አቀፍ የሴሚኮንዳክተር ማህበር ሪፖርት መሠረት፣ በዓለም ላይ ካሉት የላቁ ጨርቆች ውስጥ 63% የሚሆኑት ባህላዊ የብረት መድረኮችን ከመጠቀም ይልቅ የግራናይት መሠረቶችን መጠቀም ጀምረዋል። ​​ይህ የተፈጥሮ ድንጋይ፣ ከምድር ጥልቅ ውስጥ ካለው የማግማ ጤዛ የሚመነጭ፣ ልዩ በሆኑ አካላዊ ባህሪያቱ ምክንያት የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ታሪክን እንደገና እየጻፈ ነው፡

የሙቀት ኢንኤርቲያ ጥቅም፡ የግራናይት የሙቀት መስፋፋት ኮፊሸንት 4.5×10⁻⁶/℃ ከማይዝግ ብረት 1/5 ብቻ ሲሆን የ ±0.001ሚሜ ልኬት መረጋጋት በሊቶግራፊ ማሽኑ ቀጣይነት ባለው ስራ ውስጥ ይጠበቃል።

የንዝረት ማዳከም ባህሪያት፡- የውስጥ ግጭት ቅንጅት ከብረት ብረት 15 እጥፍ ከፍ ያለ ሲሆን መሳሪያዎችን ማይክሮ-ንዝረትን ውጤታማ በሆነ መንገድ ይቀበላል

ዜሮ ማግኔቲዜሽን ተፈጥሮ፡ በሌዘር መለኪያ ውስጥ ያለውን መግነጢሳዊ ስህተት ሙሉ በሙሉ ያስወግዱ

1.2 ከኔ ወደ ፋብ የሚደረገው የሜታሞርፎሲስ ጉዞ
የ ZHHIMGን ብልህ የምርት መሰረት በሻንዶንግ እንደ ምሳሌ በመውሰድ፣ ጥሬ ግራናይት መካሄድ አለበት፡

እጅግ በጣም ትክክለኛ የሆነ የማሽን ማሽን፡ ለ200 ሰዓታት ቀጣይነት ያለው የማሽን መፍጨት፣ እስከ Ra0.008μm የሚደርስ የገጽታ ሸካራነት ለአምስት-ዘንግ ማያያዣ የማሽን ማዕከል

አርቲፊሻል እርጅና ሕክምና፡- በቋሚ የሙቀት መጠን እና እርጥበት አውደ ጥናት ውስጥ ለ48 ሰዓታት የሚቆይ ተፈጥሯዊ የጭንቀት መለቀቅ፣ ይህም የምርቱን መረጋጋት በ40% ያሻሽላል
ሁለተኛ፣ የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ "የሮክ መፍትሄ" ስድስቱን ትክክለኛ ችግሮች መፍታት
2.1 የዋፈር መበታተን ፍጥነት ቅነሳ ዘዴ

የጉዳይ ማሳያ፡ በጀርመን የሚገኝ የቺፕ ፋውንዴሽን የጋዝ ተንሳፋፊ ግራናይት መድረካችንን ከተቀበለ በኋላ፡

የዋፈር ዲያሜትር	የቺፕ ፍጥነት ቅነሳ	ጠፍጣፋነት ማሻሻያ
12 ኢንች	67%	≤0.001ሚሜ
18 ኢንች	82%	≤0.0005ሚሜ

2.2 የሊቶግራፊክ አሰላለፍ ትክክለኛነት የውጤት መርሃ ግብር

የሙቀት ማካካሻ ስርዓት፡ አብሮ የተሰራ የሴራሚክ ዳሳሽ የቅርጽ ተለዋዋጭውን በእውነተኛ ጊዜ ይከታተላል እና የመድረክ ዝንባሌውን በራስ-ሰር ያስተካክላል
የተለካ ውሂብ፡ በ28℃±5℃ መዋዠቅ ስር፣ የመክተት ትክክለኛነት ከ0.12μm በታች ይለዋወጣል