የሴራሚክ ቀጥተኛ ጠርዝ በንዑስ ማይክሮን ምርመራ ሂደትዎ ውስጥ የጎደለው አገናኝ ሊሆን ይችላል?

በከፍተኛ ትክክለኛነት ባለው የማምረቻ ዓለም ውስጥ - መቻቻል ከ5 ማይክሮን በታች የሚቀንስ እና የገጽታ አጨራረስ ወደ ኦፕቲካል ጥራት የሚጠጋበት - የምንተማመንባቸው መሳሪያዎች ከባህላዊው በላይ መሻሻል አለባቸው። ለአስርተ ዓመታት ብረት እና ግራናይት የሜትሮሎጂ ወንበሩን ይቆጣጠሩ ነበር። ነገር ግን እንደ ሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች፣ ኤሮስፔስ ኦፕቲክስ እና የህክምና ማይክሮ-መሳሪያዎች ያሉ ኢንዱስትሪዎች የሙቀት መንሸራተት ወይም ጥቃቅን አለባበስ እንኳን ተቀባይነት የሌለው ስህተት ወደሚያመጡባቸው አካባቢዎች ሲገፉ፣ አዲስ የማጣቀሻ መሳሪያዎች ክፍል እየወጣ ነው፡ እነዚህ ከብረት ወይም ከድንጋይ የተሠሩ አይደሉም፣ ነገር ግን ከተራቀቁ ቴክኒካል ሴራሚክስ የተሠሩ ናቸው።

በ ZHHIMG፣ ከማቅረብ ባለፈ ተንቀሳቅሰናል።የሴራሚክ ቀጥተኛ ገዥወይም የሴራሚክ ስኩዌር ሩለር ምርቶች። ቀጥ ያለ ጠርዝ ምን ሊሆን እንደሚችል እንደገና እየገለጽን ነው - እጅግ በጣም የተረጋጋ የሴራሚክ ቁሳቁሶችን ከዘመናዊ ዲዛይን ጋር በማጣመር፣ ይህም አዲስ የሆነውን ብጁ የሴራሚክ አየር ተንሳፋፊ ገዢያችንን ጨምሮ፣ ናኖሜትር-ደረጃ ተደጋጋሚነትን ሙሉ በሙሉ የሚያስወግድ መፍትሄ ነው።

ሴራሚክስ ለምን? መልሱ የሚጀምረው በሞለኪውላዊ ደረጃ ነው። ከሙቀት ወይም ከግራናይት ጋር በእጅጉ የሚሰፋው ብረት ሳይሆን፣ ምንም እንኳን የተረጋጋ ቢሆንም፣ ቀዳዳ እና የተለያዩ ሆነው የሚቀሩ - እንደ ዚርኮኒያ-ጠንካራ አሉሚና (ZTA) እና ሲሊከን ናይትሬድ ያሉ የተገነቡ ሴራሚክስ ወደ ዜሮ የሚጠጋ ቀዳዳ፣ ልዩ ጥንካሬ (1400–1800 HV) እና የሙቀት ማስፋፊያ ኮፊሸንት እስከ 3–4 µm/m·°C ዝቅተኛ ይሰጣሉ። ይህ ማለት ከ ZHHIMG የተገኘ የሴራሚክ ቀጥተኛ ጠርዝ ጂኦሜትሪውን በሙቀት መለዋወጥ ላይ ይጠብቃል ይህም ባህላዊ መሳሪያዎችን በበርካታ ማይክሮኖች ያዛባል ማለት ነው።

ነገር ግን ቁሳቁሱ ብቻውን በቂ አይደለም። የሴራሚክ ገዢዎቻችንን በእውነት የሚለየው የማምረቻቸው ትክክለኛነት ነው። በ ISO ክፍል 5 የጽዳት ክፍሎች ውስጥ የአልማዝ መፍጨት፣ የንዑስ ቀዳዳ ፖሊሽ እና የሌዘር ኢንተርፌሮሜትሪክ ማረጋገጫን በመጠቀም፣ ከ500 ሚሊ ሜትር በላይ ከ0.8 µm በላይ ቀጥ ያለ መቻቻልን እናገኛለን - ይህም በማድረስ ጊዜ ብቻ ሳይሆን በNIST እና PTB ደረጃዎች ላይ በተመሰረቱ ሙሉ የመለኪያ ሪፖርቶች ተመዝግቧል። እያንዳንዱየሴራሚክ ስኩዌር ሬክለርበኤሌክትሮኒክ አውቶኮሊሜሽን አማካኝነት ቀጥ ያለ የቋሚነት ምርመራ ያደርጋል፣ ይህም ማዕዘኖች በ1 አርክ-ሰከንድ (በ100 ሚሜ ≈0.5 µm ልዩነት) ውስጥ መያዛቸውን ያረጋግጣል።

እነዚህ የቲዎሬቲካል ዝርዝር መግለጫዎች አይደሉም። ከአሁን በኋላ ስምምነት ማድረግ ለማይችሉ ደንበኞች የአሠራር እውነታዎች ናቸው። አንድ ታዋቂ የEUV ሊቶግራፊ አካል አቅራቢ አሁን የመስታወት ድጋፍ ክፈፎችን ለማስተካከል የሴራሚክ ቀጥተኛ ገዢያችንን ብቻ ይጠቀማል። “የብረት ገዢዎች በረጅም የመጋለጥ ዑደቶች ወቅት ተበላሽተዋል” ሲሉ ዋና የሜትሮሎጂ ባለሙያቸው ነግረውናል። “ግራናይት ቅንጣቶችን አነሳ። የሴራሚክ ስሪት? ለ18 ወራት የተረጋጋ ነው - እንደገና ማስተካከል አያስፈልግም።”

ሆኖም ግን ፍጹም የሆነ የጂኦሜትሪ እንኳን በንክኪ ሊጎዳ ይችላል። ገዢን በአንድ ወለል ላይ ይጎትቱት፣ እና በተለይም ለስላሳ ብረቶች ወይም በተወለወሉ ኦፕቲክስ ላይ ጥቃቅን ጭረቶችን፣ የዘይት ፊልም ጣልቃገብነትን ወይም የመለጠጥ ለውጥን አደጋ ላይ ይጥላሉ። የZHHIMG ፈጠራ ከካብቹ ሴራሚክ አየር ተንሳፋፊ ገዢ ጋር ወደፊት የሚዘልቀው እዚህ ነው።

ይህ በውስጡ ቀዳዳዎች የተቆፈሩበት የሴራሚክ ቀጥ ያለ ጠርዝ ብቻ አይደለም። ሙሉ በሙሉ የተነደፈ የአየር ምህንድስና ያለው ኤሮስታቲክ ሲስተም ሲሆን፣ በገዢው ሙሉ ርዝመት ላይ ወጥ የሆነ የላሚናር የአየር ፍሰት ለማቅረብ በኮምፒውቲካል ፈሳሽ ተለዋዋጭነት የተነደፈ ነው። በንጹህ፣ ደረቅ አየር (ወይም ስሜታዊ በሆኑ አካባቢዎች ናይትሮጅን) ሲጫን፣ ገዢው ከስራው ክፍል በላይ ከ5-10 ማይክሮን ይንሳፈፋል - ይህም ፍጹም አሰላለፍን በመጠበቅ አካላዊ ንክኪን ያስወግዳል። ውጤቱስ? ለጠፍጣፋነት፣ ለቀጥታነት ወይም ለደረጃ ቁመት ማረጋገጫ እውነተኛ ያልሆነ ንክኪ መለኪያ፣ እስከ ±0.2 µm ድረስ ተደጋጋሚነት።

በስዊዘርላንድ የሚገኝ አንድ የኳንተም ኮምፒውቲንግ ላብራቶሪ አሁን ሱፐርኮንዳክቲቭ ቺፕ ተሸካሚዎችን ለመመርመር 600-ሚሜ ብጁ ሴራሚክ አየር ተንሳፋፊ ገዢ ይጠቀማል። “ማንኛውም ግንኙነት - ለስላሳ ስታይለስ ቢኖርም - የኩቢት አፈጻጸምን የሚቀይር ውጥረትን ያስተዋውቃል” ሲሉ የሂደታቸው መሐንዲሳቸው አብራርተዋል። “አየር የሚንሳፈፈው የሴራሚክ ገዢ ክፍሉን ሳይነካ የሚያስፈልገንን ማጣቀሻ ይሰጠናል። ተልዕኮ ወሳኝ ሆኗል።”

ይህንን እውን የሚያደርገው የZHHIMG የቁሳቁስ ሳይንስ፣ የትክክለኛነት ማሽነሪ እና የሜትሮሎጂ እውቀት ልዩ ውህደት ነው። ብዙ አቅራቢዎች ሴራሚክስን እንደ መዋቅራዊ አካላት አድርገው ቢመለከቷቸውም፣ እንደ የመለኪያ ቅርሶች እናሻሽላቸዋለን። የሴራሚክ ስኩዌር ገዢ ዲዛይኖቻችን መቆራረጥን ለመከላከል የተሸፈኑ ጠርዞችን፣ በፍተሻ ብርሃን ስር ያለውን ነጸብራቅ ለመቀነስ የተጣሩ ጀርባዎችን እና ለአውቶሜትድ የእይታ ስርዓቶች አማራጭ የታማኝነት ምልክቶችን ያካትታሉ። ለንፁህ ክፍል አፕሊኬሽኖች፣ የንጥረ ነገር ማጣበቂያን ለመቀነስ ቦታዎች እስከ Ra < 0.02 µm ድረስ ይወለዳሉ።

እና እያንዳንዱ አፕሊኬሽን የተለያየ ስለሆነ፣ ለሁሉም የሚስማማ አንድ መጠን ያለው ነገር አናምንም። በምርመራ ወቅት ቀጭን ዋፈርዎችን ለመያዝ የተከተተ የቫክዩም ቻናሎች ያሉት የሴራሚክ ቀጥተኛ ጠርዝ ያስፈልግዎታል? ገንብተናል።አራት ማዕዘን ማስመሪያከሲኤምኤም የምርመራ ጫፍዎ ጋር የተጣጣሙ የመተላለፊያ ቀዳዳዎች ያሉት? ጨርሰዋል። የተቀናጁ የግፊት ዳሳሾች እና ዲጂታል ደረጃ ግብረመልስ ያለው ብጁ የሴራሚክ አየር ተንሳፋፊ ገዥ ይፈልጋሉ? ያ ቀድሞውኑ ከቲየር-1 ኤሮስፔስ ደንበኛ ጋር በቤታ ሙከራ ላይ ነው።

የኢንዱስትሪ እውቅና ተከትሎ መጥቷል። በ2025ቱ ዓለም አቀፍ የላቀ የሜትሮሎጂ ግምገማ ላይ፣ ZHHIMG ሙሉ የጂኦሜትሪክ ማረጋገጫ እና ዲጂታል ክትትል ያለው የተሟላ የተረጋገጡ የሴራሚክ ማጣቀሻ መሳሪያዎችን - ተንሳፋፊ ልዩነቶችን ጨምሮ - የሚያቀርብ ብቸኛው ኩባንያ እንደሆነ ተጠቅሷል። ነገር ግን ከሁሉም በላይ አስፈላጊው ነገር፣ ተቀባይነት እያፋጠነ ነው፡ ከ60% በላይ የሚሆኑት የሴራሚክ ገዢ ትዕዛዞቻችን አሁን የመጡት ቀደም ሲል እንደዚህ ያሉ መሳሪያዎችን "ከመጠን በላይ" ብለው ከሚቆጥሯቸው ኢንዱስትሪዎች ነው - ልዩነቱን እስኪለኩ ድረስ።

ከብረት ወደ ሴራሚክ ስኩዌር ሩለር የተቀየሩ የነርቭ ተከላዎችን የሚያመርት የሕክምና መሣሪያ ጅምር ሲሆን የመጀመሪያ ማለፊያ ምርታማነታቸውን በ22% ጨምሯል። “አሮጌው ካሬ በቲታኒየም መያዣዎች ላይ ጥቃቅን ጉጅሎችን ትቷል” ሲሉ የጥራት ማረጋገጫ ሥራ አስኪያጃቸው ተናግረዋል። “እስክቀየርን ድረስ እንኳን አላወቅነውም። አሁን፣ እያንዳንዱ ክፍል በመጀመሪያው ሙከራ የእይታ እና የልኬት ፍተሻዎችን ያልፋል።”

ስለዚህ የሚቀጥለውን የሜትሮሎጂ ማሻሻያዎን ሲገመግሙ፣ እራስዎን ይጠይቁ፡ የአሁኑ ቀጥተኛ ጉዳቴ እርግጠኛ አለመሆንን ይጨምራል ወይስ ያስወግዳል?

ሂደትዎ በሚታወቅበት ጫፍ ላይ የሚሰራ ከሆነ፣ መልሱ በሴራሚክስ ላይ ሊሆን ይችላል - እንደ አዲስ ነገር ሳይሆን እንደ አስፈላጊነቱ። በ ZHHIMG፣ የሴራሚክ ቀጥተኛ ገዥ፣ የሴራሚክ ካሬ ገዥ ወይም የሴራሚክ ቀጥተኛ ጠርዝ መሳሪያዎችን ብቻ አናመርትም። በእያንዳንዱ ማይክሮን ላይ በራስ መተማመንን እንፈጥራለን።