የሚቀጥለው ትውልድ የሴራሚክ መለኪያ መሳሪያዎች የከፍተኛ-ከፍተኛ ትክክለኛነትን ወሰኖች እንደገና እየገለጹ ነው?

በካሊብሬሽን ላቦራቶሪዎች፣ በሴሚኮንዳክተር የጽዳት ክፍሎች እና በኤሮስፔስ ሜትሮሎጂ ስብስቦች ጸጥ ባሉ አዳራሾች ውስጥ ጸጥ ያለ አብዮት እየተካሄደ ነው። በሶፍትዌር ወይም በዳሳሾች ብቻ የሚመራ አይደለም - ነገር ግን የመለኪያውን መሠረት በሚፈጥሩት ቁሳቁሶች ነው። በዚህ ለውጥ ግንባር ቀደምትነት እጅግ በጣም የተረጋጋ የሴራሚክ አየር ቀጥ ያለ ገዢ እና እጅግ በጣም ግትር የሆነ ከፍተኛ ትክክለኛነት ያለው የሲሊኮን-ካርቦይድ (Si-SiC) ትይዩላይፔድ እና ካሬን ጨምሮ የላቁ የሴራሚክ የመለኪያ መሳሪያዎች አሉ። እነዚህ መሳሪያዎች ብቻ አይደሉም፤ መረጋጋት፣ ተደጋጋሚነት እና የሙቀት ገለልተኛነት ለድርድር የማይቀርቡበት አዲስ ዘመን አመቻቾች ናቸው።

ከግማሽ ምዕተ ዓመት በላይ ጥቁር ግራናይት ትክክለኛ የመለኪያ ሜትሮሎጂን ተቆጣጥሯል። ተፈጥሯዊ እርጥበት ማድረቁ፣ ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት እና እጅግ በጣም ጥሩ ጠፍጣፋነቱ ለገጽታ ሰሌዳዎች፣ ካሬዎች እና ቀጥ ያሉ ጠርዞች ተወዳጅ ቁሳቁስ አድርጎታል። ሆኖም ኢንዱስትሪዎች ወደ ንዑስ ማይክሮን እና እንዲያውም ናኖሜትር-ልኬት መቻቻል ሲገፉ - በተለይም በሴሚኮንዳክተር ሊቶግራፊ፣ በስፔስ ኦፕቲክስ እና በኳንተም ኮምፒውቲንግ - የግራናይት ገደቦች እየታዩ መጥተዋል። ከባድ ነው፣ በተደጋጋሚ ንክኪ ሲኖር ለማይክሮ-ቺፕንግ የተጋለጠ ነው፣ እና ዝናው ቢኖረውም፣ አሁንም በጭነት ወይም በአካባቢ መለዋወጥ ስር ለረጅም ጊዜ የሚቆይ መንሸራተት ያሳያል።

የተመረቱ የሴራሚክስ ምርቶችን ያስገቡ፡- የዕለት ተዕለት አስተሳሰብን የሚያሰበር የሸክላ ስራ ሳይሆን ጥቅጥቅ ያሉ፣ ተመሳሳይነት ያላቸው፣ ከፍተኛ አፈጻጸም ያላቸው ቁሳቁሶች በከፍተኛ ሙቀትና ግፊት ስር የተፈጠሩ። ከእነዚህም መካከል ለሜትሮሎጂ አፕሊኬሽኖች ሁለት ክፍሎች ጎልተው ይታያሉ፡- ከፍተኛ ንፅህና ያለው አሉሚና (Al₂O₃) እና ምላሽ ሰጪ በሆነ መልኩ የተሳሰረ ሲሊከን ካርቦይድ (Si-SiC)። ሁለቱም ከባህላዊ ቁሳቁሶች ጋር ሲነፃፀሩ አስደናቂ ማሻሻያዎችን ቢሰጡም፣ የተለያዩ ሚናዎችን ያገለግላሉ - እና አንድ ላይ ሆነው፣ በመጠን መለኪያ ውስጥ ሊኖር የሚችለውን ነገር የመጨረሻ ጫፍ ይወክላሉ።

ለምሳሌ የሴራሚክ አየር ቀጥ ያለ ገዢን እንውሰድ። ይህ መሳሪያ ከአየር ተሸካሚ ደረጃዎች ወይም ከኦፕቲካል ኢንተርፌሮሜትሮች ጋር ለመጠቀም የተነደፈ ሲሆን ፍጹም የሆነ ቀጥተኛነት፣ አነስተኛ ክብደት እና ዜሮ የሙቀት መንሸራተት ይፈልጋል።የሴራሚክ ገዢዎች—ከ500 ሚሊ ሜትር በላይ ±0.5 µm ውስጥ ጠፍጣፋ እና ቀጥ ያለ እንዲሆን ተደርጎ የተሰራ እና ከRa 0.02 µm በታች ወደ ላይኛው ሸካራነት የተወለወለ—በትክክል ያንን ያቀርባል። ዝቅተኛ ጥግግታቸው (~3.6 ግ/ሴሜ³) በተለዋዋጭ የመለኪያ ስርዓቶች ውስጥ ያለውን ኢንኤርቲያ ይቀንሳል፣ መግነጢሳዊ ያልሆነው፣ የማይመራው ባህሪያቸው ደግሞ ስሜታዊ በሆኑ የኤሌክትሮኒክስ ወይም መግነጢሳዊ አካባቢዎች ውስጥ ጣልቃ ገብነትን ያስወግዳል። በዋፈር ፍተሻ መሳሪያዎች ወይም በሌዘር መከታተያ መለኪያ ቅንጅቶች ውስጥ፣ አንድ ማይክሮን ቀስት እንኳን ውጤቶችን ሊያዛባ በሚችልበት፣ የሴራሚክ አየር ቀጥ ያለ ገዢ በሙቀት መለዋወጥ እና በአሠራር ዑደቶች ላይ እውነት ሆኖ የሚቆይ የተረጋጋ፣ የማይንቀሳቀስ ማጣቀሻ ይሰጣል።

ነገር ግን ከፍተኛ ጥንካሬ እና የሙቀት ማስተላለፊያ ሲያስፈልግ - ለምሳሌ በጠፈር ቴሌስኮፕ መስታወት አሰላለፍ ወይም ከፍተኛ ኃይል ባለው የሌዘር ክፍተት ሜትሮሎጂ - መሐንዲሶች ወደ ከፍተኛ ትክክለኛነት ያለው ሲሊኮን-ካርቦይድ (Si-SiC) ትይዩ-ፒፔድ እና ካሬ ክፍሎች ይሄዳሉ። Si-SiC ከሚታወቁት በጣም ጠንካራ ቁሳቁሶች አንዱ ሲሆን የያንግ ሞዱለስ ከ400 GPa በላይ - ከብረት ከሶስት እጥፍ በላይ - እና የሙቀት ማስተላለፊያ ከአሉሚኒየም ጋር የሚወዳደር ነው። በወሳኝ ሁኔታ፣ የሙቀት መስፋፋት (CTE) ኮፊሸንት ከኦፕቲካል መነጽሮች ወይም ከሲሊኮን ዋፈርስ ጋር እንዲመሳሰል ተደርጎ ሊቀረጽ ይችላል፣ ይህም በሃይብሪድ ስብሰባዎች ውስጥ ወደ ዜሮ የሚጠጋ ልዩነት መስፋፋትን ያስችላል። በ EUV ሊቶግራፊ መሳሪያ ውስጥ እንደ ዋና ማጣቀሻ የሚያገለግል የ Si-SiC ካሬ ቅርፁን ብቻ አይይዝም - ከአካባቢያዊ ማሞቂያ ወይም ንዝረት የሚመጣውን መዛባት በንቃት ይቋቋማል።

እነዚህን ስኬቶች እውን የሚያደርገው ቁሱ ​​ብቻ ሳይሆን የሴራሚክ መለኪያ መሳሪያዎችን ማምረቻ ችሎታ ነው። ለምሳሌ የSi-SiC ትክክለኛ የማሽን ሂደት የአልማዝ መፍጨት ጎማዎችን፣ ንዑስ ማይክሮን CNC መድረኮችን እና በሙቀት ቁጥጥር በሚደረግባቸው አካባቢዎች የሚከናወኑ ባለብዙ ደረጃ የላፕ ሂደቶችን ይጠይቃል። ተገቢ ባልሆነ የሲንቴሪንግ ምክንያት የሚመጣ ትንሽ የተረፈ ውጥረት እንኳን ወደ ማሽነሪ ማሽነሪ ጦርነት ሊያመራ ይችላል። ለዚህም ነው የተመረጡ ጥቂት ዓለም አቀፍ አምራቾች ብቻ የቁሳቁስ ውህደትን፣ ትክክለኛነትን መፍጠርን እና የመጨረሻውን ሜትሮሎጂ በአንድ ጣሪያ ስር የሚያዋህዱት - ይህ እውነተኛ የሜትሮሎጂ ደረጃ አምራቾችን ከአጠቃላይ የሴራሚክ አቅራቢዎች የሚለይ ችሎታ ነው።

በ ZHONGHUI Intelligent Manufacturing (JINAN) GROUP CO., LTD (ZHHIMG)፣ ይህ አቀባዊ ውህደት ለተልእኳችን ማዕከላዊ ነው። የሴራሚክ መለኪያ መሳሪያዎቻችን - ለ DIN 874 Grade AA የተረጋገጡ የሴራሚክ አየር ቀጥ ያለ ገዢ ሞዴሎችን እና ከፍተኛ ትክክለኛነት ያላቸውን የሲሊኮን-ካርቦይድ (Si-Si-C) ትይዩ እና ካሬ ቅርሶችን ጨምሮ - በ ISO ክፍል 7 የጽዳት ክፍሎች ውስጥ የሚመረቱት በባለቤትነት በተሰራ የሲንቴሪንግ እና የማጠናቀቂያ ፕሮቶኮሎችን በመጠቀም ነው። እያንዳንዱ አካል ሙሉ የኢንተርፌሮሜትሪክ ማረጋገጫ፣ የጂኦሜትሪክ መቻቻል CMM ማረጋገጫ (ጠፍጣፋነት፣ ትይዩነት፣ ቀጥ ያለ) እና ከመላኪያው በፊት የገጽታ ታማኝነት ምርመራ ይደረግበታል። ውጤቱም ዝርዝር ሁኔታዎችን ብቻ የሚያሟላ የማጣቀሻ ደረጃ ቅርስ ነው - በተለያዩ ቡድኖች ውስጥ በተከታታይ ይበልጣል.

ለእንደዚህ አይነት አፈጻጸም ያለው ፍላጎት እየጨመረ ነው። በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ፣ EUV እና ከፍተኛ-NA ሊቶግራፊ ሲስተሞች በሜትር ሚዛን ርቀት ላይ በአስር ናኖሜትሮች ውስጥ የተረጋጉ የአሰላለፍ መዋቅሮችን ይፈልጋሉ - ያለ Si-SiC የሙቀት-ሜካኒካል ውህደት የማይቻል ነው። በአየር በረራ ውስጥ፣ በሴራሚክ ማጣቀሻዎች የተሰሩ የሳተላይት ኦፕቲካል ወንበሮች ከፍተኛ የሙቀት ዑደት ቢኖርም በኦርቢት ላይ መረጋጋትን ያረጋግጣሉ። እንደ የስበት ሞገድ ማወቂያ ወይም የአቶሚክ ሰዓት ልማት ባሉ አዳዲስ መስኮች ውስጥ እንኳን፣ የፒኮሜትር ደረጃ መረጋጋት አስፈላጊ በሆኑባቸው፣ የሴራሚክ እና የSi-SiC የሜትሮሎጂ ቅርሶች አስፈላጊ እየሆኑ መጥተዋል።

በወሳኝ ሁኔታ፣ እነዚህ መሳሪያዎች ዘላቂነትን እና የባለቤትነት አጠቃላይ ወጪን ይዳስሳሉ። ከፍተኛ ትክክለኛነት ባለው ሲሊኮን-ካርቦይድ ፓራሌፔፔድ ላይ የተደረገው የመጀመሪያ ኢንቨስትመንት ከግራናይት ተመጣጣኝ መጠን ሊበልጥ ቢችልም፣ የአገልግሎት ህይወቱ በከፍተኛ አጠቃቀም አካባቢዎች ከ5-10 እጥፍ ሊረዝም ይችላል። ዘይት መቀባት አያስፈልገውም፣ ሁሉንም የተለመዱ መሟሟቶችን እና ፕላዝማዎችን ይቋቋማል፣ እና ከእርጥበት መምጠጥ የተነሳ ዳግም ማስተካከል አያስፈልገውም - ከተጣለ ብረት ወይም ከአንዳንድ ግራናይት በተለየ። በ AS9100፣ ISO 13485 ወይም በSEMI ደረጃዎች ስር ለሚሰሩ የጥራት አስተዳዳሪዎች፣ ይህ አስተማማኝነት በቀጥታ ወደ ዝቅተኛ የስራ ማቆም ጊዜ፣ አነስተኛ የኦዲት ግኝቶች እና የበለጠ የደንበኛ እምነት ይተረጎማል።

ከዚህም በላይ የእነዚህ መሳሪያዎች ውበት እና ተግባራዊ ውበት ችላ ሊባል አይገባም። የተወለወለ Si-SiC ካሬ ከብረት አንጸባራቂ ጋር ያበራል ነገር ግን ከብረት ያነሰ ክብደት አለው። የሴራሚክ አየር ቀጥ ያለ ገዢ ጠንካራ ሆኖ ይሰማዋል ነገር ግን ያለምንም ጥረት ይነሳል - በጠባብ ቦታዎች ውስጥ በእጅ ለማረጋገጥ ተስማሚ። እነዚህ ሰው-ተኮር ባህሪያት በእውነተኛው ዓለም ላቦራቶሪዎች ውስጥ አስፈላጊ ናቸው፣ ሎጂካዊነት እና የአጠቃቀም ቀላልነት የዕለት ተዕለት የስራ ፍሰት ላይ ተጽዕኖ ያሳድራሉ።

እንግዲህ፣ የሴራሚክ የመለኪያ መሣሪያዎች እጅግ በጣም ከፍተኛ ትክክለኛነትን እንደገና እየገለጹ ነው? መልሱ የሚገኘው በመረጃው ውስጥ ነው - እና አሁን እንደ መደበኛ የሚገልጹት በዓለም አቀፍ ደረጃ እየጨመረ የመጣው መሪዎች ዝርዝር ውስጥ ነው። ከቀጣይ ትውልድ ርዝመት ደረጃዎችን ከሚያረጋግጡ ብሔራዊ የሜትሮሎጂ ተቋማት እስከ የኢቪ ድራይቭ ባቡር ክፍሎችን የሚያረጋግጡ የደረጃ 1 አቅራቢዎች ድረስ፣ ለውጡ ግልጽ ነው፡- እርግጠኛ አለመሆን መቀነስ ሲኖርበት፣ መሐንዲሶች የተነደፉ ሴራሚክስን ያምናሉ።

ኢንዱስትሪዎች ወደ አቶሚክ ሚዛን ቁጥጥር የሚያደርጉትን የማያቋርጥ ጉዞ ሲቀጥሉ፣ አንድ እውነት የማይካድ ይሆናል፤ የመለኪያው የወደፊት ጊዜ ከድንጋይ ወይም ከብረት የተቀረጸ አይሆንም። በሴራሚክ እና በሲሊኮን ካርቦይድ ይወለወላል።

ZHONGHUI Intelligent Manufacturing (JINAN) Group Co., Ltd (ZHHIMG) በዓለም አቀፍ ደረጃ እጅግ በጣም ትክክለኛ የሴራሚክ እና የሲሊኮን-ካርቦይድ ሜትሮሎጂ መፍትሄዎችን በመጠቀም የሚታወቅ ፈጣሪ ነው። በሴራሚክ የመለኪያ መሳሪያዎች፣ በሴራሚክ አየር ቀጥ ያለ ገዢ እና በከፍተኛ ትክክለኛነት ሲሊኮን-ካርቦይድ (Si-SiC) ፓራሌፒፕድ እና ካሬ ክፍሎች ላይ የተካነ ZHHIMG ለሴሚኮንዳክተር፣ ለአየር ማራዘሚያ፣ ለመከላከያ እና ለሳይንሳዊ ምርምር አፕሊኬሽኖች ሙሉ በሙሉ የተረጋገጡ፣ የላብራቶሪ ደረጃ ቅርሶችን ያቀርባል። በ ISO 9001፣ ISO 14001 እና CE የምስክር ወረቀቶች የተደገፈ ሲሆን ምርቶቻችን በዓለም ዙሪያ ባሉ ታዋቂ የቴክኖሎጂ ኢንተርፕራይዞች የታመኑ ናቸው። የላቁ የሜትሮሎጂ ፖርትፎሊዮዎቻችንን በ ላይ ያስሱwww.zhhimg.com.