በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ የአሉሚና ሴራሚክ መለኪያዎች፡ 10 ዓመታት የማይመሳሰል ትክክለኛ መረጋጋት

በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ፣ አንድ ማይክሮን ከፍተኛ ምርት በሚያስገኝ ባች እና ከፍተኛ ወጪ በሚጠይቅ ውድቀት መካከል ልዩነት ሊሆን በሚችልበት፣ የሜትሮሎጂ ቁሳቁስ ምርጫ ወሳኝ ነው። የሊቶግራፊ እና የዋፈር ፍተሻ የፊዚክስን ወሰን ሲገፉ፣ ባህላዊ ብረት እና ከፍተኛ ደረጃ ያለው ግራናይት እንኳን ገደባቸው ላይ እየደረሱ ነው።

የአሉሚና ሴራሚክ (Al2O3) ለሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች አምራቾች እንደ የመጨረሻ መፍትሄ ብቅ ብሏል። ከባህላዊ ቁሳቁሶች በላይ ከ10 ዓመታት በላይ ሊያልፍ የሚችል ትክክለኛ የማቆያ ጊዜ ስላላቸው፣ ሴራሚክስ የቅንጦት ስራ አይደለም - እነሱ የመዋቅር አስፈላጊነት ናቸው።

ለሴሚኮንዳክተሮች የአልሙና ሴራሚክ ለምን ያስፈልጋል?

ወደ አፕሊኬሽኖች ከመግባትዎ በፊት የቁሳቁሱን ልዩ “ሶስትዮሽ ስጋት” መገለጫ መረዳት አስፈላጊ ነው፡

• የሙቀት መረጋጋት፡- ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት (≈7 × 10^{-6}/K) በከፍተኛ ፍጥነት መሳሪያዎች የሚመነጨው ሙቀት ቢኖርም መለኪያዎች ወጥነት እንዲኖራቸው ያረጋግጣል።

• ማግኔቲክ ያልሆነ እና ኮንዳክቲቭ ያልሆነ፡- ለቫክዩም አካባቢዎች እና ለስሱ የኤሌክትሮን-ቢም ሊቶግራፊ አስፈላጊ ሲሆን መግነጢሳዊ ጣልቃገብነት ጨረሮችን ሊያዞር ይችላል።

• ዜሮ ዝገት፡- ከብረት በተለየ መልኩ፣ ሴራሚክስ በኬሚካል የማይንቀሳቀሱ ሲሆኑ፣ ከጽዳት ክፍል ጽዳት ፕሮቶኮሎች እና ከዝገት ጋዞች አካባቢ ጋር ተኳሃኝ ያደርጋቸዋል።

በሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች ውስጥ 5 ቁልፍ አፕሊኬሽኖች

1. የሊቶግራፊ ማሽን ደረጃዎች

ዘመናዊው የፎቶሊቶግራፊ ናኖሜትር ደረጃ አቀማመጥ ያስፈልገዋል። የሴራሚክ ካሬዎች እና መዋቅራዊ ክፍሎች ለዋፈር ደረጃ "ዋና ማጣቀሻ" ሆነው ያገለግላሉ። ከፍተኛ የጥንካሬያቸው-ከክብደት ጋር ያለው ጥምርታ ከከባድ ቁሳቁሶች ጋር የተያያዘውን ንዝረት ወይም "መደወል" ሳያስፈልግ ፈጣን ፍጥነት እንዲኖር ያስችላል።

2. የዋፈር ምርመራ እና ሜትሮሎጂ

በዋፈር ጂኦሜትሪ ሲስተሞች ውስጥ፣ የሴራሚክ ማስተር ስኩዌርስ የቃኝ ዘንጎችን ቀጥ ያለ እና ቀጥተኛነት ለማስተካከል ያገለግላሉ። ሴራሚክ ቅርፁን ለአስር አመታት ስለሚጠብቅ፣ እነዚህ ማሽኖች በጣም ያነሰ የመልሶ ማካካሻ ዑደቶችን ይፈልጋሉ፣ ይህም ለፋብሉ የስራ ጊዜን ከፍ ያደርገዋል።

3. የቫኩም ቻምበርስ ትክክለኛ ስብሰባ

የሴሚኮንዳክተር ስብሰባ ብዙውን ጊዜ የሚከሰተው ቅባት ውስን በሆነባቸው የቫክዩም አካባቢዎች ነው። የሴራሚክ ጋዞች ቫክዩሙን የማያስወጣ ወይም የማይበክል “ደረቅ” ትክክለኛነት ያለው ማጣቀሻ ይሰጣሉ፣ ይህም ውስጣዊ አካላት ከንዑስ ማይክሮን መቻቻል ጋር የተጣጣሙ መሆናቸውን ያረጋግጣል።

4. ከፍተኛ ድግግሞሽ የኤሌክትሮኒክስ ሙከራ

ለከፍተኛ ፍጥነት ቺፕ ሙከራ፣ ከመለኪያ መሳሪያው የሚመጣ ማንኛውም መግነጢሳዊ ወይም አስተላላፊ ጣልቃገብነት ውጤቶችን ሊያዛባ ይችላል። የአሉሚና ሴራሚክ መግነጢሳዊ ያልሆነ ባህሪው ለምርመራ ካርድ እቃዎች እና ለአሰላለፍ መለኪያዎች ተስማሚ ቁሳቁስ ያደርገዋል።

5. የክሊን ሩም የካሊብሬሽን ማስተርስ

በ ISO ክፍል 1 የጽዳት ክፍሎች ውስጥ ዝገት የተከለከለ ብክለት ነው። የብረት ጋዞች ኦክሳይድን ለመከላከል የዘይት ፊልሞችን ይፈልጋሉ፣ ይህም የብክለት አደጋ ነው። የሴራሚክ ጋዞች ዘይት አያስፈልጋቸውም እና በአይሶፕሮፒል አልኮሆል ሊጸዱ ይችላሉ፣ ይህም ለ10+ ዓመታት "ዜሮ-ቅንጣት" መገለጫን ይጠብቃል።

"የአስር ዓመት ጥቅም"

የብረት መለኪያዎች ለጥቂት ዓመታት ከፍተኛ ጥቅም ላይ ከዋሉ በኋላ ሊበላሹ ወይም ሊበላሹ ቢችሉም፣ ከፍተኛ ንፁህ የሆነው የአሉሚና ሞለኪውላዊ መዋቅር እጅግ በጣም የተረጋጋ ነው። እንደ ሴራሚክ ስኩዌር ወይም ቀጥተኛ ጠርዝ ጥቅም ላይ ሲውል፣ የቁሱ ጥንካሬ (ወደ ሰንፔር መቅረብ) ብዙውን ጊዜ ትክክለኛነት በጊዜ ሂደት "እንዳይንጠባጠብ" የሚያደርገውን ጥቃቅን የወለል መበስበስን ይከላከላል።

ለሴሚኮንዳክተር ኦሪጂናል ዕቃ አምራች ይህ ማለት የረጅም ጊዜ የጥገና ወጪዎችን በ10 እጥፍ መቀነስ እና በማሽኑ የዕድሜ ልክ ትክክለኛነት ላይ ከፍተኛ የሆነ የመተማመን ደረጃ ማለት ነው።