♦አሉሚና(አል)2ኦ3)
በ ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) የሚመረቱት ትክክለኛ የሴራሚክ ክፍሎች ከፍተኛ ንፁህ ከሆኑ የሴራሚክ ጥሬ ዕቃዎች፣ 92~97% አሉሚና፣ 99.5% አሉሚና፣ >99.9% አሉሚና እና CIP ቀዝቃዛ ኢሶስታቲክ ፕሬስ ሊሠሩ ይችላሉ። ከፍተኛ የሙቀት መጠን ያለው ሲንቴሪንግ እና ትክክለኛ ማሽነሪ፣ ± 0.001ሚሜ የሆነ የመለኪያ ትክክለኛነት፣ እስከ Ra0.1 ድረስ ለስላሳነት፣ እስከ 1600 ዲግሪ ድረስ የሙቀት መጠን ይጠቀሙ። የተለያዩ የሴራሚክስ ቀለሞች በደንበኞች ፍላጎት መሰረት ሊሠሩ ይችላሉ፣ ለምሳሌ፡ ጥቁር፣ ነጭ፣ ቢዩጂ፣ ጥቁር ቀይ፣ ወዘተ። በኩባንያችን የሚመረቱት ትክክለኛ የሴራሚክ ክፍሎች ለከፍተኛ ሙቀት፣ ለዝገት፣ ለመበስበስ እና ለሙቀት መከላከያ የሚቋቋሙ ሲሆኑ ለረጅም ጊዜ በከፍተኛ ሙቀት፣ በቫክዩም እና በዝገት ጋዝ አካባቢ ጥቅም ላይ ሊውሉ ይችላሉ።
በተለያዩ የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ መሳሪያዎች ውስጥ በስፋት ጥቅም ላይ ይውላል፡- ክፈፎች (የሴራሚክ ቅንፍ)፣ ንዑስ ክፍል (ቤዝ)፣ ክንድ/ድልድይ (ማኒፑለተር)፣ ሜካኒካል ክፍሎች እና የሴራሚክ አየር ተሸካሚ።
| የምርት ስም | ከፍተኛ ንፅህና 99 አሉሚና ሴራሚክ ስኩዌር ቱቦ / ቧንቧ / ዘንግ | |||||
| ማውጫ | ዩኒት | 85% Al2O3 | 95% Al2O3 | 99% Al2O3 | 99.5% Al2O3 | |
| ጥግግት | ግ/ሴሜ 3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
| የውሃ መምጠጥ | % | <0.1 | <0.1 | 0 | 0 | |
| የተበታተነ የሙቀት መጠን | ℃ | 1620 ዓ.ም. | 1650 ዓ.ም. | 1800 ዓ.ም. | 1800 ዓ.ም. | |
| ግትርነት | ሞህስ | 7 | 9 | 9 | 9 | |
| የማጠፍ ጥንካሬ(20℃)) | ኤምፓ | 200 | 300 | 340 | 360 | |
| የመጭመቂያ ጥንካሬ | ኪ.ግ.ፍ/ሴሜ 2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
| ረጅም የስራ ሙቀት | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 ዓ.ም. | |
| ከፍተኛ የስራ ሙቀት | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 ዓ.ም. | 1800 ዓ.ም. | |
| የድምጽ መቋቋም | 20℃ | Ω. ሴሜ3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
| 100℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
| 300℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 | ||
ከፍተኛ ንፁህ የአልሙኒየም ሴራሚክስ አተገባበር፡
1. ለሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች የተተገበረ፡ የሴራሚክ ቫክዩም ቹክ፣ የመቁረጫ ዲስክ፣ የጽዳት ዲስክ፣ የሴራሚክ ቹክ።
2. የዋፈር ማስተላለፊያ ክፍሎች፡ የዋፈር አያያዝ ቹኮች፣ የዋፈር መቁረጫ ዲስኮች፣ የዋፈር ማጽጃ ዲስኮች፣ የዋፈር ኦፕቲካል ፍተሻ መምጠጥ ኩባያዎች።
3. የ LED/ LCD ጠፍጣፋ ፓነል ማሳያ ኢንዱስትሪ፡ የሴራሚክ ኖዝል፣ የሴራሚክ መፍጨት ዲስክ፣ የLIFT PIN፣ የፒን ባቡር።
4. የኦፕቲካል ኮሙኒኬሽን፣ የፀሐይ ኢንዱስትሪ፡ የሴራሚክ ቱቦዎች፣ የሴራሚክ ዘንጎች፣ የወረዳ ሰሌዳ ማያ ገጽ ማተሚያ የሴራሚክ ፍርፋሪዎች።
5. ሙቀትን የሚቋቋሙ እና በኤሌክትሪክ የሚከላከሉ ክፍሎች፡ የሴራሚክ ተሸካሚዎች።
በአሁኑ ጊዜ የአሉሚኒየም ኦክሳይድ ሴራሚክስ በከፍተኛ ንፅህና እና በተለመደው ሴራሚክስ ሊከፈል ይችላል። ከፍተኛ ንፅህና ያለው የአሉሚኒየም ኦክሳይድ ሴራሚክስ ተከታታይ ከ99.9% በላይ የያዙትን የሴራሚክ ቁሳቁሶችን ያመለክታል። እስከ 1650 - 1990°ሴ ባለው የሲንቴሪንግ የሙቀት መጠን እና የመተላለፊያ ሞገድ 1 ~ 6μm ስለሆነ፣ ብዙውን ጊዜ ከፕላቲነም ክሩሲብል ይልቅ በተቀላቀለ ብርጭቆ ይቀናጃል፡ ይህም በብርሃን ማስተላለፊያው እና በአልካላይን ብረት ላይ ባለው የዝገት መቋቋም ምክንያት እንደ ሶዲየም ቱቦ ሊያገለግል ይችላል። በኤሌክትሮኒክስ ኢንዱስትሪ ውስጥ ለአይሲ ንጣፎች ከፍተኛ ድግግሞሽ መከላከያ ቁሳቁስ ሆኖ ሊያገለግል ይችላል። በተለያዩ የአሉሚኒየም ኦክሳይድ ይዘቶች መሠረት፣ የተለመደው የአሉሚኒየም ኦክሳይድ ሴራሚክ ተከታታይ በ99 ሴራሚክስ፣ በ95 ሴራሚክስ፣ በ90 ሴራሚክስ እና በ85 ሴራሚክስ ሊከፈል ይችላል። አንዳንድ ጊዜ፣ 80% ወይም 75% የአሉሚኒየም ኦክሳይድ ያላቸው ሴራሚክስ እንደ የተለመደ የአሉሚኒየም ኦክሳይድ ሴራሚክ ተከታታይ ይመደባል። ከእነዚህም መካከል 99 የአሉሚኒየም ኦክሳይድ የሴራሚክ ቁሶች ከፍተኛ ሙቀት ያላቸውን የክሩሲብል፣ የእሳት መከላከያ ምድጃ ቱቦ እና እንደ የሴራሚክ ተሸካሚዎች፣ የሴራሚክ ማኅተሞች እና የቫልቭ ሳህኖች ያሉ ልዩ የመልበስ መከላከያ ቁሳቁሶችን ለማምረት ያገለግላሉ። 95 የአሉሚኒየም ሴራሚክስ በዋናነት እንደ ዝገት መቋቋም የሚችል የመልበስ መከላከያ አካል ሆነው ያገለግላሉ። 85 ሴራሚክስ ብዙውን ጊዜ በአንዳንድ ባህሪያት ውስጥ ይቀላቀላል፣ በዚህም የኤሌክትሪክ አፈጻጸምን እና የሜካኒካል ጥንካሬን ያሻሽላል። ሞሊብዲነም፣ ኒዮቢየም፣ ታንታለም እና ሌሎች የብረት ማኅተሞችን መጠቀም ይችላል፣ እና አንዳንዶቹ እንደ ኤሌክትሪክ የቫክዩም መሳሪያዎች ያገለግላሉ።
| ጥራት ያለው እቃ (ወካይ እሴት) | የምርት ስም | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
| የኬሚካል ቅንብር ዝቅተኛ-ሶዲየም ቀላል የሲንተርሪንግ ምርት | ኤች₂ኦ | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| Lol | % | 0.1 | 0.2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
| ፌ₂0₃ | % | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | |
| ሲኦ₂ | % | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.02 | 0.04 | 0.04 | |
| ና₂ኦ | % | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.02 | 0.04 | 0.03 | |
| ኤምጂኦ* | % | - | 0.11 | 0.05 | 0.05 | - | - | - | |
| አል₂0₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
| መካከለኛ የቅንጣት ዲያሜትር (MT-3300፣ የሌዘር ትንተና ዘዴ) | μሜ | 0.44 | 0.43 | 0.39 | 0.47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
| α ክሪስታል መጠን | μሜ | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 ~ 1.0 | 0.3 ~ 4 | 0.3 ~ 4 | |
| የመፍጠር ጥግግት** | ግ/ሴሜ³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
| የሲንተርሪንግ ጥግግት** | ግ/ሴሜ³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
| የሲንተርሪንግ መስመር የመቀነስ ፍጥነት** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 | |
* MgO በ Al₂O₃ ንፅህና ስሌት ውስጥ አልተካተተም።
* 29.4MPa (300 ኪ.ግ/ሴሜ²) የሚለካ ዱቄት የለም፣ የሲንቴሪንግ የሙቀት መጠን 1600°ሴ ነው።
AES-11 / 11C / 11F: 0.05 ~ 0.1% MgO ጨምር፣ የሳይንቴራሊቲው በጣም ጥሩ ነው፣ ስለዚህ ከ99% በላይ ንፁህ ለሆኑ የአሉሚኒየም ኦክሳይድ ሴራሚክስ ተፈጻሚ ይሆናል።
AES-22S፡- በከፍተኛ የመፍጠር ጥግግት እና ዝቅተኛ የመቀነስ ፍጥነት ያለው የሲንቴሪንግ መስመር ተለይቶ የሚታወቅ ሲሆን፣ በሚፈለገው ልኬት ትክክለኛነት ላላቸው ተንሸራታች ቅርጽ ቀረጻ እና ሌሎች ትላልቅ ምርቶች ላይ ተፈጻሚ ይሆናል።
AES-23 / AES-31-03: ከ AES-22S የበለጠ የመፍጠር ጥግግት፣ ታይክሶትሮፒ እና ዝቅተኛ viscosity አለው። የመጀመሪያው ለሴራሚክስ ጥቅም ላይ የሚውል ሲሆን ሁለተኛው ደግሞ ለእሳት መከላከያ ቁሳቁሶች እንደ የውሃ መቀነሻ ሆኖ ጥቅም ላይ የሚውል ሲሆን ይህም ተወዳጅነትን እያገኘ ነው።
♦የሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) ባህሪያት
| አጠቃላይ ባህሪያት | የዋና ዋና ክፍሎች ንፅህና (wt%) | 97 | |
| ቀለም | ጥቁር | ||
| ጥግግት (ግ/ሴሜ³) | 3.1 | ||
| የውሃ መምጠጥ (%) | 0 | ||
| የሜካኒካል ባህሪያት | የመገጣጠም ጥንካሬ (MPa) | 400 | |
| ወጣት ሞዱለስ (GPa) | 400 | ||
| የቪከርስ ጥንካሬ (GPa) | 20 | ||
| የሙቀት ባህሪያት | ከፍተኛው የአሠራር ሙቀት (°ሴ) | 1600 | |
| የሙቀት ማስፋፊያ ኮፊሸንት | RT~500°ሴ | 3.9 | |
| (1/°ሴ x 10-6) | RT~800°ሴ | 4.3 | |
| የሙቀት ማስተላለፊያ (ወ/ሜ x ኬ) | 130 110 | ||
| የሙቀት ድንጋጤ መቋቋም ΔT (°ሴ) | 300 | ||
| የኤሌክትሪክ ባህሪያት | የድምጽ መቋቋም | 25°ሴ | 3 x 106 |
| 300°ሴ | - | ||
| 500°ሴ | - | ||
| 800°ሴ | - | ||
| የዲኤሌክትሪክ ቋሚ | 10GHz | - | |
| የዲኤሌክትሪክ ኪሳራ (x 10-4) | - | ||
| Q Factor (x 104) | - | ||
| የዲኤሌክትሪክ መበላሸት ቮልቴጅ (KV/ሚሜ) | - | ||
♦ሲሊከን ናይትሬድ ሴራሚክ
| ቁሳቁስ | ዩኒት | ሲ₃N₄ |
| የሲንተርሪንግ ዘዴ | - | የጋዝ ግፊት ሲንተሬድ |
| ጥግግት | ግ/ሴሜ³ | 3.22 |
| ቀለም | - | ጥቁር ግራጫ |
| የውሃ መምጠጥ ፍጥነት | % | 0 |
| ወጣት ሞዱለስ | ጂፒኤ | 290 |
| የቪከርስ ጥንካሬ | ጂፒኤ | 18 - 20 |
| የመጭመቂያ ጥንካሬ | ኤምፓ | 2200 |
| የታጠፈ ጥንካሬ | ኤምፓ | 650 |
| የሙቀት ማስተላለፊያ | ወ/ሜኬ | 25 |
| የሙቀት ድንጋጤ መቋቋም | Δ (°ሴ) | 450 - 650 |
| ከፍተኛው የአሠራር ሙቀት | °ሴ | 1200 |
| የድምጽ መቋቋም | Ω·ሴሜ | > 10 ^ 14 |
| ዳይኤሌክትሪክ ኮንስታንት | - | 8.2 |
| የዲኤሌክትሪክ ጥንካሬ | ኪ.ቮ/ሚሜ | 16 |

