በሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች ውስጥ ለግራናይት ክፍሎች አማራጭ ቁሳቁሶች ምንድናቸው? የእነዚህ አማራጭ ቁሳቁሶች ከግራናይት ጋር ሲነፃፀሩ ጥቅሞች እና ጉዳቶች ምንድናቸው?

ግራናይት በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ እጅግ በጣም ጥሩ የሜካኒካል ባህሪያት፣ የሙቀት መረጋጋት እና ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት ምክንያት በብዛት ጥቅም ላይ የሚውል ቁሳቁስ ነው። ሆኖም ግን፣ ለከፍተኛ ትክክለኛነት እና ምርታማነት እየጨመረ በመጣው ፍላጎት፣ አማራጭ ቁሳቁሶች የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች ክፍሎችን ለማምረት እንደ አዋጭ አማራጮች ብቅ ብለዋል። በዚህ ጽሑፍ ውስጥ፣ በሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች ውስጥ ለግራናይት ክፍሎች አንዳንድ አማራጭ ቁሳቁሶችን እንመረምራለን እና ጥቅሞቻቸውን እና ጉዳቶቻቸውን እናነፃፅራለን።

ለግራናይት ክፍሎች አማራጭ ቁሳቁሶች

1. የመስታወት-ሴራሚክ ቁሳቁሶች

እንደ ዜሮዱር እና ሴርቪት ያሉ የመስታወት-ሴራሚክ ቁሳቁሶች በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ ዝቅተኛ የሙቀት ማስፋፊያ ቅንጅታቸው ምክንያት በስፋት ጥቅም ላይ ውለዋል፣ ይህም ከሲሊኮን ጋር በጣም ቅርብ ነው። በዚህም ምክንያት እነዚህ ቁሳቁሶች በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ሂደት ውስጥ የተሻለ የሙቀት መረጋጋት እና የተሻሻለ ትክክለኛነትን ሊያቀርቡ ይችላሉ። በተለይም ዜሮዱር ከፍተኛ የሆነ ተመሳሳይነት እና መረጋጋት ስላለው ለሊቶግራፊ መሳሪያዎች ማምረት ተስማሚ ያደርገዋል።

ጥቅሞች፡

- የሙቀት መስፋፋት ዝቅተኛ የቅንጅት መጠን
- ከፍተኛ ትክክለኛነት እና መረጋጋት
- ለከፍተኛ ሙቀት አፕሊኬሽኖች ተስማሚ

ጉዳቶች፡

- ከግራናይት ጋር ሲነጻጸር ከፍተኛ ዋጋ
- በአንጻራዊ ሁኔታ በቀላሉ የሚሰበር፣ በማሽን እና በአያያዝ ረገድ ችግሮች ሊፈጠሩ ይችላሉ

2. ሴራሚክስ

እንደ አሉሚኒየም ኦክሳይድ (Al2O3)፣ ሲሊከን ካርቦይድ (SiC) እና ሲሊከን ናይትሬድ (Si3N4) ያሉ የሴራሚክ ቁሳቁሶች እጅግ በጣም ጥሩ የሜካኒካል ባህሪያት፣ ከፍተኛ የሙቀት መቋቋም እና ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት ኮፊሸንት አላቸው። እነዚህ ባህሪያት ሴራሚክስ እንደ ዋፈር ደረጃዎች እና ቹኮች ላሉ ከፍተኛ የሙቀት መረጋጋት እና ትክክለኛነት ለሚያስፈልጋቸው የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች ክፍሎች ተስማሚ ያደርጉታል።

ጥቅሞች፡

- ከፍተኛ የሙቀት መረጋጋት እና ጥንካሬ
- ዝቅተኛ የሙቀት ማስፋፊያ ቅንጅት
- ከፍተኛ የመበስበስ መቋቋም እና የኬሚካል ንዝረት

ጉዳቶች፡

- በተለይም በማሽን እና አያያዝ ወቅት ሊሰበር እና ሊሰበር ይችላል
- የሴራሚክስ ማሽኖችን ማሽነሪ እና ማጥራት ፈታኝ እና ጊዜ የሚወስድ ሊሆን ይችላል

3. ብረቶች

እንደ አይዝጌ ብረት እና ቲታኒየም ያሉ በብረት ላይ የተመሰረቱ ቁሳቁሶች ለአንዳንድ የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች ክፍሎች በጣም ጥሩ የማሽን ችሎታ እና ከፍተኛ ጥንካሬ ስላላቸው ጥቅም ላይ ውለዋል። እንደ የክፍል ክፍሎች፣ ኮኔክሽን እና feedthroughs ያሉ ከፍተኛ የሙቀት መረጋጋት በማይፈልጉባቸው አፕሊኬሽኖች ውስጥ በብዛት ጥቅም ላይ ይውላሉ።

ጥቅሞች፡

- ጥሩ የማሽን እና የመገጣጠም ችሎታ
- ከፍተኛ ጥንካሬ እና ተለዋዋጭነት
- ከአንዳንድ አማራጭ ቁሳቁሶች ጋር ሲወዳደር ዝቅተኛ ዋጋ

ጉዳቶች፡

- ከፍተኛ የሙቀት ማስፋፊያ ኮፊሸንት
- በሙቀት መስፋፋት ችግሮች ምክንያት ለከፍተኛ ሙቀት አፕሊኬሽኖች ተስማሚ አይደለም
- ለዝገት እና ለብክለት ተጋላጭ

መደምደሚያ፡

ባጭሩ ግራናይት ለሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች ክፍሎች ተወዳጅ ምርጫ ቢሆንም፣ አማራጭ ቁሳቁሶች ብቅ ብለዋል፣ እያንዳንዳቸው ልዩ ጥቅሞች እና ጉዳቶች አሏቸው። የመስታወት-ሴራሚክ ቁሳቁሶች በጣም ትክክለኛ እና የተረጋጉ ናቸው ነገር ግን ሊሰበሩ ይችላሉ። ሴራሚክስ ጠንካራ እና እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት መረጋጋት አላቸው ነገር ግን ሊሰበሩ ይችላሉ፣ ይህም ለማምረት የበለጠ አስቸጋሪ ያደርጋቸዋል። ብረቶች ርካሽ፣ ለማሽን የሚቻሉ እና ሊገጣጠሙ የሚችሉ ናቸው፣ ነገር ግን ከፍተኛ የሙቀት መስፋፋት ኮፊሸንት አላቸው እና ለዝገት እና ለብክለት የተጋለጡ ናቸው። ለሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች ቁሳቁሶችን በሚመርጡበት ጊዜ፣ የአተገባበሩን ልዩ መስፈርቶች ግምት ውስጥ ማስገባት እና ወጪን፣ አፈጻጸምን እና አስተማማኝነትን የሚያስተካክሉ ቁሳቁሶችን መምረጥ ወሳኝ ነው።