በ2026 የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ የንዝረት እና የእንቅስቃሴ አዝማሚያዎችን ማሰስ

የሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪው ንዑስ-2nm የሂደት ኖዶችን በብርቱ ሲከታተል፣ የሜካኒካል ስህተት ህዳግ ከሞላ ጎደል ጠፍቷል። በዚህ ከፍተኛ ችግር ባለበት አካባቢ፣ የሂደት ክፍሉ መረጋጋት ከአሁን በኋላ ሁለተኛ ጉዳይ አይደለም፤ ለምርት ዋናው ማነቆ ነው። በZHHIMG፣ ዓለም አቀፍ የኦሪጂናል ዕቃ አምራቾች የሴሚኮንዳክተር ካፒታል መሳሪያዎችን መዋቅራዊ ትክክለኛነት እንዴት እንደሚይዙ መሠረታዊ ለውጥ እያየን ነው።

የዝምታ ፊዚክስ፡ የላቀ የንዝረት ዳምፒንግ ቴክኒኮች

በዘመናዊ የዋፈር ማምረቻ ውስጥ፣ በአንድ ወቅት “የበስተጀርባ ድምፅ” ተደርገው ይታዩ የነበሩ ንዝረቶች አሁን አስከፊ ናቸው። ከተቋሙ የHVAC ስርዓት የሚመጡ ጥቃቅን-ኦሲሌሽኖች ወይም በከፍተኛ ፍጥነት የፍተሻ ደረጃ ውስጣዊ ኢንኤርቲያ ይሁኑ፣ ቁጥጥር ያልተደረገበት ኃይል በቀጥታ ወደ ተደራቢ ስህተቶች እና የደበዘዙ ቅጦች ይተረጉማል።

በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ አሁን ያሉት የንዝረት ማጥለቂያ ዘዴዎች ወደ ባለብዙ ሽፋን አርክቴክቸር ተለውጠዋል። እንደ ማዕድን ቀረጻ ወይም ትክክለኛ ግራናይት ያሉ ከፍተኛ መጠን ያላቸውን ቁሳቁሶች በመጠቀም ፓስቲስ ማጥለያ - መሰረት ሆኖ የሚቆይ ቢሆንም፣ በንቃት የማጥለቂያ ውህደት ላይ ከፍተኛ ጭማሪ እያየን ነው።

አክቲቭ ሲስተሞች የፒኢዞኤሌክትሪክ አክቲቬተሮችን እና የእውነተኛ ጊዜ ዳሳሾችን በመጠቀም ተቃራኒ-ድግግሞሾችን በማመንጨት ንዝረትን "ለመሰረዝ" ይጠቀማሉ። ሆኖም፣ የንቁ ስርዓቶች ውጤታማነት በተፈጥሮው በመሠረታዊ ቁሱ የእርጥበት ጥምርታ የተገደበ ነው። የZHHIMG ከፍተኛ እርጥበት ባላቸው መዋቅራዊ ቁሳቁሶች ላይ ያለው እውቀት ወሳኝ የሚሆነው እዚህ ላይ ነው። አክቲቭ ኤሌክትሮኒክስን ከተፈጥሯዊ ኢነርት ግራናይት ወይም ከተዋሃደ መሠረት ጋር በማጣመር፣ ናኖ-አቀማመጥ ያለ ጣልቃ ገብነት ሊከሰት የሚችልበት "ጸጥ ያለ ዞን" እናቀርባለን።

የፍሪክሽን አልባ እንቅስቃሴ መነሳት፡ የአየር ተሸካሚ ቴክኖሎጂ

ከፍተኛ የውጤት ፍሰት ፍላጎት ባህላዊ ሜካኒካል ተሸካሚዎችን ወደ ገደባቸው እንዲገፋ አድርጎታል። ግጭት ወደ ሙቀት ይመራል፣ እና ሙቀት ደግሞ ወደ የሙቀት መስፋፋት ይመራል - ይህም የትክክለኛነት ጠላት ነው። ይህም በስፋት ተቀባይነት እንዲያገኝ ምክንያት ሆኗልለትክክለኛ ደረጃዎች የአየር ተሸካሚ ቴክኖሎጂ.

የአየር ተሸካሚዎች በቀጭን ግፊት በተሞላ አየር ላይ ጭነትን ይደግፋሉ፣ በተለምዶ ጥቂት ማይክሮን ብቻ ውፍረት አለው። አካላዊ ንክኪ ስለሌለ፣ ዜሮ የማይንቀሳቀስ ግጭት (ስቴክሽን) የለም። ይህ የሚከተሉትን ያስችላል፦

• ከሃይስቴሬሲስ ነፃ የሆነ እንቅስቃሴ፡- መድረኩ ወደ ተመሳሳይ ናኖሜትር መጋጠሚያው በየጊዜው መመለሱን ማረጋገጥ።

• የፍጥነት ቋሚነት፡- እንደ ኢ-ቢም ፍተሻ ያሉ አፕሊኬሽኖችን ለመቃኘት ወሳኝ ሲሆን የሜካኒካል ተሸካሚ ትንሽ “ኮግኒሽን” እንኳን ምስሉን ሊያዛባ ይችላል።

• እጅግ ረጅም ዕድሜ፡- የሚነኩ ክፍሎች ስለሌሉ፣ ምንም አይነት የመበስበስ እና የብናኝ ማመንጫ የለም፣ ይህም ለክፍል 1 የጽዳት ክፍል አካባቢዎች ተስማሚ ያደርጋቸዋል።

በ ZHHIMG፣ ለእነዚህ የአየር ተሸካሚዎች እንደ መመሪያ የሚያገለግሉ እጅግ በጣም ጠፍጣፋ የግራናይት ገጽታዎችን እንሰራለን። በትክክል እንዲሰሩ፣ እነዚህ ቦታዎች በብርሃን የሞገድ ርዝመት ክፍልፋዮች በሚለካ ጠፍጣፋነት መታጠፍ አለባቸው።

በሴሚኮንዳክተር ካፒታል መሳሪያዎች ውስጥ ያሉ አዝማሚያዎች፡ 2026 እና ከዚያ በላይ

በ2026 ስንጓዝ፣በሴሚኮንዳክተር ካፒታል መሳሪያዎች ውስጥ ያሉ አዝማሚያዎችበ"ሦስቱ ምሰሶዎች" ተለይተው ይታወቃሉ፤ ሞዱላራይዜሽን፣ ዘላቂነት እና የሙቀት መቆጣጠሪያ።

1. ሞዱላር ፕላትፎርም ዲዛይን፡ የኦሪጂናል ዕቃ አምራቾች “ፕለግ-ኤንድ-ፕሌይ” የመሠረት ሞጁሎችን ይፈልጋሉ። ለእያንዳንዱ መሣሪያ አዲስ መሠረት ከመንደፍ ይልቅ፣ ለሊቶግራፊ፣ ለሜትሮሎጂ ወይም ለቅርጽ ሊስማሙ የሚችሉ ደረጃውን የጠበቁ የZHHIMG ትክክለኛነት ፋውንዴሽኖችን እየተጠቀሙ ነው።

2. የሙቀት አስተዳደር፡- የEUV (Extreme Ultraviolet) የብርሃን ምንጮች ከፍተኛ ሙቀት ስለሚያመነጩ፣ የማሽኑ መሠረት እንደ ትልቅ የሙቀት ማስወጫ ሆኖ መሥራት አለበት። የ$<0.01^\circ\text{C}$ ዴልታ ለመጠበቅ ውስብስብ የማቀዝቀዣ ቻናሎችን በቀጥታ ከማዕድን እና ከግራናይት ክፍላችን ጋር እያዋሃድን ነው።

3. የቫኩም ተኳሃኝነት፡- ወደ ከፍተኛ የቫኩም አካባቢዎች የሚሸጋገሩ ተጨማሪ ሂደቶች ሲኖሩ፣ ጥቅም ላይ የዋሉት ቁሳቁሶች ምንም አይነት የጋዝ መጨመሪያ ሊኖራቸው አይገባም። የእኛ ልዩ የግራናይት እና የሴራሚክ ማቀነባበሪያ የቫኩም አስተማማኝነት በመዋቅራዊ መሠረቱ ፈጽሞ እንዳይጎዳ ያረጋግጣል።

ከ ZHHIMG ጋር ስትራቴጂካዊ ሽርክና

ZHHIMG የክፍል አምራች ብቻ አይደለም፤ በእንቅስቃሴ ቁጥጥር አቅርቦት ሰንሰለት ውስጥ ስትራቴጂካዊ አጋር ነን። በቻይና የሚገኘው ተቋማችን በኢንዱስትሪው ውስጥ በጣም አስቸጋሪ የሆኑትን የመረጋጋት ፈተናዎች ለመፍታት በሲሊኮን ቫሊ እና በኢንሆቨን ከሚገኙ የምህንድስና ቡድኖች ጋር በቅርበት ይሰራል።

የባለቤትነት መብታችንን በመጠቀም እና ጥልቅ ግንዛቤያችንን በመጠቀምየንዝረት ማዳከም ቴክኒኮችደንበኞቻችን የሙርን ህግ ወሰን እንዲገፉ እናግዛቸዋለን። የሚቀጥለውን ትውልድ ALD (Atomic Layer Deposition) መሳሪያ ወይም ከፍተኛ ፍጥነት ያለው የዋፈር ፕሮፐር እያዘጋጁ ከሆነ፣ ፋውንዴሽኑ የሚጀምረው በ ZHHIMG ነው።

መደምደሚያ

የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ዝግመተ ለውጥ የፊዚክስ ህጎችን የሚጻረር ውድድር ነው። ኢንዱስትሪው ወደ 2026 ሲሸጋገር፣ በአየር ተሸካሚ ትክክለኛነት እና የላቀ እርጥበት ላይ ያለው ትኩረት እየተጠናከረ ይሄዳል። ከእነዚህ አዝማሚያዎች ቀድመው መቆየት በሙያዊ እና በፈጠራ ላይ የተመሠረተ መሠረት ይጠይቃል።