የግራናይት ክፍሎች የ XYZT ትክክለኛነት ያለው የጋንትሪ እንቅስቃሴ መድረክን ሴሚኮንዳክተር የማኑፋክቸሪንግ ትክክለኛነትን ለማረጋገጥ ይረዳሉ።

በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ አውደ ጥናት ውስጥ፣ ለአካባቢ ሁኔታዎች እና ለመሳሪያዎች ትክክለኛነት የቺፕ ማምረቻ ሂደት መስፈርቶች እጅግ በጣም ከፍተኛ ናቸው፣ እና ማንኛውም ትንሽ ልዩነት በቺፕ ምርት ላይ ከፍተኛ ውድቀት ሊያስከትል ይችላል። የXYZT ትክክለኛነት ጋንትሪ እንቅስቃሴ መድረክ ከሌሎች የመድረኩ ክፍሎች ጋር በመተባበር የናኖስኬል ትክክለኛነትን ለማሳካት ጠንካራ መሠረት ለመገንባት በጥቁር ድንጋይ ክፍሎች ላይ የተመሰረተ ነው።
እጅግ በጣም ጥሩ የንዝረት ማገጃ ባህሪያት
በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ አውደ ጥናት ውስጥ፣ የዳርቻ መሳሪያዎች እና በዙሪያው የሚራመዱ ሰራተኞች አሠራር ንዝረትን ሊያስከትል ይችላል። የግራናይት ክፍሎች ውስጣዊ መዋቅር ጥቅጥቅ ያለ እና ወጥ የሆነ ሲሆን እንደ ቀልጣፋ የንዝረት "መከላከያ" ተፈጥሯዊ ከፍተኛ የእርጥበት ባህሪያት አሉት። ውጫዊ ንዝረት ወደ XYZT መድረክ ሲተላለፍ፣ የግራናይት ክፍል ከ80% በላይ የሚሆነውን የንዝረት ኃይል በብቃት ሊያዳክም እና በመድረኩ እንቅስቃሴ ትክክለኛነት ላይ የንዝረት ጣልቃ ገብነትን ሊቀንስ ይችላል። በተመሳሳይ ጊዜ፣ መድረኩ ከግራናይት ክፍሎች ጋር በመተባበር የሚሰራ ከፍተኛ ትክክለኛነት ያለው የአየር ተንሳፋፊ መመሪያ ስርዓት አለው። የአየር ተንሳፋፊ መመሪያው የመድረኩን የሚንቀሳቀሱ ክፍሎች ንክኪ የሌለው የእገዳ እንቅስቃሴ እውን ለማድረግ እና በሜካኒካል ግጭት ምክንያት የሚመጣውን ትንሽ ንዝረት ለመቀነስ በከፍተኛ ግፊት ጋዝ የተፈጠረውን የተረጋጋ የጋዝ ፊልም ይጠቀማል። ሁለቱ አንድ ላይ፣ የመድረኩ አቀማመጥ ትክክለኛነት ሁልጊዜ በናኖሜትር ደረጃ እንደ ቺፕ ሊቶግራፊ እና ኢቺንግ ባሉ ቁልፍ ሂደቶች ውስጥ ሁልጊዜ እንዲቆይ እና በንዝረት ምክንያት የሚመጡ የቺፕ ሰርኪዩት ቅጦች መዛባትን ለማስወገድ ያረጋግጣሉ።
እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት መረጋጋት
በአውደ ጥናቱ ውስጥ የሙቀት እና የእርጥበት መለዋወጥ በቺፕ ማምረቻ መሳሪያዎች ትክክለኛነት ላይ ከፍተኛ ተጽዕኖ ያሳድራል። የግራናይት የሙቀት መስፋፋት ቅንጅት በጣም ዝቅተኛ ነው፣ በአጠቃላይ በ5-7 × 10⁻⁶/℃፣ የሙቀት መጠኑ ሲቀየር መጠኑ ከሞላ ጎደል አይለወጥም። በአውደ ጥናቱ ውስጥ በቀን እና በሌሊት መካከል ያለው የሙቀት ልዩነት ወይም የመሳሪያው የሙቀት ምርት የአካባቢ ሙቀት እንዲለዋወጥ ቢያደርግም፣ የግራናይት ክፍሎች በሙቀት መስፋፋት እና በመጠምዘዝ ምክንያት የመድረኩን መበላሸት ለመከላከል ተረጋግተው ሊቆዩ ይችላሉ። በተመሳሳይ ጊዜ፣ በመድረኩ የተገጠመለት ብልህ የሙቀት መቆጣጠሪያ ስርዓት የአካባቢውን የሙቀት መጠን በእውነተኛ ጊዜ ይከታተላል፣ የአየር ማቀዝቀዣውን እና የሙቀት ማስወገጃ መሳሪያዎችን በራስ-ሰር ያስተካክላል፣ እና የዎርክሾፑን የሙቀት መጠን በ20 ° ሴ ± 1 ° ሴ ይጠብቃል። ከግራናይት ሙቀት መረጋጋት ጥቅሞች ጋር ተዳምሮ፣ በረጅም ጊዜ አሠራር ውስጥ ያለው መድረክ የእያንዳንዱ ዘንግ የእንቅስቃሴ ትክክለኛነት ሁልጊዜ የቺፕ ማምረቻ ናኖሜትር ትክክለኛነት ደረጃዎችን እንደሚያሟላ ያረጋግጡ፣ ይህም የቺፕ ሊቶግራፊ ንድፍ መጠን ትክክለኛ መሆኑን ለማረጋገጥ፣ የመቅረጽ ጥልቀት ወጥነት ያለው መሆኑን ያረጋግጡ።
የንፁህ አካባቢ ፍላጎቶችን ማሟላት
የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ሱቅ የአቧራ ቅንጣቶች ቺፑን እንዳይበክሉ ለመከላከል ከፍተኛ የንፅህና ደረጃን መጠበቅ አለበት። የግራናይት ቁሳቁስ ራሱ አቧራ አያመነጭም፣ እና ወለሉ ለስላሳ ነው፣ አቧራ ለመምጠጥ ቀላል አይደለም። መድረኩ በአጠቃላይ የውጭ አቧራ እንዳይገባ ለመቀነስ ሙሉ በሙሉ የተዘጋ ወይም ከፊል የተዘጋ መዋቅር ዲዛይን ይቀበላል። የውስጥ የአየር ዝውውር ስርዓቱ የውስጥ አየር ንፅህና በቺፕ ማምረቻ የሚፈለገውን ደረጃ እንዲደርስ ለማረጋገጥ ከዎርክሾፑ ንፁህ የአየር ማቀዝቀዣ ስርዓት ጋር የተቆራኘ ነው። በዚህ ንፁህ አካባቢ፣ የግራናይት ክፍሎች በአቧራ መሸርሸር ምክንያት አፈፃፀሙን አይነኩም፣ እና እንደ ከፍተኛ ትክክለኛነት ዳሳሾች እና የመድረኩ ሞተሮች ያሉ ቁልፍ ክፍሎች በተረጋጋ ሁኔታ ሊሰሩ ይችላሉ፣ ይህም ለቺፕ ማምረቻ ቀጣይነት ያለው እና አስተማማኝ የናኖስኬል ትክክለኛነት ዋስትና ይሰጣል፣ እና የሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ወደ ከፍተኛ የሂደት ደረጃ እንዲሸጋገር ይረዳል።